teil-automatisches Reinigungssystems für fotolithografische Masken

Fraunhofer ENAS09126 Chemnitz, SachsenVeröffentlicht: 29. August 2026

Angebotsfrist: 16. September 2026noch 6 Tage

Zusammenfassung

Automatisch erstellt aus den Vergabeunterlagen

Worum geht's?

Das Fraunhofer ENAS in Chemnitz sucht ein teil-automatisiertes Reinigungssystem für fotolithografische Masken, das in einem Reinraum installiert wird. Das Gerät soll Masken in den Größen 6", 7" und 9" reinigen können – der Wechsel zwischen den Größen erfolgt durch Austausch des Chucks.

Was wird gefordert?

Reinigung mit DIW (deionisiertem Wasser), MegaSonic und BürstenTrocknung mit Stickstoff (N₂)Steuerung über integrierten PC mit RezeptverwaltungISO-4-ReinraumtauglichkeitMaximalmaße 1300 × 800 × 2500 mm (B × T × H)CE-Konformität, DIW-Verbrauch ≤ 5 Liter pro MaskeInbetriebnahme, Schulung für 3 Personen, Testreinigung auf ENAS-Masken

Verfahren: Öffentliche Ausschreibung nach UVgO, kein Nebenangebot, Gesamtvergabe (keine Lose).

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Zeitplan & Fristen

Aus den Vergabeunterlagen extrahiert

Noch 6 Tage bis zur Angebotsfrist — 16. September 2026

HEUTE

Termin / FristSEP2026OKT

Angebotsfrist16. Sep. 2026

Bindefrist16. Sep. – 16. Okt. 2026

vor Angebotsabgabenach Angebotsabgabe

Zuschlagskriterien

Gewichtung laut Vergabeunterlagen

Preis & Qualität3 Kriterien

Preis 50%Qualität 50%

Preis50%
Angebotspreis, ermittelt aus der Wertungssumme des Angebotes unter Berücksichtigung von Nachlässen.
Technische Ausstattung25%
Bewertung der technischen Ausstattung anhand der im Leistungsverzeichnis mit B gekennzeichneten Positionen (z.B. Werkzeugabmessungen max. 1300x800x2500 mm) sowie Optionen (O). Max. Punktzahl je Kriterium in Spalte J des LV.
Nachhaltigkeit25%
Bewertung der Nachhaltigkeit anhand der im Leistungsverzeichnis mit N gekennzeichneten Positionen: DI-Wasserverbrauch pro 9" Maskenreinigung (≤ 5 l/Mask, 75 Punkte) und CE-Zertifizierung (25 Punkte).

KI-Hinweis: Die Zuschlagskriterien mit Gewichtungen (Preis 50%, Technische Ausstattung 25%, Nachhaltigkeit 25%) sind im Formblatt Zuschlagskriterien vollständig angegeben; die konkreten B/N-Bewertungspunkte ergeben sich aus dem Leistungsverzeichnis.

Leistungsumfang

Aus den Vergabeunterlagen

Gesamtauftrag

Lieferung, Aufstellung und Inbetriebnahme eines teil-automatischen Maskenreinigungssystems. Es handelt sich um eine Gesamtvergabe ohne Losaufteilung. Die Anlieferung und Überwachung erfolgt durch den Auftraggeber (beauftragter Architekt/Ingenieur) am Empfang des Fraunhofer-Hauptgebäudes in 09126 Chemnitz.

Technische Kernanforderungen

Maskenkompatibilität: 6", 7" und 9" durch Wechsel des ChucksReinigungsverfahren: Hochdruck-DIW, MegaSonic und BürstenreinigungTrocknung: Stickstoff-Blasdüse (N₂)Medien: ausschließlich DIW über eine Medienleitung, ohne Abwassertank (Anschluss an Hausnetz)Wasseraufbereitung: CO₂-Wasserionisierung und DIW-FilterProzesskammer: ausgelegt für Masken bis 9"Standby: kontinuierlicher Bypass-DurchflussMax. Außenmaße (B × T × H): 1300 × 800 × 2500 mm

Steuerung & Software

Integrierter PC mit Bedienoberfläche, Rezeptverwaltung und Fehlertracking. Die Software muss das Anlegen und Auswählen von Reinigungsprogrammen sowie eine nachvollziehbare Fehlerdokumentation ermöglichen.

Reinraum- und Nachhaltigkeitsanforderungen

Reinraumklasse: System ist für ISO-4-Umgebung geeignetDIW-Verbrauch: maximal 5 Liter pro gereinigter Maske (bewertetes Kriterium, 75 Punkte)Chemikalien: keine zusätzlichen Chemikalien erforderlichCE-Zertifizierung: erforderlich (bewertetes Kriterium, 25 Punkte)

Inbetriebnahme, Schulung & Dokumentation

Schulung: Hersteller-Techniker schult 3 Personen des AuftraggebersAbnahmetest: Testreinigung auf ENAS-Masken vor AbnahmeBetriebsanleitung & Wartungsintervalle: nach Zuschlagserteilung zu liefernErsatzteilliste: Art des Ersatzteils und Lieferquelle angebenErsatzteilverfügbarkeit: 7 Jahre ab Wareneingang bzw. AbnahmeGewährleistung: 12 Monate ab Abnahme gemäß VOL/B § 14

Eignungskriterien

Geforderte Nachweise laut Vergabeunterlagen

Firmenprofil

Vorlage eines Firmenprofils mit Mindestangaben zu:

GründungsjahrMeilensteinen der UnternehmensentwicklungMitarbeiteranzahlHerstellungs- bzw. Leistungsspektrum

Das Profil ist in reiner Textform einzureichen – Links oder Bilder werden nicht akzeptiert.

Umsatz der letzten Geschäftsjahre

Angabe der Umsätze für die Geschäftsjahre 2022, 2023 und 2024 (soweit verfügbar auch 2025). Maßgeblich sind die letzten drei verfügbaren Geschäftsjahre.

Ausschlussgründe

Unterschriebene Eigenerklärung, dass keine Ausschlussgründe nach §§ 123 und 124 GWB vorliegen. Die Erklärung ist als signiertes Dokument hochzuladen.

> Hinweis: Unvollständige Eignungsunterlagen können zum Ausschluss vom Verfahren führen.

Optionaler Bonus für Werkstätten für Behinderte

Bieter, die als Werkstatt für Behinderte anerkannt sind, erhalten bei wirtschaftlich gleichwertigen Angeboten einen Bonus von 15 % auf den Wertungspreis. Der Nachweis der Eigenschaft ist mit dem Angebot zu führen.

Gewerberechtliche Voraussetzungen

Im Angebotsschreiben ist zu erklären, dass die gewerberechtlichen Voraussetzungen für die Ausführung der Leistung erfüllt sind.

KI-Hinweis: Alle Eignungskriterien wurden per KI aus den Vergabeunterlagen extrahiert. Mit TendiGo prüfen Sie in wenigen Minuten, ob Ihr Unternehmen die Anforderungen erfüllt.