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Ausschreibungen Sachsen-Anhalt

Beschaffung einer kompakten Hochvakuum-PVD-Anlage zur Herstellung funktioneller Dünnschichten mittels Magnetron-Sputtern

Otto-von-Guericke-Universität Magdeburg, Abt. Beschaffung, Zahlstelle (K13)39106 Magdeburg, Sachsen-AnhaltVeröffentlicht:
Angebotsfrist:

Zusammenfassung

Automatisch erstellt aus den Vergabeunterlagen

Die Otto-von-Guericke-Universität Magdeburg beschafft eine kompakte Hochvakuum-PVD-Anlage (Physical Vapor Deposition) für die Herstellung funktioneller Dünnschichten mittels Magnetron-Sputtern.

Was geliefert werden soll

Eine vollständig integrierte Tischanlage mit Edelstahl-Prozesskammer, Turbomolekularpumpe, drei Magnetron-Sputterquellen und Steuerung über Touchscreen.Unterstützung von DC- und RF-Sputtern für metallische, oxidische und nitridische Schichten.Inklusive Lieferung, Installation, Inbetriebnahme und Schulung des Personals vor Ort.

Wofür die Anlage genutzt wird

Für Forschungsprojekte in den Bereichen Mikro- und Nanotechnologie, Sensortechnik, Halbleitertechnik und funktionelle Dünnschichten.

Verfahren

Öffentliche Ausschreibung nach UVgO (Offenes Verfahren).Angebote sind elektronisch über die Vergabeplattform einzureichen – bis 21.09.2026, 23:59 Uhr.Geschätzter Auftragswert: ca. 107.600 EUR netto.Es wird nur ein Los ausgeschrieben.
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Zeitplan & Fristen

Aus den Vergabeunterlagen extrahiert
Angebotsfrist: 21. September 2026
Termin / FristSEP2026OKT
Datum der Versendung9. Sep. 2026
Veröffentlichung10. Sep. 2026
Angebotsfrist21. Sep. 2026
Bindefrist21. Sep. – 21. Okt. 2026
vor Angebotsabgabenach Angebotsabgabe

Zuschlagskriterien

Gewichtung laut Vergabeunterlagen
Niedrigster Preis1 Kriterium
Preis 100%Qualität 0%
  • Preis100%

    Der Preis wird aus der Wertungssumme des Angebotes ermittelt. Die Wertungssummen werden ermittelt aus den nachgerechneten Angebotssummen, insbesondere unter Berücksichtigung von Nachlässen.

KI-Hinweis: Alle Zuschlagskriterien sind vollständig dokumentiert: Es gilt ausschließlich das Zuschlagskriterium Preis mit 100 % Gewichtung.

Leistungsumfang

Aus den Vergabeunterlagen

Prozesskammer und Vakuumsystem

Prozesskammer: vertikale, zylindrische Hochvakuumkammer aus Edelstahl SS304, Innendurchmesser ≥ 225 mm, Kammerhöhe ≥ 250 mm, ISO-63-Pumpenanschluss, aufklappbarer oberer Kammerdeckel, modularer Aufbau mit NW40CF-Vakuumanschlüssen, integriertes Sichtfenster mit austauschbarem Abscheideschild.Vakuumsystem: Endvakuum ≤ 5×10⁻⁷ mbar, Turbomolekularpumpe ≥ 80 l/s, automatisches Entlüftungssystem, softwaregesteuerte Abläufe, integriertes elektronisches Vakuummessgerät.

Prozessgasversorgung und Magnetronquellen

Prozessgasversorgung: 3 Mass-Flow-Controller (MFCs) – Argon ≥ 50 sccm, Sauerstoff ≥ 10 sccm, Stickstoff ≥ 10 sccm.Magnetronquellen: 2 wassergekühlte Magnetron-Sputterquellen, Targetdurchmesser 2 Zoll, Targetdicke 1/16" bis 1/4", konfokale Anordnung, pneumatisch betätigte Verschlussklappen, unabhängige Steuerung.

Leistungselektronik und Substrathalter

Leistungselektronik: HF-Stromversorgung 150 W bei 13,56 MHz, DC-Stromversorgung ≥ 780 W, softwarekonfigurierbar und flexibel zuweisbar.Substrathalter: Waferkapazität bis 4 Zoll, kontinuierliche Substratrotation, integrierter Substratverschluss, vertikale Z-Achsen-Verstellung ≥ 45 mm.

Prozesssteuerung und Überwachung

Prozesssteuerung: 7-Zoll-Farb-Touchscreen, SPS-basierte Steuerung, manueller und automatischer Modus, Rezeptspeicherung, Prozessdatenerfassung, Datenexport, Schnittstellen Ethernet und USB, Echtzeitüberwachung.Schichtdickenüberwachung: integrierte Quarzkristall-Mikrowaage (QCM), Echtzeitmessung von Abscheidungsrate und Schichtdicke, automatisches Schließen der Abscheidungsverschlüsse.Sicherheitsmerkmale: kontinuierliche Überwachung von Kühlwasserversorgung, Vorvakuum und Hochvakuum.

Installation, Schulung, Dokumentation und Lieferung

Vollständige Installation und Inbetriebnahme am Standort Otto-von-Guericke-Universität Magdeburg (Universitätsplatz 2, 39106 Magdeburg).Schulung des wissenschaftlichen Personals vor Ort.Umfassende technische Dokumentation in deutscher und englischer Sprache.Lieferung frei Verwendungsstelle inklusive Transport, Verpackung, Versicherung und ggf. Einfuhr.Vertragsfristen (Anlieferung und Ende der Ausführung) werden im Angebot individuell festgelegt.Nebenangebote sind nicht zugelassen.

Eignungskriterien

Geforderte Nachweise laut Vergabeunterlagen

Vorläufiger Eignungsnachweis

Es ist entweder die Eigenerklärung zur Eignung für Liefer-/Dienstleistungen (Anlage 124 LD) oder die Einheitliche Europäische Eigenerklärung (EEE) einzureichen. Auf Verlangen der Vergabestelle sind die in der Eigenerklärung genannten Bescheinigungen zuständiger Stellen vorzulegen. Fremdsprachige Bescheinigungen benötigen eine deutsche Übersetzung. Alternativ können Eintragungen in amtlichen Verzeichnissen (z.B. PQ-Verzeichnis der IHK) oder Zertifikate gemäß europäischer Zertifizierungsstandards akzeptiert werden.

Gewerberechtliche Voraussetzungen

Der Bieter muss die gewerberechtlichen Voraussetzungen für die Ausführung der Leistung erfüllen. Bei einer Auftragssumme von mehr als 30.000 € wird für den vorgesehenen Zuschlagsempfänger zusätzlich ein Auszug aus dem Gewerbezentralregister angefordert.

Ausschluss wegen unzulässiger Wettbewerbsbeschränkungen

Der Bieter darf nicht an unzulässigen Wettbewerbsbeschränkungen beteiligt sein. Auf Verlangen ist Auskunft über wirtschaftliche und rechtliche Verbindungen zu anderen Unternehmen zu erteilen.

Verpflichtungen nach TVergG Sachsen-Anhalt

Mit dem Angebot sind folgende Erklärungen gemäß Tariftreue- und Vergabegesetz Sachsen-Anhalt (TVergG LSA) abzugeben – bei Fehlen droht Angebotsausschluss:

Tariftreue und Mindeststundenentgelt (§ 11 TVergG LSA): Einhaltung mindestens eines der drei Modelle (Tarifvertrag nach AEntG, ortsüblicher Tarifvertrag oder vergabespezifisches Mindeststundenentgelt nach TVöD EG 1 Stufe 2).Entgeltgleichheit (§ 11 Abs. 5 TVergG LSA): gleiche Bezahlung von Leiharbeitnehmern wie eigene Arbeitnehmer.Nachunternehmer und Verleiher (§ 14 TVergG LSA): Weitergabe derselben Standards an Nachunternehmer.Nachweispflichten bei Kontrollen (§ 17 TVergG LSA): Bereithaltung vollständiger und prüffähiger Unterlagen über eingesetzte Beschäftigte.Die Erklärungen sind mit Datum und Klarnamen in Textform zu unterzeichnen.

Bietergemeinschaften

Bei Bietergemeinschaften ist eine Erklärung in Textform beizufügen, die die Bildung der ARGE, alle Mitglieder, den bevollmächtigten Vertreter und die gesamtschuldnerische Haftung benennt.

KI-Hinweis: Alle Eignungskriterien wurden per KI aus den Vergabeunterlagen extrahiert. Mit TendiGo prüfen Sie in wenigen Minuten, ob Ihr Unternehmen die Anforderungen erfüllt.

Wettbewerb & Angebotsprognose

Erwartete Konkurrenz auf Basis vergleichbarer Vergaben
4–10Angebote erwartet
Median vergleichbarer Vergaben: rund 6 Angebote
Mittlere Konkurrenz
Wahrscheinliche Bieterzahl
1–3 · 27%4–10 · 45%11+ · 28%
Checkliste zur AngebotsabgabeKonkrete Schritte laut Vergabeunterlagen0 von 16 erledigt
Angebotsschreiben & Formulare
Leistungsverzeichnis & Preise
Eignung & rechtliche Erklärungen
Nebenangebote
Formale Anforderungen
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Auf einen Blick

Auftraggeber
Otto-von-Guericke-Universität Magdeburg, Abt. Beschaffung, Zahlstelle (K13)
Ort
39106 Magdeburg, Sachsen-Anhalt
Kategorie
Sachsen-Anhalt
Veröffentlicht
Angebotsfrist
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Erfüllungsort

Ort der Leistung
39106 Magdeburg
Sachsen-Anhalt

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