Anschluss einer Anlage an Gas- und Vakuumversorgung
Zusammenfassung
Beschafft wird der Gas- und Vakuumanschluss für ein Cluster-Tool, das eine Kammer für die Ionenstrahlstrukturierung und 2 PVD-Kammern umfasst. Der Auftrag betrifft den Anschluss mehrerer Gase, Druckluft und Vakuumleitungen an die Anlage.
Zeitplan & Fristen
Die wichtigsten Termine im Überblick- Veröffentlicht12. Juli 2026
Bekanntmachung und Bereitstellung der Vergabeunterlagen.
- Angebotsfrist27. Juli 2026
Letzter Termin für die elektronische Angebotsabgabe.
Zuschlagskriterien
Gewichtung laut Vergabeunterlagen- Preis
Der Preis wird aus der Wertungssumme des Angebotes ermittelt. Metrische Bewertung: niedrigster Preis erhält volle Punktzahl, doppelter Preis null Punkte, lineare Interpolation dazwischen. Werkstätten für Behinderte erhalten einen Bonus von 15%.
- Technische Ausführung des Produktes/der Dienstleistung
Nicht-metrisches Zuschlagskriterium. Die Angebote werden anhand einer Punkteskala von 0 bis 100 Punkten bewertet. Das Angebot mit der relativ besten Lösung erhält die Höchstpunktzahl. Die genaue Anzahl der Punkte je Bewertungsposition ist dem Leistungsverzeichnis (LV) zu entnehmen.
Metrische Kriterien (z.B. Preis) werden linear interpoliert: niedrigster Preis = 100 Punkte, doppelter Preis = 0 Punkte, dazwischen lineare Interpolation. Nicht-metrische Kriterien werden auf einer Skala von 0-100 Punkten bewertet (Noten 1-5: 100%, 80%, 60%, 40%, 20%, 0%). Die Gesamtpunktzahl ergibt sich aus der Summe der gewichteten Punkte je Zuschlagskriterium.
Leistungsumfang
Installation der Gasleitungen
Mehrere Gase und Druckluft sollen installiert werden. Dazu gehören Argon, Stickstoff in zwei Reinheitsstufen, Sauerstoff, Helium und Druckluft.
Vakuumleitungen zu den Pumpen
Es sind 4 Vakuumleitungen zu den Vakuumpumpen herzustellen.
Anbindung der Vakuumleitungen an die Abluft
Die Vakuumleitungen sollen in die Abluft eingebunden werden.
Druckminderer-Tableau für Helium
Für Helium ist zusätzlich ein Druckminderer-Tableau aufzubauen.
Erweiterung bestehender Gasleitungen
Für die übrigen Gase werden bestehende Gasleitungen genutzt und erweitert. Zusätzliche Druckminderer-Tableaus sind dafür nicht vorgesehen.
Wettbewerb & Angebotsprognose
Erwartete Konkurrenz auf Basis vergleichbarer VergabenAuf einen Blick
Erfüllungsort
Weitere Ausschreibungen Sachsen
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