BSE-Topographie und Multikanal-Messgerät für REM
Zusammenfassung
Automatisch erstellt aus den VergabeunterlagenDie Fraunhofer-Gesellschaft beschafft ein Messsystem zur 3D-Topographiemessung am REM (Hitachi SU70 FE-SEM). Geliefert werden ein Auslese-/Verstärkungssystem für den vorhandenen Mehrquadranten-BSE-Detektor, eine Multikanal-Elektronik, die passende Software inklusive Kalibrierfunktionen sowie die Integration in das bestehende Mikroskop und einen Desktop-PC. Optional werden zusätzliche Kompatibilität mit modernen REMs sowie zertifizierte Referenzproben bewertet.
Angebotsabgabe: bis spätestens 3. November 2026, 13:00 Uhr (MEZ) über die Vergabeplattform der Fraunhofer-Gesellschaft (vergabe.fraunhofer.de bzw. deutsche-evergabe.de).
Zeitplan & Fristen
Aus den Vergabeunterlagen extrahiertZuschlagskriterien
Gewichtung laut Vergabeunterlagen- Angebotspreis
Angebotspreis ohne MwSt. Bewertung linear: niedrigster wertungsfähiger Preis 100 Punkte, doppelter Preis 0 Punkte. In der Excel-Datei steht bei 'Preis' der Wert 0.8, eine eindeutige Zuordnung zur Gewichtung in Prozent ist aber nicht erkennbar.
- Lieferzeit
Lieferzeit als metrisches Kriterium, schnellste Lieferzeit erhält 100 Punkte, doppelte Lieferzeit 0 Punkte, dazwischen lineare Interpolation. In der Excel-Datei steht bei 'Lieferzeit' der Wert 0.2, eine eindeutige Gewichtung ist nicht erkennbar.
- Nachhaltigkeit
Nachhaltigkeit als eigenes Zuschlagskriterium laut Legende der Excel-Datei (Kennzeichnung N). In der Excel-Datei steht der Wert 0.1, es ist aber keine Leistungsposition mit Kennzeichnung N vorhanden. Position 3.1 (CE-Sicherheitsstandard) ist als F-Forderung gekennzeichnet.
- Technische Ausführung des Produktes/der DL
Nichtmetrisches Zuschlagskriterium, Bewertung 0 bis 100 Punkte nach Bewertungsstufen (sehr gut 100 %, gut 70 %, befriedigend 40 %, ausreichend 10 %, Ausschluss 0 %). Die Gewichtung der B-Kriterien soll laut Dokument 003 aus '008 Gewichtung der Bewertungskriterien.pdf' stammen, das nicht vorliegt. F-Forderungen werden nicht bewertet.
Preis: Der niedrigste wertungsfähige Angebotspreis erhält 100 Punkte, ein fiktiver doppelt so teurer Preis 0 Punkte, dazwischen lineare Interpolation. Nichtmetrische Kriterien (technische Ausführung): Skala 0 bis 100 Punkte, das relativ beste Angebot erhält 100 Punkte, die anderen werden nach Unterschieden/Nachteilen bewertet. Die Gesamtwertung ergibt sich aus der Summe der gewichteten Punkte je Zuschlagskriterium.
Leistungsumfang
Aus den VergabeunterlagenGegenstand der Beschaffung
Beschafft wird genau 1 Stück eines Messsystems zur 3D-Topographiemessung für ein bestehendes Hitachi SU70 FE-SEM (REM/EBIC-Messplatz) am Fraunhofer IMWS in Halle (Saale). Die Leistung umfasst Lieferung, Integration in das vorhandene Mikroskop und einen Desktop-PC, Inbetriebnahme, Dokumentation sowie die Teilnahme am gemeinsamen Abnahmeprotokoll. Die Beschaffung erfolgt im Rahmen eines Förderprojekts; das System dient unter anderem Patentverletzungsanalysen an TOPCon-Solarzellen (Front- und Rückseitentextur).
Detektor-Anbindung und Integration
Auslesen und Signalverstärkung aller Quadranten des vorhandenen Mehrquadranten-BSE-Detektors. Nachweis der Kompatibilität – auch wenn die Komponenten von einem Drittanbieter stammen – und Integration in das Hitachi SU70 sowie den bestehenden Desktop-PC. Die weitere Nutzung des vorhandenen DISS5-Scan-Controllers muss erhalten bleiben; Kompatibilität mit EDX/EBSD (EDAX) ist sicherzustellen.
Multikanal-Elektronik
Elektroniksystem mit synchroner Mehrkanalerfassung (4 analoge und 12 digitale Eingänge), kalibrierten Verstärkern, Scan Controller über USB und Erweiterbarkeit. Es müssen die strombezogenen Messtechniken EBIC, EBAC, RCI und EBIRCH inklusive 12-Bit-Digitalisierung unterstützt werden.
Software und Kalibrierung
Lieferung einer Software für 3D-Topographie-Erfassung und -Rekonstruktion, Auswertung der REM-Detektorsignale, Korrelation mit weiteren Messsignalen sowie eine kalibrierte Vermessung. Gefordert sind 3D- und laterale Kalibrierfunktionen sowie die Verfügbarkeit einer zertifizierten Referenzprobe. Optional (bewertet): Kompatibilität mit moderner REM-Hardware namhafter Hersteller (Option 1.12) und Mitlieferung zertifizierter Referenzprobe(n) (Option 1.13).
Logistik, Sicherheit und Dokumentation
Transport, Verpackung, Versand, Zoll und Einfuhrkosten (inkl. Dual-Use-Güter) sind im Angebotspreis enthalten. Lieferung verzollt an Fraunhofer IMWS, Otto-Eißfeldt-Straße 12, 06120 Halle. Der Lieferant bringt eigene Transportmittel für die Lieferung ins Labor mit und stimmt den Liefertermin vorab mit der technischen Ansprechperson ab. Nachzuweisen sind die CE-Sicherheitskonformität sowie technische Dokumentation, Anleitungen und Gerätekennzeichnungen in Deutsch oder Englisch. Abnahme durch gemeinsames Protokoll mit Prüfung der geforderten Parameter.
Eignungskriterien
Geforderte Nachweise laut VergabeunterlagenTechnische Mindestanforderungen (Ausschlusskriterien)
Alle mit „F“ markierten Positionen in der technischen Detail-Datei (06_Technische_Details_techn.details.xlsx) sind zwingend zu erfüllen: 1.1 BSE-Detektor-Auslese/Verstärkung; 1.2 Integration in Hitachi SU70; 1.3 Multikanal-Elektronik; 1.4 EBIC/EBAC/RCI/EBIRCH; 1.5–1.8 Software für 3D-Topographie; 1.9–1.10 Kalibrierfunktion und Referenzprobe; 1.11 Kompatibilität (EDX/EBSD, DISS5); 2.4 Dokumentation in Deutsch/Englisch; 3.1 CE-Konformität. Nichterfüllung oder fehlende Angaben führen zum Ausschluss.
Unternehmens-Eignung und Ausschlussgründe
Vorzulegen ist eine Eigenerklärung über das Nichtvorliegen von Ausschlussgründen nach §§ 123, 124 GWB (u. a. zu strafrechtlichen Verurteilungen, Steuer- und Sozialversicherungspflichten, Insolvenz, Wettbewerbsverhalten, Interessenkonflikten, früheren Vergabeverfahren, Lieferkettensorgfaltspflichten). Bei Bietergemeinschaften Erklärung aller Mitglieder mit Benennung eines bevollmächtigten Vertreters und Gesamtschuldnerhaftung. Auf Verlangen sind Auskünfte zu wirtschaftlichen und rechtlichen Verbindungen zu anderen Unternehmen sowie Nachweise zur Einhaltung des Mindestlohngesetzes vorzulegen.
Tariftreue, Nachhaltigkeit und Compliance
Abgabe eines Tariftreueversprechens gemäß § 3 BTTG (alternativ Präqualifizierungszertifikat). Einhaltung der ILO-Kernarbeitsnormen, des Mindestlohngesetzes, der NHS-Nachhaltigkeitsstandards der Fraunhofer-Gesellschaft sowie der Antikorruptions- und Exportkontrollregeln. Hinweis: Im Auszug werden keine Anforderungen an Referenzprojekte, Mindestumsatz oder Bilanzkennzahlen formuliert.
Wettbewerb & Angebotsprognose
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