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Ausschreibungen Sachsen

Einlage & Druckplatte (Bondchuck SiN 8zoll)

Fraunhofer ENAS09126 Chemnitz, SachsenVeröffentlicht:
Angebotsfrist:

Zusammenfassung

Automatisch erstellt aus den Vergabeunterlagen

Das Fraunhofer-Institut für Elektronische Nanosysteme (ENAS) in Chemnitz beschafft zwei Lose mit Präzisionsbauteilen aus Siliziumnitrid für eine Waferbondanlage vom Typ EVG 540.

Los 1 – Bondplatte 8 Zoll: 2 Stück identische Bonddruckplatten (SiN, 8 Zoll) als Prozesswerkzeug.

Los 2 – Einlage 8 Zoll: 2 Stück identische Bondchucks (SiN, 8 Zoll) als Prozesswerkzeug.

Beide Lose erfordern Vollmaterial ohne Porosität, Temperaturstabilität bis 550 °C, Kraftstabilität bis 70 kN sowie hohe Oberflächengüte. Konstruktionsgrundlage sind STEP-Dateien.

Die Lose können einzeln oder kombiniert angeboten werden. Es ist ein offenes Verfahren nach UVgO; Angebote sind bis zum 14.10.2026 um 12:00 Uhr ausschließlich elektronisch über die Vergabeplattform einzureichen.

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Zeitplan & Fristen

Aus den Vergabeunterlagen extrahiert
Angebotsfrist: 14. Oktober 2026
Termin / FristSEP2026OKTNOV
Veröffentlichung30. Sep. 2026
Bieterfragen-Fristca. 2. Okt. 2026
Bieterfragen-Beantwortungca. 8. Okt. 2026
Angebotsfrist14. Okt. 2026
Bindefrist14. Okt. – 13. Nov. 2026
AngebotsöffnungDatum offenÖffnung der eingegangenen Angebote; konkreter Termin nicht in den Unterlagen genannt (in der Regel direkt nach Angebotsfrist).
vor Angebotsabgabenach Angebotsabgabegeschätzt

Zuschlagskriterien

Gewichtung laut Vergabeunterlagen
Preis & Qualität2 Kriterien
Preis 50%Qualität 50%
  • Preis50%

    Angebotspreis (ohne MWSt). Bewertung metrisch: niedrigster Preis erhält volle Punktzahl, doppelt so hoher Preis 0 Punkte, dazwischen lineare Interpolation. Optionen fließen in die preisliche Bewertung ein.

  • Technische Spezifikation50%

    Technische Ausführung der Bonddruckplatte bzw. des Bondchucks (Siliziumnitrid). Bewertung 0-100 Punkte je nach relativem Vorteil/Nachteil. LV-Positionen mit F (Forderung) müssen zwingend erfüllt werden, sonst Ausschluss. B-Positionen dienen der Bewertung (max. 100 Punkte). O-Positionen (Optionen) fließen ebenfalls in die technische Bewertung ein (angeboten/nicht angeboten oder gewichtet).

Niedrigster Preis erhält volle Punktzahl, ein fiktiver doppelt so hoher Preis erhält 0 Punkte, dazwischen lineare Interpolation. Technische Spezifikation: 0-100 Punkte je nach relativem Vorteil/Nachteil gegenüber bester Lösung. Gesamtpunkzahl = gewichtete Summe der Punkte je Kriterium.

KI-Hinweis: Zuschlagskriterien und Gewichtungen (Preis 50%, Technische Spezifikation 50%) sind eindeutig in 'PR1295628_avard conditions Zuschlagskriterien.pdf' und im Formblatt 631 festgelegt.

Leistungsumfang

Aus den Vergabeunterlagen

Gemeinsame technische Anforderungen an beide Lose

Beide Lose (Bondplatte und Einlage) sind für den Einsatz als Prozesswerkzeuge in einer Waferbondanlage vom Typ EVG 540 bestimmt.

Material: Siliziumnitrid-Vollmaterial ohne PorositätTemperaturstabilität: mindestens 550 °CKraftstabilität: mindestens 70 kN (verteilt auf die Vollfläche)Konstruktionsgrundlage: Maße und Form gemäß den mitgelieferten STEP-Dateien (Anlage A je Los)Toleranzen und Oberflächengüte: gemäß den Kommunikationsskizzen (Anlage B je Los)Sprache: Deutsch oder Englisch

Liefermodalitäten

Leistungsort: Fraunhofer ENAS, 09126 Chemnitz, DeutschlandAnlieferung: schnellstmöglich (kein konkretes Datum vorgegeben)Lose können einzeln oder kombiniert angeboten werden

Eignungskriterien

Geforderte Nachweise laut Vergabeunterlagen

Zwingende Ausschlussgründe (§§ 123, 124 GWB)

Es dürfen keine Ausschlussgründe gemäß §§ 123 und 124 GWB vorliegen. Das Nichtvorliegen ist durch die unterschriebene Eigenerklärung (Formular „C_Eigenerklärung Nichtvorliegen Ausschlussgründe" / „C_Self-declaration regarding the absence of exclusion criteria") zu belegen. Die Erklärung ist von jedem Bewerber/Bieter und von allen Mitgliedern einer Bietergemeinschaft abzugeben. Etwaige Self-Cleaning-Maßnahmen gemäß § 125 GWB sind auf gesonderter Anlage darzulegen.

Zu den erfassten Tatbeständen stehen u. a. Verurteilungen wegen:

Mitgliedschaft in kriminellen/terroristischen Vereinigungen (§§ 129, 129a, 129b StGB), Terrorismusfinanzierung (§ 89c StGB), Geldwäsche (§ 261 StGB), Betrug/Subventionsbetrug (§§ 263, 264 StGB – soweit EU-Haushalt betroffen), Bestechung/Bestechlichkeit (§ 299, §§ 108e/f, §§ 333/334/335a StGB, IntBestG), Menschenhandel (§§ 232, 233, 233a StGB)schwere Verstöße gegen Steuer- oder SozialversicherungspflichtenVerstöße gegen umwelt-, sozial- oder arbeitsrechtliche Verpflichtungen, Insolvenz, schwerwiegende Verfehlung, wettbewerbsbeschränkende Vereinbarungen, Interessenkonflikte, Wettbewerbsverzerrung, mangelhafte Auftragserfüllung, Täuschung/Auskunftsverweigerung, unzulässige Beeinflussung des VergabeverfahrensSpezialgesetze: § 21 SchwarzArbG, AEntG, AufenthG, MiLoG; § 22 LkSG; § 14 BTTG

Eignungsnachweis und weitere Anforderungen

Eignungsnachweis: Vorläufiger Nachweis durch Eigenerklärung zur Eignung oder Einheitliche Europäische Eigenerklärung (EEE). Auf Verlangen der Vergabestelle sind Bescheinigungen zuständiger Stellen nachzureichen (in deutscher Sprache oder mit deutscher Übersetzung). Alternativ Eintrag in einem amtlichen Verzeichnis (z. B. PQ-Verzeichnis der IHK) oder Zertifikat gemäß europäischer Zertifizierungsstandards.Vollständige Vorlage aller geforderten Eignungsnachweise – unvollständige Dokumente führen zum Ausschluss.Unklarheiten sind unverzüglich in Textform vor Angebotsabgabe zu melden.Einhaltung MiLoG: Verpflichtung zur Weiterreichung an Nachunternehmer; kein Ausschluss gemäß § 19 Abs. 1 MiLoG.Antikorruptionsklausel: siehe Anlage.

Finanzielle Anforderungen (schwellenwertabhängig)

Auftragswert > 500.000 €: Bonitätsprüfung durch Creditreform oder CofaceAuftragswert ≥ 30.000 €: Abfrage des Wettbewerbsregisters (WBR) gemäß § 6 Abs. 1 WRegGHinweis: Aus dem vorliegenden Verfahren ergibt sich, dass beim erfolgreichen Bieter ab Auftragssumme > 30.000 € ein Auszug aus dem Gewerbezentralregister angefordert wird.

Sprache, Form und Einreichung

Angebote sind in deutscher oder englischer Sprache abzufassenVorgegebene Vordrucke der Vergabestelle sind zu verwenden, alle Eintragungen dokumentenechtEinreichung bis zum Ablauf der Angebotsfrist, ausschließlich elektronisch über die VergabeplattformBei Bietergemeinschaften: Textform-Erklärung aller Mitglieder (ARGE-Erklärung, Bevollmächtigter, gesamtschuldnerische Haftung)
KI-Hinweis: Alle Eignungskriterien wurden per KI aus den Vergabeunterlagen extrahiert. Mit TendiGo prüfen Sie in wenigen Minuten, ob Ihr Unternehmen die Anforderungen erfüllt.

Wettbewerb & Angebotsprognose

Erwartete Konkurrenz auf Basis vergleichbarer Vergaben
1–3Angebote erwartet
Median vergleichbarer Vergaben: rund 2 Angebote
Geringe Konkurrenz
Wahrscheinliche Bieterzahl
1–3 · 80%4–10 · 19%11+ · 1%
Checkliste zur AngebotsabgabeKonkrete Schritte laut Vergabeunterlagen0 von 19 erledigt
Angebotsformulare & Erklärungen
Technische Angebotsunterlagen
Angebotsgestaltung & Sprache
Elektronische Einreichung
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Auf einen Blick

Auftraggeber
Fraunhofer ENAS
Ort
09126 Chemnitz, Sachsen
Kategorie
Sachsen
Veröffentlicht
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Erfüllungsort

Ort der Leistung
09126 Chemnitz
Sachsen

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