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Erneuerung und Erweiterung einer MOVPE-Anlage für III-Nitrid und 2D-Halbleiter

Universität Duisburg-Essen | Vergabekammer Rheinland | Datenservice Öffentlicher Einkauf (in Verantwortung des Beschaffungsamts des BMI)Duisburg, Nordrhein-WestfalenVeröffentlicht:
Angebotsfrist: noch 30 Tage

Zusammenfassung

Automatisch erstellt aus den Vergabeunterlagen

Die Universität Duisburg-Essen vergibt im offenen Verfahren die Erneuerung und Erweiterung einer bestehenden Aixtron MOVPE-Anlage (Seriennummer CS17580) für die Forschung an III-Nitrid- und 2D-Halbleitermaterialien.

Was zu erneuern ist: Prozesspumpe, Showerhead-Gaseinlass sowie 4 Rückschlagventile (baugleicher Ersatz).

Was zu erweitern ist: Anbindung der Quellmaterialien Triethylboran (mit temperaturgeregeltem Wasserbad) und Ethen (Double-Dilute-Konfiguration) inklusive neuer Gasleitungen, Massenflussregler und Anpassung des Gas-Panels.

Was außerdem dazugehört: Software-Update, Anpassung der Dokumentation, CE-Konformitätsnachweis, Abnahme mit Lecktest sowie technischer Service für mindestens 5 Jahre nach Abnahme.

Vergabeart: Zuschlag auf das wirtschaftlichste Angebot (niedrigster Preis). Nebenangebote sind nicht zugelassen. Angebote sind elektronisch über den Vergabemarktplatz NRW einzureichen.

Hinweis: Der Auftrag ist als Werkvertrag ausgestaltet; Lieferung, Montage, Integration, Inbetriebnahme und Funktionsprüfung sind durch den Auftragnehmer zu erbringen.

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Zeitplan & Fristen

Aus den Vergabeunterlagen extrahiert
Noch 30 Tage bis zur Angebotsfrist — 09. Oktober 2026
HEUTE
Termin / FristOKT2023 APR OKT APR OKT APR OKT APR
Referenzen Gültigkeitszeitraumca. 9. Okt. 2023 – 9. Okt. 2026
Veröffentlichung8. Sep. 2026
Bieterfragen-Frist1. Okt. 2026
Angebotsfrist9. Okt. 2026
Bindefrist9. Okt. – 8. Dez. 2026
Rügefristca. 9. Okt. – 19. Okt. 2026
Nachprüfungsantragca. 9. Okt. – 24. Okt. 2026
Unwirksamkeitsantragca. 9. Okt. – 8. Nov. 2026
Zuschlagca. 8. Dez. 2026
Vertragslaufzeitca. 8. Dez. 2026 – 8. Juni 2027
Ersatzteilverfügbarkeitca. 8. Juni 2027 – 8. Juni 2032bis 2032
vor Angebotsabgabenach Angebotsabgabegeschätzt

Zuschlagskriterien

Gewichtung laut Vergabeunterlagen
Niedrigster Preis1 Kriterium
Preis 100%Qualität 0%
  • Preis100%

    Der Zuschlag wird auf das wirtschaftlichste Angebot erteilt. Die Zuschlagskriterien sowie deren Gewichtung/Reihenfolge ergeben sich aus dem niedrigsten Preis.

KI-Hinweis: Im Anschreiben (Formular 321 EU) wird explizit angegeben, dass der Zuschlag nach dem niedrigsten Preis erfolgt – keine weiteren Zuschlagskriterien.

Leistungsumfang

Aus den Vergabeunterlagen

Ausführungsort und Rahmenbedingungen

Die Arbeiten erfolgen im Reinraum der Klasse 5 (ISO 14644-1) der Universität Duisburg-Essen. Lieferung frei Verwendungsstelle (47057 Duisburg). Zu beachten sind die baulichen Durchlässe: Tür max. 2,05 m x 2,10 m, Gang max. 1,30 m x 2,20 m, Lastenaufzug bis 3,5 t. Auftragnehmer schuldet Lieferung, Montage, Integration, Inbetriebnahme und Funktionsprüfung als Werkvertrag.

Erneuerung (baugleicher Ersatz)

Folgende Komponenten der bestehenden Aixtron-Anlage CS17580 sind zu erneuern:

Prozesspumpe: trocken-laufende Vakuumpumpe als baugleicher ErsatzShowerhead-Gaseinlass: baugleicher Ersatz inkl. Umbau, Justage und Kalibration der optischen In-Situ-MessgeräteRückschlagventile: 4 Stück, davon 2x ½" VCR M/M 0,03 bar und 2x ½" VCR M/M 0,07 barSämtliche Kleinteile (Schrauben, Dichtungen, Verbindungen)

Erweiterung – neue Quellmaterialien

Zwei zusätzliche Quellmaterialien sind in das bestehende Gasversorgungssystem (Gas Panel) zu integrieren:

Ethen: Edelstahlleitungen ab Anlage, Double-Dilute-Konfiguration, digitaler Massenflussregler (5·10⁻⁶ bis 1·10⁻³ mol/min, ±1 % Genauigkeit), Zuschaltung auf die MO-LeitungTriethylboran: temperaturgeregeltes Wasserbad für den Bubbler, Trägergasflussregelung, Massenflussregler (5·10⁻⁶ bis 1·10⁻⁴ mol/min, ±1 % Genauigkeit), Zuschaltung auf die MO-Leitung

Zusätzlich: Installation von Fluss- und Druckreglern für die kontrollierte Materialzufuhr in den Reaktor.

Software, Dokumentation und Konformität

Update der vorhandenen Betriebssoftware für die neuen GaskanäleAnpassung technischer Zeichnungen und Schaltpläne vor Umbaubeginn (Freigabe durch den Auftraggeber erforderlich)CE-Konformitätsnachweis

Abnahme und Inbetriebnahme

Nach Abschluss der Arbeiten sind durchzuführen:

FunktionstestLecktest (Leckrate < 10⁻⁹ mbar/s bei 5·10⁻³ mbar)Demonstration der Softwareintegration

Service und Ersatzteilverfügbarkeit

Technischer Service: Mo-Fr 09:00-17:00 Uhr MEZ/MESZ (5 Arbeitstage/Woche), telefonisch oder per E-MailReaktionszeit: maximal 72 Stunden (arbeitstags innerhalb der Servicezeiten)Ersatzteilverfügbarkeit: mindestens 5 Jahre ab Abnahme

Optionale Leistung Prozesssupport

Nach dem Umbau kann optional Prozesssupport angeboten werden – z.B. Wiederaufnahme des Anlagenbetriebs, Optimierung der Prozessparameter und Begleitung erster Prozessläufe. Der Bieter soll hierfür Umfang, Dauer, enthaltene Leistungen und Vergütung angeben.

Eignungskriterien

Geforderte Nachweise laut Vergabeunterlagen

Berufshaftpflichtversicherung

Nachweis einer Berufshaftpflichtversicherung mit Mindestdeckungssumme von 2.500.000 EUR je Schadensfall/Jahr für Personen-, Sach- und Vermögensschäden. Alternativ: Bescheinigung einer Versicherung über die Bereitschaft zum Abschluss im Auftragsfall. Wichtig: Wird ein Nachweis mit zu niedriger Deckungssumme eingereicht, führt dies zwingend zum Ausschluss – eine Nachforderung ist ausgeschlossen.

Ausschlussgründe

Keine zwingenden Ausschlussgründe gemäß § 123 GWB sowie keine fakultativen Ausschlussgründe gemäß § 124 GWB. Nachweis über das Formular 521 EU (Eigenerklärung Ausschlussgründe). Negative Überprüfung der Eignung führt zum Angebotsausschluss. Fehlende Unterlagen werden grundsätzlich nachgefordert, bevor es zum Ausschluss kommt.

Technische und berufliche Leistungsfähigkeit – Referenzen

Mindestens 3 Referenzen aus den letzten 3 Jahren mit vergleichbaren Arbeiten an Aixtron-MOVPE-Anlagen. Die Gesamtheit der Referenzen muss jedes der folgenden vier Kriterien mindestens einmal nachweisen:

Installation und Inbetriebnahme neuer Aixtron MOVPE-SystemeErweiterung einer bestehenden Aixtron MOVPE-Anlage um ein oder mehrere QuellmaterialienServicearbeiten an Aixtron Showerhead-Reaktoren (Austausch und Reinigung eines Showerheads)Umbaumaßnahmen am Gas-Panel einer Aixtron MOVPE-Anlage mit anschließender Prüfung der Leckrate

Pro Referenz sind anzugeben: Projektbezeichnung, Laufzeit/Realisierungszeitraum, Auftraggeber mit Ansprechpartner (mit Einverständnis) bzw. Unternehmen und Abteilung, zutreffende Vergleichbarkeitskriterien (ankreuzen) und Referenzbeschreibung.

Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit

Nachweis über Präqualifikation (Eintrag im amtlichen Verzeichnis IHK unter https://amtliches-verzeichnis.ihk.de oder im PQ-Verein unter https://www.pq-verein.de) – sofern vorhanden. Elektronische Auftrags- und Zahlungsabwicklung ist erforderlich.

Bietergemeinschaften, Unteraufträge und Eignungsleihe

Bietergemeinschaften: Alle Mitglieder müssen die Eignungskriterien erfüllen; ein bevollmächtigter Vertreter (federführendes Mitglied) ist zu benennen. Gesamtschuldnerische Haftung. Formular 531 EU.Unteraufträge (§ 36 VgV): Beabsichtigte Unteraufträge sind mit Auftragsteilen und Kontaktdaten offenzulegen. Formulare 533a/533b EU.Eignungsleihe (§ 47 VgV): Inanspruchnahme von Kapazitäten anderer Unternehmen möglich. Der Eignungsleiher muss bestätigen, dass keine Ausschlussgründe vorliegen. Formulare 534a/534b EU.

Rechtsbehelf und Rügepflicht

Verstöße gegen Vergabevorschriften sind innerhalb von 10 Kalendertagen vor einem Nachprüfungsantrag zu rügen.Nachprüfungsantrag: innerhalb von 15 Kalendertagen nach Mitteilung über Nichtabhilfe.Unwirksamkeitsantrag: innerhalb von 30 Kalendertagen nach Veröffentlichung im EU-Amtsblatt.
Referenzprojekte
mindestens 3 ReferenzenZeitraum: letzte 3 Jahre

Mindestens 3 Referenzen aus den letzten 3 Jahren; Gesamtheit muss alle 4 Vergleichbarkeitskriterien mindestens einmal abdecken: a) Installation und Inbetriebnahme neuer Aixtron MOVPE-Systeme, b) Erweiterung einer bestehenden Aixtron MOVPE-Anlage um ein oder mehrere Quellmaterialien, c) Servicearbeiten an Aixtron Showerhead-Reaktoren (Austausch und Reinigung eines Showerheads), d) Umbaumaßnahmen am Gas-Panel einer Aixtron MOVPE-Anlage mit anschließender Prüfung der Leckrate

Pro Referenz: Projektbezeichnung, Laufzeit/Realisierungszeitraum, Auftraggeber, zutreffende Vergleichbarkeitskriterien (ankreuzen), Referenzbeschreibung, Ansprechpartner mit Telefonnummer (mit Einverständnis). Ein negatives Ergebnis der Überprüfung führt zum Angebotsausschluss.

KI-Hinweis: Alle Eignungskriterien wurden per KI aus den Vergabeunterlagen extrahiert. Mit TendiGo prüfen Sie in wenigen Minuten, ob Ihr Unternehmen die Anforderungen erfüllt.

Wettbewerb & Angebotsprognose

Erwartete Konkurrenz auf Basis vergleichbarer Vergaben
1–3Angebote erwartet
Median vergleichbarer Vergaben: rund 2 Angebote
Geringe Konkurrenz
Wahrscheinliche Bieterzahl
1–3 · 49%4–10 · 35%11+ · 16%
Checkliste zur AngebotsabgabeKonkrete Schritte laut Vergabeunterlagen0 von 17 erledigt
Pflichtformulare und Eigenerklärungen
Eignungsnachweise
Technisches Angebot
Sonstige Erklärungen und Formalitäten
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Auf einen Blick

Auftraggeber
Universität Duisburg-Essen | Vergabekammer Rheinland | Datenservice Öffentlicher Einkauf (in Verantwortung des Beschaffungsamts des BMI)
Anschrift
47057 Duisburg
Ort
47057 Duisburg
Kategorie
Nordrhein-Westfalen
Veröffentlicht
Angebotsfrist
Auftraggeber-Website
www.uni-due.de/

Erfüllungsort

Ort der Leistung
47057 Duisburg
Nordrhein-Westfalen

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