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Plasmawäscher

Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf B12Fraunhofer IZM Gustav-Meyer-Allee 25 13355 Berlin, BerlinVeröffentlicht:
Angebotsfrist:

Zusammenfassung

Automatisch erstellt aus den Vergabeunterlagen

Öffentliche nationale Ausschreibung der Fraunhofer-Gesellschaft (Vergabe-Nr. PR1130133-2590-W) für die Lieferung und Installation eines Plasmawäschers. Das Abgasreinigungssystem soll schädliche Gase, Dämpfe und Partikel aus PECVD-, RIE- und DRIE-Prozesskammern mittels Plasma zerlegen und auswaschen, um toxische Emissionen und Treibhausgase zu verhindern. Geplant ist ein Multikammersystem für 10 Kammern, kompatibel mit KLA/SPTS- und Tricon-Werkzeugen, mit einem Maximalbudget von 200.000 € netto. Angebote sind ausschließlich elektronisch über das Fraunhofer-Vergabeportal einzureichen.

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Zeitplan & Fristen

Aus den Vergabeunterlagen extrahiert
Angebotsfrist: 02. Oktober 2026
Termin / FristSEP2026OKTNOVDEZ
Bieterfragen-Frist (Stellung)ca. 10. Sep. 2026
Bieterfragen-Frist (Beantwortung)ca. 16. Sep. 2026
Angebotsfrist22. Sep. 2026
Bindefrist22. Sep. – 3. Nov. 2026
Bankbürgschaft Bereitstellungca. 3. Nov. – 1. Dez. 2026
Rechnungseinreichung4. Dez. 2026
Bankbürgschaft Vorlage4. Dez. 2026
Ersatzteilhaltungca. 4. Dez. 2026 – 4. Dez. 2036bis 2036
Gewährleistungca. 5. Dez. 2026 – 4. Dez. 2027bis 2027
vor Angebotsabgabenach Angebotsabgabegeschätzt

Zuschlagskriterien

Gewichtung laut Vergabeunterlagen
Preis & Qualität2 Kriterien
Preis 55%Qualität 45%
  • Preis55%

    Angebotspreis (metrisch): niedrigster Preis erhält 100 Punkte, fiktiver doppelt so hoher Preis 0 Punkte, lineare Interpolation dazwischen.

  • Technische Ausführung des Produktes / der DL45%

    Nicht-metrische Bewertung der technischen Ausführung des Plasmawäschers anhand der mit B gekennzeichneten Bewertungskriterien im Leistungsverzeichnis (max. 100 Punkte, Noten 1-5). Bewertet werden u.a. die im LV mit B markierten Positionen zur technischen Leistungsfähigkeit.

Niedrigster Preis/Lieferzeit erhält volle Punktzahl, fiktiver doppelt so hoher Preis/doppelt so lange Lieferzeit erhält 0 Punkte, dazwischen lineare Interpolation (100-Punkte-Skala). Nicht-metrisches Kriterium Technische Ausführung: Punkteskala 0-100 mit Noten 1-5 (100%=Note1, 80%=Note2, 60%=Note3, 40%=Note4, 20%=Note5, 0%=Ausschluss). Gesamtpunkte = gewichtete Summe der Punkte je Kriterium, höchste Gesamtpunktzahl erhält Zuschlag.

KI-Hinweis: Zuschlagskriterien und Gewichtungen (Preis 55%, Technische Ausführung 45%) sowie Bewertungsmethodik sind vollständig in den Vergabeunterlagen dokumentiert.

Leistungsumfang

Aus den Vergabeunterlagen

Kernfunktion des Plasmawäschers

Aufbrechen und Auswaschen schädlicher Gase, Dämpfe und Partikel durch ionisiertes Gas (Plasma)Verhinderung toxischer Emissionen und Treibhausgase aus PECVD- und RIE/DRIE-ProzessenPlasma-Zündung mit Sauerstoff (O₂) oder Stickstoff (N₂)Zerstörungsrate (DRE) > 95 % für alle prozessrelevanten GaseTA Luft-Konformität

Multikammerbetrieb und Kompatibilität

Multikammersystem für 10 Prozesskammern (max. 3 verschiedene Typen: RIE, DRIE, Deposition)Anschluss an PECVD-, RIE- und DRIE-Systeme, darunter:SPTS 200 APM/APS/Rapier (200 mm)Trimax NEO203A und Trimax Single Chamber (200 mm)SYNAPSE (SPTS ICP, 200 mm)SPTS 300 APM/APS/Rapier (300 mm)Kompatibilität mit KLA/SPTS- und Tricon-KammernKompatibilität mit Trockenpumpen Adixen ADS600, ADS1200H und ADS124Standby-Betrieb mit separater Schaltung je KammeringangBeheizter Eingang für PECVD-Kammern (ein Eingang für beide PECVD-Kammern zulässig)Extern steuerbarer Betrieb (An-/abschaltbar prozessgesteuert)

Technische Anschluss- und Aufstellbedingungen

Elektrischer Anschluss: 400 V oder 230 V, 50 HzKühlwassertemperatur: 20 °C, Kühlwasserdruck: < 4 barAbluftdruck (Unterdruck): -510 mbarBegleitheizung zwischen Pumpen und Abatement: 10 m Leitung, DN50 EdelstahlAufstellfläche: < 2 × 2 mGewicht: ≤ 1000 kg/m²

Prozessgase und Clusteranlagen

PECVD: C3F8, O2, SiH4, TEOS, H2, He, NH3, N2O, N2, NF3RIE: He, C4F8, O2, CF4, Ar, N2H2, SF6, N2DRIE: SF6, C4F8, O2, ArZugehörige Clusteranlagen: SPTS 200 (Kammern 1–3), Trimax (Kammern 4–6), SPTS 300 (Kammern 8–10)

Lieferung, Installation, Dokumentation und Schulung

Lieferung, Installation und Inbetriebnahme des PlasmawäschersSchulung von 3 Personen vor Ort (Betrieb und Wartung)Digitale Betriebsanleitung in Deutsch oder EnglischWartungsplan mit ZeitpunktenVerbindliche Lieferzeit in Kalenderwochen ab Auftragsvergabe (vom Bieter anzugeben)Maximalbudget: 200.000 € netto – Überschreitung führt zum Ausschluss

Eignungskriterien

Geforderte Nachweise laut Vergabeunterlagen

Persönliche Zuverlässigkeit und Ausschlussgründe

Keine Ausschlussgründe nach § 123 und § 124 GWB (z.B. Verurteilungen, schwere Verfehlungen, Untreue, Bestechung, Subventionsbetrug, wettbewerbsbeschränkende Absprachen)Erklärung zur Korruptionsprävention (keine Vorteilsgewährung/Bestechung gegenüber Amtsträgern oder Vergabe-Beteiligten)Eigenerklärung gemäß EU-Sanktionsverordnung (EU) Nr. 833/2014: kein Russland-Bezug des Bieters und von Unterauftragnehmern/Lieferanten > 10 % AuftragswertKeine Verwicklungen gemäß § 19 MiLoG

Fachliche und wirtschaftliche Eignung

Vollständiges Firmenprofil mit Gründungsjahr, Meilensteinen, Mitarbeiterzahl, hergestellten Produkten und erbrachten LeistungenUmsatzangaben für die Geschäftsjahre 2022, 2023, 2024 (sowie 2025 falls vorhanden)Bonität/Kreditwürdigkeit: Fähigkeit, eine selbstschuldnerische Anzahlungsbürgschaft über 100 % des Auftragswerts inkl. MwSt. zu stellen

Referenzen

Mindestens 3 vergleichbare Projekte (Plasmawäscher / Plasma-Abatement / vergleichbare Abgasreinigungssysteme)Nicht älter als 2023Kurzbeschreibung des Geräts, Kundennennung inkl. Kontaktdaten und Ansprechpartner

Technische und handelsrechtliche Voraussetzungen

CE-Konformität, Einhaltung der EU-Maschinenrichtlinie, CE-KennzeichnungBereitstellung technischer Dokumente (für Betrieb des Geräts)Ersatzteilversorgung für mindestens 10 Jahre nach LieferungExport-Klassifizierung gemäß US-EAR/ECCN, USML, EU-Dual-Use-VO 2021/821 und EU-MilitärgüterlisteIntrastat-Angaben bei EU-internem Warenverkehr

Sprache, Kommunikation und Nachhaltigkeit

Angebot in deutscher oder englischer SpracheKommunikation ausschließlich über die Fraunhofer-Vergabeplattform (https://vergabe.fraunhofer.de/)Einhaltung der Mindestlohn-Vorgaben für eigene Beschäftigte, Nachunternehmer und Verleiher (MiLoG); Nachweis auf VerlangenWettbewerregister-Abfrage durch den Auftraggeber ab Auftragswert ≥ 50.000 €Einhaltung der Fraunhofer-Nachhaltigkeitsstandards (ILO-Kernarbeitsnormen, Umwelt- und Klimaschutz, LkSG-Sorgfaltspflichten)
Referenzprojekte
Mindestens 3 ReferenzenZeitraum: Nicht älter als 2023

Vergleichbare Projekte: Plasmawäscher / Plasma-Abatement-Systeme bzw. vergleichbare Abgasreinigungssysteme für Halbleiterprozesse

Kurzbeschreibung des Geräts, Kundennennung inkl. Kontaktdaten und Ansprechpartner; datenschutzrechtliche Bestimmungen stehen der Nennung nicht entgegen

KI-Hinweis: Alle Eignungskriterien wurden per KI aus den Vergabeunterlagen extrahiert. Mit TendiGo prüfen Sie in wenigen Minuten, ob Ihr Unternehmen die Anforderungen erfüllt.

Wettbewerb & Angebotsprognose

Erwartete Konkurrenz auf Basis vergleichbarer Vergaben
1–3Angebote erwartet
Median vergleichbarer Vergaben: rund 2 Angebote
Geringe Konkurrenz
Wahrscheinliche Bieterzahl
1–3 · 51%4–10 · 30%11+ · 19%
Checkliste zur AngebotsabgabeKonkrete Schritte laut Vergabeunterlagen0 von 22 erledigt
Formale Angebotsunterlagen
Eignungsnachweise
Technische Angaben
Konformität und Nachhaltigkeit
Lieferung & Vertrag
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Auf einen Blick

Auftraggeber
Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf B12
Ort
Fraunhofer IZM Gustav-Meyer-Allee 25 13355 Berlin, Berlin
Kategorie
Berlin
Veröffentlicht
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Erfüllungsort

Ort der Leistung
Fraunhofer IZM Gustav-Meyer-Allee 25 13355 Berlin
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