Zusammenfassung
Automatisch erstellt aus den VergabeunterlagenDie Fraunhofer-Gesellschaft (Fraunhofer IAF in Freiburg) beschafft ein neues, hochempfindliches Secondary Ion Mass Spectrometer (SIMS) inklusive Lieferung, Installation, Inbetriebnahme, Schulung und 3-jährigem Servicevertrag.
Das Gerät dient zur Tiefenprofil-Analyse von Halbleitern (III-V-Verbindungen, Diamant) – also zur Messung von Dotierstoffen, Verunreinigungen, Schichtdicken und Homogenität, u. a. auf Wafern bis 150 mm. Es ersetzt ein veraltetes Quadrupol-SIMS, das die heutigen Nachweisgrenzen nicht mehr erfüllt.
Wesentliche Eckpunkte:
Zeitplan & Fristen
Aus den Vergabeunterlagen extrahiertZuschlagskriterien
Gewichtung laut Vergabeunterlagen- Preis35%
Angebotspreis ohne MwSt., bewertet über lineare Interpolation: niedrigster Preis = 100 Punkte, doppelt so hoher Preis = 0 Punkte.
- Technische Ausführung des Produktes/der DL65%
Bewertung der technischen Ausführung anhand einer Punkteskala 0–100. Die konkreten Bewertungspositionen (B-Kriterien) sind dem Leistungsverzeichnis bzw. der technischen Detailbeschreibung zu entnehmen; F-Positionen sind zwingende Forderungen (Ausschluss bei Nichterfüllung).
Niedrigster Preis erhält 100 Punkte, ein fiktiver doppelt so hoher Preis erhält 0 Punkte, dazwischen lineare Interpolation. Bei der technischen Ausführung erhält das relativ beste Angebot 100 Punkte, die anderen nach Unterschieden/Nachteilen (Noten: 100% = sehr gut, 80% = gut, 60% = befriedigend, 40% = ausreichend, 20% = mangelhaft, 0% = Ausschluss).
Leistungsumfang
Aus den VergabeunterlagenGesamtsystem & Lieferumfang
Menge: 1 Stück vollständiges, betriebsbereites SIMS-System inklusive aller Hardware, Software (Steuerung und Datenauswertung), Zubehör, Verpackung, Versicherung, Lieferung (DPU Incoterms 2020), Installation, Inbetriebnahme und Einweisung.
Lieferadresse: Fraunhofer Institut für angewandte Festkörperphysik, Wareneingang, Tullastraße 72, 79108 Freiburg (Aufstellung in Labor C207).
Entladung und Einbringung: Entladung am Bestimmungsort durch den Auftragnehmer; die Einbringung in das Labor liegt in Verantwortung von Fraunhofer, wobei der Auftragnehmer einen sachkundigen Vertreter zur Überwachung stellen muss.
Konformität: CE-Kennzeichnung und richtlinienkonforme Konformitätserklärung sind erforderlich.
Ersatzteile: Mindestens 10 Jahre Verfügbarkeit von Ersatzteilen muss garantiert werden.
Massanalysator & Detektion
Ionenquellen
Mindestens zwei Ionenquellen erforderlich:
Energiebereiche (Bewertungskriterien):
Ionenströme (Bewertungskriterien):
Tiefenprofil-Leistung & Nachweisgrenzen
Tiefenauflösung: ≤ 1 nm (84-16%-Methode, Standardbedingungen, Nachweis an Referenzprobe) – Pflicht.
Reproduzierbarkeit: ≤ 10 % RSD (1σ) über 8 h im quantitativen Bereich – Bewertungskriterium.
Oberflächenbehandlung: Mindestens ein integriertes Verfahren zur Reduzierung der Oberflächenrauhigkeit (z. B. Sauerstoff-Flooding oder Probenrotation).
Nachweisgrenzen (Pflicht):
Nachweisgrenzen (Bewertung):
(niedrigere Werte werden positiv bewertet)
Vakuumsystem
Probenhandling & Ladungskompensation
Automatisierung, Software & PC
Servicevertrag, Schulung & Dokumentation
Eignungskriterien
Geforderte Nachweise laut VergabeunterlagenAusschlussgründe (§§ 123, 124 GWB)
Der Bieter darf keiner der nachstehenden Ausschlussgründe aufweisen und muss dies durch die Eigenerklärung C_002 belegen:
Straftaten / Geldbußen (I.1–I.10): Keine Verurteilung oder Geldbuße wegen Bildung krimineller oder terroristischer Vereinigungen, Terrorismusfinanzierung, Geldwäsche, Betrug, Subventionsbetrug, Bestechung oder Menschenhandel.
Steuern und Abgaben (II.1–II.2): Keine rechtskräftige Feststellung, dass Steuern, Abgaben oder Sozialversicherungsbeiträge nicht gezahlt wurden.
Ordnungswidrigkeiten / Sozialrecht (IV.1–IV.4): Keine Verurteilung oder Geldbuße nach § 21 SchwarzArbG, § 21 AEntG, § 98c AufenthG oder § 19 MiLoG.
Weitere Ausschlüsse:
Sanktionen / Russland-Bezug (EU-VO 833/2014)
Der Bieter (sowie jedes Mitglied einer Bietergemeinschaft und Unterauftragnehmer/Lieferanten > 10 % des Auftragswerts) muss mit der Eigenerklärung C_004 bestätigen, dass kein Bezug zu Russland im Sinne von Art. 5k Abs. 1 der EU-Verordnung 833/2014 besteht:
Diese Erklärung muss in Textform (§ 126b BGB) eingereicht werden.
Bonität & Wettbewerbsregister
Bonitätsprüfung: Bei Auftragswert > 500.000 € kann der Auftraggeber eine Bonitätsauskunft bei Creditreform oder Coface einholen:
Wettbewerbsregister: Ab Auftragssumme ≥ 30.000 € wird für den erfolgreichen Bieter eine Abfrage des Wettbewerbsregisters gemäß § 6 Abs. 1 WRegG durchgeführt.
Technische und vertragliche Mindestanforderungen
Nachunternehmer und Bietergemeinschaften
Formale Anforderungen
Keine spezifischen Referenzprojekte gefordert
In den vorliegenden Vergabeunterlagen sind keine Anforderungen an Referenzprojekte beschrieben.