200 mm Semi-Automatic RF Probe System for On-Wafer Measurements up to 250 GHz
Zusammenfassung
Beschafft wird ein halbautomatisches 200-mm-HF-Probe-System für Messungen direkt auf dem Wafer bis zu 250 GHz. Auftraggeber ist die IHP GmbH, Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik. Der Auftrag umfasst ein Los.
Zeitplan & Fristen
Die wichtigsten Termine im Überblick- Veröffentlicht23. Juni 2026
Bekanntmachung und Bereitstellung der Vergabeunterlagen.
- Angebotsfrist24. Juli 2026
Letzter Termin für die elektronische Angebotsabgabe.
- Bindefrist endet22. September 2026
Bis hierhin sind Sie an Ihr Angebot gebunden (60 Tage). In diesem Zeitraum wird der Zuschlag erteilt.
Zuschlagskriterien
Gewichtung laut VergabeunterlagenLeistungsumfang
Halbautomatisches 200-mm-Probe-System
Gefordert wird ein halbautomatisches System für Messungen auf 200-mm-Wafern. Es soll für Messungen bis 250 GHz geeignet sein.
Kontrollierte Trockenatmosphäre
Das System soll eine integrierte, kontrollierte Trockenatmosphäre haben. Sie soll Kondensation und Eisbildung bei Messungen unterhalb der Umgebungstemperatur verhindern.
Schnittstellen für optionale Thermochucks
Die Systemarchitektur soll definierte Schnittstellen bieten. Damit lassen sich optionale Thermochucks über standardisierte mechanische, elektrische und softwareseitige Schnittstellen einbinden.
Automatische Wafererkennung
Das System soll Wafergrößen automatisch erkennen. Genannt werden 150-mm- und 200-mm-Wafer sowie einzelne Dies bis hinunter zu 5 × 5 mm.
Präzisions-XY- und Z-Tische
Gefordert werden Präzisionstische in X, Y und Z mit angegebenen Verfahrwegen, Wiederholgenauigkeiten und Genauigkeiten. Der XY-Tisch soll mindestens 310 × 310 mm verfahren.
Zentrale Bedienkonsole
Alle Achsen und Systemfunktionen sollen über eine zentrale Bedienkonsole steuerbar sein. Tastatur- und Mausablage sind ebenfalls vorgesehen.
Wettbewerb & Angebotsprognose
Erwartete Konkurrenz auf Basis vergleichbarer VergabenVerlauf dieser Vergabe
2 Bekanntmachungen- 06.10.2026Vergabebekanntmachung
Zuschlag erteilt am 06.10.2026
- 23.06.2026Ausschreibungauf dieser Seite
Auf einen Blick
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