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Beschaffung eines modularen Spin-Coating-Systems zur Herstellung homogener Dünnschichten

Otto-von-Guericke-Universität Magdeburg, Abt. Beschaffung, Zahlstelle (K13)39106 Magdeburg, Sachsen-AnhaltVeröffentlicht:
Angebotsfrist:

Zusammenfassung

Automatisch erstellt aus den Vergabeunterlagen

Die Otto-von-Guericke-Universität Magdeburg beschafft ein kompaktes, modulares Spin-Coating-System für Forschungszwecke. Es dient der reproduzierbaren Herstellung homogener Dünnschichten mittels Rotationsbeschichtung und soll in Projekten der Mikro- und Nanotechnologie, Sensortechnik, Halbleitertechnologie und Mikrostrukturierung eingesetzt werden.

Das System muss sowohl als Tischgerät als auch als In-Deck-Modul nutzbar sein. Zum Lieferumfang gehören neben dem Spin-Coater auch eine Labor-Heizplatte, Vakuumtechnik, Dosiersystem, Prozesssteuerung, Sicherheitsfunktionen, PTFE-Werkzeuge zur Waferhandhabung sowie Lieferung frei Verwendungsstelle.

Die Mittel stammen aus EU-geförderten projektbezogenen Zuweisungen. Angebote werden ausschließlich elektronisch in Textform über die Vergabeplattform evergabe.de eingereicht. Zuschlagskriterium ist zu 100 % der Preis. Keine Losaufteilung.

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Zeitplan & Fristen

Aus den Vergabeunterlagen extrahiert
Angebotsfrist: 07. September 2026
Termin / FristAUG2026SEPOKT
Versendung der Aufforderung27. Aug. 2026
Veröffentlichung28. Aug. 2026
Angebotsfrist7. Sep. 2026
Bindefristca. 8. Sep. – 5. Okt. 2026
vor Angebotsabgabenach Angebotsabgabegeschätzt

Zuschlagskriterien

Gewichtung laut Vergabeunterlagen
Niedrigster Preis1 Kriterium
Preis 100%Qualität 0%
  • Preis100%

    Der Preis wird aus der Wertungssumme des Angebotes ermittelt. Die Wertungssummen werden aus den nachgerechneten Angebotssummen unter Berücksichtigung von Nachlässen ermittelt. Werkstätten für Behinderte erhalten einen Bonus von 15 Prozent auf die Wertungssumme.

KI-Hinweis: Das einzige Zuschlagskriterium ist der Preis (100%), die Bewertungsmethode ist vollständig beschrieben.

Leistungsumfang

Aus den Vergabeunterlagen

Hauptsystem und Antrieb

Spin-Coating-System (Position F1 + F2 + F3)

Kompaktes Tischsystem (Benchtop), modular aufgebautUmrüstbare Architektur: dieselbe Einheit muss sowohl als eigenständiges Tischgerät als auch als integriertes In-Deck-Modul (für spätere Automatisierung) nutzbar sein, ohne dass die primäre Spin-Coating-Einheit komplett ausgetauscht werden mussIndirekter bürstenloser AntriebMaximaldrehzahl mindestens 12.000 U/minLinks- und Rechtslauf unterstütztPuddle-Modus verfügbarProgrammierbare Winkelreferenzposition (Motor-Homing) für automatisierte Handhabung

Substrathalterung und Handhabung

Substrathalterung (Position F4) und Zubehör (Position F11)

Vakuum-Chucks für Standard-Substrate (Ø 45 mm), Fragment-Adapter (Ø 50 mm) und perforierter Adapter (Ø 50 mm außen, Ø 17 mm Vakuumfläche)Geeignet für Wafer bis Ø 6 Zoll sowie quadratische Substrate bis 4 × 4 ZollVertikaler 5-fach-Waferhalter für 2-Zoll-Wafer (PTFE)2 × Eintauch-/Tauchwerkzeuge für Einzelwafer 2 Zoll (PTFE)

Prozesssteuerung und Dosierung

Prozesssteuerung (Position F5) und Dosiersystem (Position F6)

Integriertes Touchscreen-InterfaceProgrammierbare Mehrschrittprozesse, unbegrenzte RezeptspeicherungUSB-Schnittstelle für Rezepttransfer / Software-UpdatesPeristaltische Dosierpumpe (softwaregesteuert) mit Suckback-Funktion (gegen Nachtropfen)Mittelinjektionshalterung für Spritzen / Dispensenadeln (zentrale Einspritzposition)

Vakuum, Prozesskammer und Sicherheit

Vakuumsystem (F7), Prozesskammer (F8), Sicherheit (F9)

Ölfreie Vakuumpumpe, 230 V / 50 Hz, ca. 119 L/min SaugleistungChemikalienbeständige Prozesskammer mit integriertem Flüssigkeitsfilter / -falleMindestens 40 auswechselbare, transparente und antistatische Kammerauskleidungen (Liner) aus PET, ca. 0,5 mm MaterialstärkeSicherheitsfunktionen: Deckelverriegelung, Vakuumüberwachung, Berührungsschutz vor rotierenden Teilen

Zusatzkomponenten und Modularität

Heizplatte (F10), Modularität (F12), Lieferung (F13)

Programmierbare Labor-Heizplatte: Temperaturbereich 50–230 °C, mindestens 20 Programme, Timer 1–999 s, Heizfläche ca. 220 × 220 mm, ±1 °C Homogenität, 230 V AC, ca. 1200 WModularität: Systemarchitektur muss zukünftige Erweiterungen und Integration in automatisierte Abläufe ermöglichenLieferung frei Verwendungsstelle an die Otto-von-Guericke-Universität Magdeburg, Universitätsplatz 2, 39106 Magdeburg – inklusive Transport, Verpackung und Versicherung

Einsatzbereich und Mittelherkunft

Verwendung des Systems

Einsatz in Forschungsprojekten der Bereiche Mikro- und Nanotechnologie, Sensortechnik, Halbleitertechnologie und MikrostrukturierungBeschichtung unterschiedlicher Materialien (z. B. Photoresists, Polymere, Sol-Gel-Systeme, Nanomaterial-Dispersionen)

Mittelherkunft

Finanzierung aus projektbezogenen Zuweisungen zur Förderung von Wissenschaft und Forschung an Hochschulen sowie des Neuen Europäischen Bauhauses in Sachsen-Anhalt aus Mitteln der Europäischen UnionGeschätzter Auftragswert (netto): 13.500,00 EUR

Eignungskriterien

Geforderte Nachweise laut Vergabeunterlagen

Pflicht-Eignungsnachweise zum Angebot

Folgende Nachweise sind mit dem Angebot verpflichtend einzureichen:

Eigenerklärung zur Eignung (Formular 124 LD) oder Einheitliche Europäische Eigenerklärung (EEE) – Selbstauskunft gemäß §§ 123, 124 GWB (u. a. keine Ausschlussgründe)Nachunternehmerverzeichnis, sofern Nachunternehmer eingesetzt werden sollenErklärung zur Verwendung von Holzprodukten, falls Holzprodukte im Angebot enthalten sind

Nachweise auf gesondertes Verlangen

Folgende Nachweise können vom Auftraggeber auf gesondertes Verlangen angefordert werden:

Auszug aus dem Gewerbezentralregister (ab Auftragssumme > 30.000 €)Bescheinigungen zuständiger Stellen (z. B. Eintrag in ein amtliches Verzeichnis wie das PQ-Verzeichnis oder Zertifikat nach europäischen Standards), auf Verlangen in deutscher ÜbersetzungWeitere Eignungsnachweise, die sich der Auftraggeber vorbehält

Der Bieter erklärt zudem mit Angebotsabgabe, dass die gewerberechtlichen Voraussetzungen für die Ausführung der angebotenen Leistung erfüllt sind.

Technische Eignung (Mindestanforderungen)

Das Angebot muss alle technischen Mindestanforderungen der 13 Produktpositionen (F1–F13) des Leistungsverzeichnisses erfüllen. Wesentliche Punkte:

Benchtop-System, modular und ohne vollständigen Austausch der Spin-Coating-Einheit zwischen Tisch- und In-Deck-Betrieb umrüstbarDrehzahl ≥ 12.000 U/min, Links-/Rechtslauf, Puddle-ModusWafer bis Ø 6 Zoll, Substrate bis 4 × 4 ZollTouchscreen-Steuerung, unbegrenzte Rezeptspeicherung, USB-SchnittstellePeristaltische Dosierpumpe mit Suckback-FunktionÖlfreie Vakuumpumpe (230 V / 50 Hz, ca. 119 L/min)Mindestens 40 antistatische/transparente Prozesskammer-Liner (PET, ca. 0,5 mm)Sicherheitsfunktionen: Deckelverriegelung, Vakuumüberwachung, BerührungsschutzProgrammierbare Heizplatte 50–230 °C, ≥ 20 Programme, ±1 °C HomogenitätPTFE-Zubehör für Wafer-/ProbenhandhabungLieferung frei Verwendungsstelle

Formale Anforderungen und Ausschluss

Sprache: Deutsch (bei Widersprüchen zwischen deutscher und englischer Fassung ist die deutsche Fassung maßgeblich)

Form:

Vorgegebene Vordrucke der Vergabestelle verwendenDokumentenechte EintragungenPreise in Euro, maximal 3 Nachkommastellen, ohne UmsatzsteuerPreisnachlässe nur ohne Bedingungen, als Vomhundertsatz, an angegebener Stelle

Nebenangebote: Nicht zugelassen

Schriftformerfordernis / Elektronische Einreichung:

Angebote ausschließlich elektronisch in Textform über die Vergabeplattform; der Bieter muss erkennbar seinBei Bietergemeinschaften: Textform-Erklärung aller Mitglieder mit Benennung eines Bevollmächtigten und gesamtschuldnerischer Haftung

Pauschaler Schadensersatz: 15 % der Bruttoabrechnungssumme bei nachgewiesener unzulässiger Wettbewerbsbeschränkung

Zuschlagskriterium: 100 % Preis (ausschließliches Wertungskriterium)

KI-Hinweis: Alle Eignungskriterien wurden per KI aus den Vergabeunterlagen extrahiert. Mit TendiGo prüfen Sie in wenigen Minuten, ob Ihr Unternehmen die Anforderungen erfüllt.

Wettbewerb & Angebotsprognose

Erwartete Konkurrenz auf Basis vergleichbarer Vergaben
4–10Angebote erwartet
Median vergleichbarer Vergaben: rund 6 Angebote
Mittlere Konkurrenz
Wahrscheinliche Bieterzahl
1–3 · 27%4–10 · 45%11+ · 28%
Checkliste zur AngebotsabgabeKonkrete Schritte laut Vergabeunterlagen0 von 13 erledigt
Pflicht-Angebotsunterlagen
Nachunternehmer / Bietergemeinschaft
Auf gesondertes Verlangen der Vergabestelle
Technische Anforderungen prüfen
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Auf einen Blick

Auftraggeber
Otto-von-Guericke-Universität Magdeburg, Abt. Beschaffung, Zahlstelle (K13)
Ort
39106 Magdeburg, Sachsen-Anhalt
Kategorie
Sachsen-Anhalt
Veröffentlicht
Angebotsfrist
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Erfüllungsort

Ort der Leistung
39106 Magdeburg
Sachsen-Anhalt

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