Electron Beam Evaporator
Zusammenfassung
Automatisch erstellt aus den VergabeunterlagenKurzbeschreibung
Das Max-Planck-Institut für Mikrostrukturphysik in Halle (Saale) beschafft einen Electron Beam Evaporator (Elektronenstrahlverdampfer) zur präzisen Abscheidung dünner Schichten im Hochvakuum. Die Anlage umfasst Vakuumkammer, E-Beam-Quelle (bis 10 kV / 6 kW), Pumpensystem, Dünnfilm-Depositionskontroller mit Quarzsensor sowie Lieferung, Installation, Inbetriebnahme und Einweisung des Personals.
Was Sie tun müssen:
Zeitplan & Fristen
Aus den Vergabeunterlagen extrahiertZuschlagskriterien
Gewichtung laut Vergabeunterlagen- Preis100%
Der Preis wird aus der Wertungssumme des Angebotes ermittelt. Die Wertungssummen werden ermittelt aus den nachgerechneten Angebotssummen, insbesondere unter Berücksichtigung von Nachlässen.
Leistungsumfang
Aus den VergabeunterlagenArt der Leistung
Lieferung eines Electron Beam Evaporator (Elektronenstrahl-Verdampfungsanlage) als schlüsselfertige Gesamtlösung für Dünnschicht-Abscheidung im Hochvakuum.
Hauptkomponenten der Anlage
1. PVD-Grundplattform – Innenhöhe ≥ 500 mm, zentral positionierte E-Beam-Quelle, Substrat-Quellenabstand ca. 400 mm, optionale Glovebox-Integration
2. Rotierende Substratstation – 100×100 mm oder Ø100 mm, Drehzahl 10–30 rpm
3. Substratkühlsystem – passive Kühlung mit Thermofluid und Wasser
4. Substrat-Shutter – elektropneumatisch, Edelstahl
5. Pumpen – 1× Vorvakuumpumpe (bis 6 m³/h), 1× Turbomolekularpumpe (685 l/s); Basisdruck ca. 5×10⁻⁷ mbar
6. Vakuummessgerät – Full-range Messsystem (Atmosphäre bis 5×10⁻⁹ mbar)
7. E-Beam-Quelle – bis 10 kV, 600 mA, 6 kW, Pockets ≥ 4 Stück je ≥ 7 cm³
8. Quarz-Kristallsensor – 6 MHz, wassergekühlt
9. Dünnschicht-Depositionscontroller – Frequenzbereich 1–6,5 MHz, Frequenzauflösung ±0,012 Hz @ 4 readings/sec
10. Software – Windows-basierte PC-Steuerung
11. Geeignete Beschichtungsmaterialien: Ti, Cr, Au, Ag, Al
Lieferung, Montage und Inbetriebnahme
Optionale Bestandteile
Eignungskriterien
Geforderte Nachweise laut VergabeunterlagenVorläufiger Eignungsnachweis
Vorab genügt eine Eigenerklärung zur Eignung für Liefer-/Dienstleistungen (Anlage 03) oder die Einheitliche Europäische Eigenerklärung (EEE). Bescheinigungen der zuständigen Stellen werden nur bei engerer Wahl nachgefordert.
Alternativ akzeptiert: Eintrag in amtlichem Verzeichnis (z.B. PQ-Verzeichnis der IHK) oder Zertifikat gemäß europäischen Zertifizierungsstandards.
Zwingende Ausschlussgründe (§ 123 GWB)
Es dürfen KEINE Verurteilungen wegen folgender Straftaten vorliegen:
Fakultative Ausschlussgründe (§ 124 GWB)
Diese Gründe dürfen NICHT vorliegen:
Mindestanforderungen an Fachkunde und Leistungsfähigkeit
| Anforderung | Kriterium |
|---|---|
| Gewerberechtliche Voraussetzungen | Erfüllung der für die Ausführung der Leistung erforderlichen gewerblichen Voraussetzungen (im Angebotsschreiben zu erklären) |
| Haftpflichtversicherung | mind. 5 Mio. EUR (2-fach maximiert) Personen-/Sachschäden; mind. 250.000 EUR (1-fach) Vermögensschäden – Erklärung erforderlich, Nachweis auf Verlangen |
| Mindestumsatz | durchschnittlich ≥ 500.000 EUR im Tätigkeitsbereich des Auftrags in den letzten 3 abgeschlossenen Geschäftsjahren |
| Referenzen | 2–3 vergleichbare Unternehmensreferenzen (max. 3 DIN A4-Seiten je Referenz, Schriftgröße 11pt), Leistungserbringung in den letzten 3 Jahren |
| Handelsregister/Verzeichnis | Eintragung im Handelsregister oder gleichwertige Erlaubnis, alternativ amtliches Verzeichnis (z.B. IHK-PQ) |
| Unternehmensangaben | Name, Anschrift, Kontakt, USt-ID, Gründungsjahr, Unternehmensgröße, Hauptgeschäftstätigkeit, Niederlassungen, Beschäftigtenzahl der letzten 3 Jahre |
| Tariftreue (BTTG) | Erklärung zur Tariftreue |
| Russland-Sanktionen | Erklärung gemäß Art. 5k VO EU 833/2014 |
Sprache und Form der Nachweise
Bietergemeinschaften und Nachunternehmer
Bietergemeinschaften müssen in Textform erklären:
Für Nachunternehmer ist ein Verzeichnis der Leistungen/Kapazitäten anderer Unternehmen einzureichen.
Unternehmensreferenzen, die in Art und Umfang mit der ausgeschriebenen Leistung (Lieferung/Installation/Inbetriebnahme eines Electron Beam Evaporator / PVD-Beschichtungssystems) vergleichbar sind
Maximal 3 DIN A4-Seiten pro Referenz (11pt) unter Verwendung des Anhangs zu Anlage 03; Inhalt: Auftraggeber, Zeitraum, Auftragsvolumen, Gegenstand und Beschreibung der Leistung; auf Anforderung Kontaktdaten eines Ansprechpartners beim Referenzgeber
Wettbewerb & Angebotsprognose
Erwartete Konkurrenz auf Basis vergleichbarer VergabenAuf einen Blick
Erfüllungsort
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