Ausschreibungen Brandenburg
Beschaffung eines umbaubaren Waferprobers für 200-mm-Wafer mit Kompatibilität zum Advantest V93000 Exa Scale Testsystem
IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik | Vergabekammer des Landes Brandenburg beim Ministerium für Ministerium für Wirtschaft, Arbeit und Energie (MWAE)Frankfurt (Oder), BrandenburgVeröffentlicht:
Angebotsfrist:
Zusammenfassung
Automatisch erstellt aus den VergabeunterlagenDas IHP – Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik in Frankfurt (Oder) beschafft einen automatischen, umbaubaren Waferprober für 200-mm-Wafer. Das Gerät muss mit dem vorhandenen Advantest V93000 Exa Scale Testsystem kompatibel sein und über zwei Docking-Schnittstellen (9,5"-Pogo-Tower und Direct-Docking) verfügen, zwischen denen ohne grundlegende mechanische Änderungen umgerüstet werden kann.
Die Lieferung umfasst das Komplettsystem inklusive Transport, Installation, Inbetriebnahme, Dokumentation sowie Schulung des Bedienpersonals (u. a. für den Docking-Wechsel). Gefordert sind u. a. CE-Kennzeichnung, mindestens 2 Jahre Garantie, Ersatzteilverfügbarkeit für mindestens 10 Jahre sowie die Einhaltung der EU-Sanktionsvorgaben (kein Russland-Bezug).
Die Wertung erfolgt nach dem wirtschaftlichsten Angebot: 40 % Preis, 60 % technische Kriterien (u. a. Gewicht, Wechsel-Einfachheit zwischen Docking-Konfigurationen, Wafer-/Probecard-Unterstützung, Prüf-/Inspektionsfunktionen, Fernwartung). Nebenangebote sind nicht zugelassen.
Zeitplan & Fristen
Aus den Vergabeunterlagen extrahiertTermin / FristAUG2026SEPOKT
Bieterfragen-Frist10. Aug. 2026
Angebotsfrist18. Aug. 2026
Bindefrist18. Aug. – 16. Okt. 2026
Zuschlag16. Okt. 2026
Lieferterminca. 16. Okt. 2026
Garantieca. 16. Okt. 2026 – 16. Okt. 2028bis 2028
Ersatzteilverfügbarkeitca. 16. Okt. 2026 – 16. Okt. 2036bis 2036
vor Angebotsabgabenach Angebotsabgabegeschätzt
Zuschlagskriterien
Gewichtung laut VergabeunterlagenPreis & Qualität7 Kriterien
Preis 40%Qualität 60%
- Preis40%
Gesamtangebotspreis. Das Angebot mit dem niedrigsten Gesamtangebotspreis erhält 10 Punkte, übrige Angebote proportional.
- Technische/technologische Bewertung60%
Zusammenfassung der technischen Bewertungskriterien des Waferprobers.
Preis: Punkte = (niedrigster Gesamtangebotspreis / zu bewertender Gesamtangebotspreis) × 10. Qualitätskriterien werden auf einer Skala von 0/5/10 Punkten bewertet. Sofern ein Unterkriterium nicht eindeutig einer höheren Bewertungsstufe zugeordnet werden kann, erfolgt die Bewertung in der jeweils niedrigeren Punktestufe.
KI-Hinweis: Alle Zuschlagskriterien, Gewichtungen und die Bewertungsformel sind vollständig in den Vergabeunterlagen angegeben.
Leistungsumfang
Aus den VergabeunterlagenGrundsystem und Kompatibilität
Automatischer Waferprober für 200-mm-WaferKompatibilität zum vorhandenen Advantest V93000 Exa Scale TestsystemSteuerung über GPIB und Ethernet (Remote-Datentransfer)Display mindestens 12 ZollBetrieb unter normalen Raumbedingungen ohne aktive Feuchtigkeitsregelung
Docking-Konfigurationen (umbaubar)
9,5"-Pogo-Tower-Docking-SchnittstelleDirect-Docking-SchnittstelleWechsel zwischen beiden Konfigurationen ohne grundlegende mechanische Änderungen, möglichst werkzeugarm und schnellProbecards: 9,5" Cantilever (PCB-Dicke 3,8 mm, Nadelhöhe 4,8 mm); 12" optional
Wafer-Handling
Wafergröße: mindestens 200 mm (8"); 300 mm optionalLosgröße: 25 WaferWaferdicke: ca. 700 µmPad-Erkennung automatischNadelpositionierung automatisch, mit manueller Probe-/Touchdown-InspektionskameraHöhenregulierung automatischNadelreinigung konfigurierbar automatisch
Temperatur, Chuck und Genauigkeit
Temperaturbereich: -60 °C bis +200 °C, flüssigkeitsgekühlt mit Chiller, automatische TrockenluftkontrolleChuck-Probefläche: mindestens ±120 mm in X und Y, Z-Hub > 35 mm, Rotation 0–360°Rauscharme HF-/HochgeschwindigkeitsausführungPositioniergenauigkeit: ± 1,0 µm
Prüf-, Inspektions- und Fernwartungsfunktionen
Automatische Probe-Mark-/Nadelinspektion mit BildspeicherungFernsteuerungs- und Fernwartungsfunktion über Ethernet
Versorgung, Transport und Aufstellbedingungen
Stromversorgung: 230 V/400 V, 50 Hz; Verbrauch < 3 kWDruckluft (CDA): 6 bar, Taupunkt ≤ -40 °CVakuum: -0,750 barMaximale Transportabmessungen 140 cm; Gewicht ≤ 1.700 kg (Türdurchgang)Lieferung frei Verwendungsstelle
Lieferung, Installation und Schulung
Komplettsystem inkl. Lieferung, Installation, Inbetriebnahme und DokumentationVor-Ort-EinweisungSchulung für 3 Personen in Bedienung und im Umbau zwischen den Docking-KonfigurationenTechnische Dokumentation für den Umbau des Probers
Konformität, Garantie und Support
CE-Kennzeichnung gemäß einschlägigen EU-VorschriftenGarantie: mindestens 2 JahreErsatzteilverfügbarkeit: mindestens 10 Jahre nach LieferungTechnischer Support: mindestens 10 Jahre nach Lieferung
Eignungskriterien
Geforderte Nachweise laut VergabeunterlagenBefähigung und Erlaubnis zur Berufsausübung
Eintragung in das Handelsregister, mittels Eigenerklärung nachzuweisenErfüllung der gewerberechtlichen Voraussetzungen für die Leistungsausführung
Technische und berufliche Leistungsfähigkeit
Vorlage von Referenzen mittels Eigenerklärung (konkrete Anforderungen siehe Vergabeunterlagen)Möglichkeit der Eignungsleihe nach § 47 VgV (Kapazitäten anderer Unternehmen können genutzt werden)
Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit
Keine konkreten Mindestumsätze oder Finanzkennzahlen in den vorliegenden Unterlagen genannt
Zwingende Ausschlussgründe (§ 123 GWB)
Keine Verurteilung/Geldbuße wegen Straftaten wie Bildung krimineller/terroristischer Vereinigungen, Terrorismusfinanzierung, Geldwäsche, Betrug, Subventionsbetrug, Bestechung/Bestechlichkeit, Bestechung von Mandatsträgern, Menschenhandel, ZwangsarbeitKeine Nichtzahlung von Steuern, Abgaben oder Sozialversicherungsbeiträgen (rechtskräftig festgestellt)
Weitere Ausschlussgründe
§ 21 AEntG: keine Geldbuße ≥ 2.500 € wegen Verstößen nach § 23 AEntG§ 19 MiLoG: keine Geldbuße ≥ 2.500 € wegen Verstößen nach § 21 MiLoG§ 21 SchwarzArbG: keine Verurteilung/Geldbuße ≥ 2.500 €§ 98c AufenthG: keine einschlägigen Verurteilungen/GeldbußenKeine Eintragung im Gewerbezentralregister oder Berliner Korruptionsregister
Kann-Ausschlussgründe (§ 124 GWB)
Verstöße gegen umwelt-, sozial- oder arbeitsrechtliche VerpflichtungenZahlungsunfähigkeit, Insolvenz, Liquidation, TätigkeitseinstellungSchwere Verfehlung, die die Integrität des Unternehmens infrage stelltWettbewerbsverzerrende Vereinbarungen (Kartellabsprachen)Interessenkonflikt im VergabeverfahrenWettbewerbsverzerrung durch Einbeziehung in die VerfahrensvorbereitungMangelhafte Vertragserfüllung bei früheren Aufträgen (vorzeitige Beendigung, Schadensersatz)Täuschung oder fehlende Nachweise
EU-Sanktionskonformität (Art. 5k VO (EU) 833/2014)
Keine russische Staatsangehörigkeit und keine Niederlassung in RusslandKeine mehrheitliche Beteiligung (>50 %) durch Personen/Unternehmen mit Russland-BezugKein Handeln im Namen oder auf Anweisung solcher Personen/UnternehmenAuch für Unterauftragnehmer/Lieferanten mit >10 % des AuftragswertsZusicherung über die gesamte Vertragslaufzeit
Mindestentgelt und Sozialstandards (BbgVergG)
Verpflichtung zur Zahlung von mindestens 13,00 € brutto/Stunde an alle Beschäftigten (auch Nachunternehmer und Verleiher)Bereitschaft zur Vorlage anonymisierter/pseudonymisierter LohnunterlagenDuldung von StichprobenkontrollenMonatliche Entgeltzahlung über GehaltskontenAkzeptanz von Vertragsstrafen und Kündigungsrecht bei Verstößen
Angaben zum Unternehmen
Firma, Rechtsform, Registergericht, RegisternummerAngaben zu Inhabern/Vertretungsberechtigten (Name, Geburtsdatum, Geburtsort, ggf. abweichender Geburtsname, Funktion)KMU-Status-Erklärung gemäß Empfehlung 2003/361/EGMitgliedschaft in der zuständigen Berufsgenossenschaft (Mitgliedsnummer)Haftpflichtversicherung (Versicherer, Deckungssumme)Angabe der Staatsangehörigkeit (EU/Drittstaat)Erklärung zur Unterauftragnehmer-Beauftragung; ggf. ausführliche Übersicht
Bietergemeinschaften und Unterauftragnehmer
Alle Mitglieder einer Bietergemeinschaft müssen insgesamt die Eignungskriterien erfüllenVerzeichnis der Mitglieder mit bevollmächtigtem VertreterGemeinschaftliche Erklärung, von allen Mitgliedern unterzeichnetGesamtschuldnerische HaftungFür Unterauftragnehmer/verbundene Unternehmen: jeweils eigene Eigenerklärung
KI-Hinweis: Alle Eignungskriterien wurden per KI aus den Vergabeunterlagen extrahiert. Mit TendiGo prüfen Sie in wenigen Minuten, ob Ihr Unternehmen die Anforderungen erfüllt.
Wettbewerb & Angebotsprognose
Erwartete Konkurrenz auf Basis vergleichbarer Vergaben1–3Angebote erwartet
Median vergleichbarer Vergaben: rund 2 Angebote
Wahrscheinliche Bieterzahl
1–3 · 57%4–10 · 27%11+ · 15%
Checkliste zur AngebotsabgabeKonkrete Schritte laut Vergabeunterlagen0 von 18 erledigt
Formale Angebotsanforderungen
Eignungsnachweise & Eigenerklärungen
Landesspezifische Verpflichtungen (Brandenburg)
Technische Anforderungen & Bewertung
Preis & Vertrag
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Zur Original-Ausschreibung ↗Auf einen Blick
Auftraggeber
IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik | Vergabekammer des Landes Brandenburg beim Ministerium für Ministerium für Wirtschaft, Arbeit und Energie (MWAE)
Anschrift
15236 Frankfurt (Oder)
Ort
15236 Frankfurt (Oder)
Kategorie
Brandenburg
Veröffentlicht
Angebotsfrist
Auftraggeber-Website
mwae.brandenburg.de ↗Erfüllungsort
Ort der Leistung
15236 Frankfurt (Oder)
Brandenburg
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