Hochvakuum-PVD-Beschichtungsanlage mit Elektronenstrahlverdampfer
Zusammenfassung
Automatisch erstellt aus den VergabeunterlagenBeschaffung einer Hochvakuum-PVD-Beschichtungsanlage mit Elektronenstrahlverdampfer (Modell TELEMARK 266) für die Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg.
Die Anlage dient dazu, dünne Schichten aus verschiedenen Materialien (Ti, Au, Al, Ni, Al2O3, SiO2) auf kleine Proben (max. 50 mm Durchmesser) aufzubringen – ein typisches Verfahren in der Forschung und Materialentwicklung.
Gefordert wird eine komplette Ein-Kammer-Anlage mit Schleusenkammer (Load Lock), Anlagensteuerung, DDP-Lieferung nach Erlangen sowie Montage, Inbetriebnahme, Abnahme und Schulung.
Zeitplan & Fristen
Aus den Vergabeunterlagen extrahiertZuschlagskriterien
Gewichtung laut Vergabeunterlagen- Preis70%
Angebotspreis (Gesamtpreis netto der Lieferleistung inkl. Montage, Support, Bedienungsanleitung, Schulung und Gewährleistung)
- Leistungsbewertung gemäß Kriterienkatalog30%
Bewertung der Leistungskriterien anhand einer Wertungsmatrix mit 0 bis 10 Punkten je Unterkriterium (Gewichtungen der Unterkriterien innerhalb der Leistungskriterien, Summe 100 %)
Leistungsumfang
Aus den VergabeunterlagenHauptanlage: Hochvakuum-PVD-Beschichtungsanlage
Ein-Kammer-Anlage mit Load Lock (eigene Schleusenkammer mit Hochvakuum-Pumpstand). Die Prozesskammer (ca. 300×300×600 mm) ist glaskugelgestrahlt und mit Kühlkanälen versehen.
Elektronenstrahlverdampfer:
Probenhandling:
Gasversorgung:
Anlagensteuerung:
Geeignete Materialien: Ti, Au, Al, Ni, Al2O3, SiO2 – Schichtdicken 5–250 nm mit Toleranz <5 %.
Dokumentation: Technische Unterlagen deutsch/englisch, EG-Konformitätserklärung.
Transport und Lieferung
Lieferung DDP (geliefert verzollt) gemäß Incoterms 2020 an:
Konrad-Zuse-Str. 3-5, 91052 Erlangen, Erdgeschoss.
Montage, Inbetriebnahme, Abnahme, Einweisung
Support
Bedienungsanleitung und Schulung
Bedienungsanleitung: System-Manual als PDF in Deutsch oder Englisch.
Schulung:
Gewährleistung und Lieferzeit
Bauseitige Anforderungen (vom Auftraggeber zu stellen)
Elektrik: 3×400 V, 50 Hz, ca. 10 kVA
Kühlwasser: 4 bar Eingangsdruck, max. 1 bar Ausgangsdruck, ca. 10 l/min, 18 °C
Gase: Argon (Reinheit 5.0), Druckluft 6 bar (öl- und wasserfrei)
Klima: 20–25 °C, 30–70 % relative Feuchte
Platzbedarf: ca. 1000×1800 mm² Grundfläche, max. Höhe 2200 mm, Gewicht ca. 800 kg
Eignungskriterien
Geforderte Nachweise laut VergabeunterlagenPflicht-Eigenerklärungen (Ausschlusskriterien)
Folgende Eigenerklärungen sind mit dem Angebot einzureichen:
1. Allgemeine Eigenerklärung:
2. Eigenerklärung zu russischen Unternehmen:
3. Eigenerklärung für Unterauftragnehmer/Eignungsverleiher:
Technische Leistungsfähigkeit – Referenzen
Mindestens 3 vergleichbare Referenzen aus den letzten 3 Jahren.
Geforderte Vergleichbarkeit:
Für jede Referenz sind anzugeben:
Hinweis: Die Vergleichbarkeit der Referenzen wird von der Vergabestelle geprüft. Unvergleichbare Referenzen führen zum Ausschluss.
Unternehmensstruktur und Formalien
Wirtschaftliche Eignung
Im sichtbaren Dokument sind keine spezifischen Eignungskriterien zur Wirtschaftlichkeit oder finanziellen Leistungsfähigkeit definiert.
Mindestens 3 vergleichbare Projekte aus den letzten 3 Jahren: Bereitstellung von Anlagen mit TELEMARK-Elektronenstrahlverdampfer UND Load Lock
Name des Referenzkunden, Auftragszeitraum, Kurzbeschreibung, Aufgabenteilung bei Beteiligung mehrerer Unternehmen, technisches Umfeld, Auftragsvolumen netto in Euro, Ansprechpartner mit E-Mail und Telefon, Verfügbarkeit der fachlichen Leitung. Vergleichbarkeit wird von der Vergabestelle geprüft (Ausschlusskriterium).
Wettbewerb & Angebotsprognose
Erwartete Konkurrenz auf Basis vergleichbarer VergabenAuf einen Blick
Erfüllungsort
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