Drahtbondautomat bzw. Drahtbondhalbautomat, - Ausführung als ein Tischgerät -

Universität Ilmenau, Dezernat Finanzen, Zentrale Vergabestelle | Vergabekammer Freistaat Thüringen | Datenservice Öffentlicher Einkauf (in Verantwortung des Beschaffungsamts des BMI)Ilmenau, ThüringenVeröffentlicht: 16. September 2026

Angebotsfrist: 27. Oktober 2026

Zusammenfassung

Automatisch erstellt aus den Vergabeunterlagen

Die Technische Universität Ilmenau beschafft einen Drahtbondautomaten oder -halbautomaten als Tischgerät für Forschung, Lehre und studentische Projekte in der Elektronik- und Mikrosystemfertigung.

Das Gerät soll flexibel einsetzbar sein – von der Prototypenfertigung über Kleinserien bis zu experimentellen Forschungsaufbauten – und mehrere Bondverfahren (Ball-Wedge, Wedge-Wedge, Ribbon) unterstützen. Es muss modular erweiterbar sein und mit unterschiedlichen Draht-, Substrat- und Halbleitermaterialien umgehen können.

Kurz zusammengefasst: Ein Tisch-Drahtbondgerät wird geliefert, vor Ort aufgebaut, in Betrieb genommen und mit einer Schulung für das Bedienpersonal übergeben – inklusive Wartungsplan, Dokumentation und 12 Monaten Garantie (optional 24 Monate).

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Zeitplan & Fristen

Aus den Vergabeunterlagen extrahiert

Angebotsfrist: 27. Oktober 2026

Termin / FristSEP2026OKTNOVDEZ

Veröffentlichung16. Sep. 2026

Unterlagen zuletzt aktualisiert16. Sep. 2026

Bieterfragen-Frist15. Okt. 2026

Angebotsfrist27. Okt. 2026

Angebotsöffnung27. Okt. 2026

Bindefrist27. Okt. – 4. Dez. 2026

ZuschlagsfristDatum offenErteilung des Zuschlags unter Beachtung der Widerspruchsfrist gemäß § 160 GWB.

Maximale LieferfristDatum offenMaximal 12 Wochen nach Auftragserteilung – vom Bieter als Pflichtangabe im Angebot zu nennen.

Garantiezeit (Basis)Datum offenMindestens 12 Monate ab Abnahme, inkl. Arbeit, Reisezeit und Material.

Garantiezeit (optional)Datum offenOptionale Garantieerweiterung auf 24 Monate ab Abnahme; Preis gesondert auszuweisen.

Verfügbarkeit ErsatzteileDatum offenErsatzteile müssen für mindestens 5 Jahre nach Lieferung verfügbar sein.

Technischer SupportDatum offenStörungsannahme, Wartung, Reparatur, Kalibrierung und Software-Updates für 10 Jahre nach Lieferung.

Kundenservice-ReaktionszeitDatum offenReaktion auf Anfragen binnen 48 Stunden (remote, Hotline oder Vor-Ort).

Demo-/ReferenznutzungDatum offenOptionale Nutzung als Demo-/Referenzgerät für 3 Jahre nach Lieferung, max. 4 Einsätze pro Jahr.

Bindefrist OptionenpreiseDatum offenPreise für die optionalen Erweiterungen gelten 12 Monate ab Maschinenabnahme.

Vorlaufzeit OptionsabrufDatum offenZwischen Abruferklärung und Leistungsbeginn einer Option liegen maximal 3 Monate.

vor Angebotsabgabenach Angebotsabgabe

Zuschlagskriterien

Gewichtung laut Vergabeunterlagen

Richtwertmethode10 Kriterien

Drehbarkeit Bondkopf (Winkel) und Auflösung/Schrittweite beim Wedge-Wedge-Bonden4%
Ausgerichtetes, motorisiertes Wedge-Wedge-Bonden unter verschiedenen Winkeln. Maximalpunkte 4 (Wichtung 4). Stufen: 1P bis 4P nach Drehbereich und Schrittweite (bis 0,02 Grad).
Technische Möglichkeiten der Maschinenkonstruktion zur Verbesserung der Loopgeometrie und Prozesssicherheit beim Wedge-Wedge-Bonden4%
Maximalpunkte 2 (Wichtung 4). 1P: einfache Drahtklammerung am Bondkopf, 2P: doppelte Drahtklammerung am Bondkopf.
Erreichbare Platziergenauigkeit beim Drahtbonden3%
Maximalpunkte 4 (Wichtung 3). Angabe mit Statistikbezug (mind. 3 Sigma). Stufen von 1P (≤ ±7 µm) bis 4P (≤ ±1 µm).
Erreichbare Wiederholgenauigkeit beim Drahtbonden (z. B. stacked Bumps)3%
Maximalpunkte 5 (Wichtung 3). Angabe mit Statistikbezug (mind. 3 Sigma). Stufen von 1P (≤ ±5 µm) bis 5P (≤ ±1 µm).
Eigene Kraftprüfung und Kalibrierung durch den Nutzer4%
Bewertet, ob der Nutzer Kraftprüfung oder Kalibrierung in regelmäßigen Abständen selbst durchführen kann. Maximalpunkte 3 (Wichtung 4). 1P: nur Wartung durch Servicetechniker, 2P: eigene Kraftprüfung, 3P: eigene Kraftprüfung und Kalibrierung.
Nutzerunabhängige Prüfung der eingestellten Ultraschallleistung4%
Maximalpunkte 2 (Wichtung 4). 1P: nutzerabhängige Prüfung nach Einstellskala oder Softwarevorgabe, 2P: nutzerunabhängig möglich (In-Situ-Messung oder Ermittlung am Gerät).
Nutzbare Transducer-Frequenzen für beide Drahtbondverfahren4%
Maximalpunkte 2 (Wichtung 4). 1P: eine Transducer-Frequenz für beide Verfahren, 2P: mindestens zwei Frequenzen, davon eine je Bondverfahren nutzbar.
Erzielbare reproduzierbare Höhengenauigkeit des Loops beim Wedge-Wedge-Bonden3%
Maximalpunkte 5 (Wichtung 3). Angabe mit Statistikbezug (mind. 3 Sigma). Stufen von 1P (≤ ±7 µm) bis 5P (≤ ±3 µm).
Programmierbares und automatisiertes Bonden unterschiedlicher Dies im Mehrfachnutzen5%
Maximalpunkte 2 (Wichtung 5). 1P: nur identische Dies im Mehrfachnutzen, 2P: identische und unterschiedliche Dies auf einem Substrat programmierbar und automatisiert bondbar.
Anzahl Drähte pro Minute2%
Maximalpunkte 4 (Wichtung 2). 1P: unter 20 Drähte/min, 2P: ab 20, 3P: ab 30, 4P: ab 40 Drähte/min.

Einfache Richtwertmethode: Z = L / P. L = Summe der Leistungspunkte (je Kriterium: relativer Erfüllungsgrad (erreichte Punkte ÷ Maximalpunkte) × Wichtung 1 bis 5). P = Angebotspreis gemäß Preisliste Nr. 3.7 (Optionen nach Nr. 3.8 fließen nicht ein). Zuschlag erhält das Angebot mit dem höchsten Z. Bei Gleichstand erhält das Angebot mit der höchsten Summe der Leistungspunkte den Zuschlag. Die Summe aller Wichtungen beträgt 36, die maximal erreichbaren Leistungspunkte entsprechen der Wichtung je Kriterium.

KI-Hinweis: Richtwertmethode mit Formel und allen zehn Wichtungen eindeutig aus Leistungsbeschreibung und Bewertungsmatrix; im Formular 631 ist jedoch das Kästchen Zuschlagskriterium Preis angekreuzt und Formblatt 227 nicht, was der Richtwertmethode widerspricht.

Leistungsumfang

Aus den Vergabeunterlagen

Hauptliefergegenstand

Drahtbondautomat bzw. Drahtbondhalbautomat als Tischgerät – ein Tischgerät für die Elektronik- und Mikrosystemfertigung an der TU Ilmenau (98693 Ilmenau, ebenerdiger Zugang).

Unterstützte Bondverfahren:

Ball-WedgeWedge-WedgeBändchen/Ribbon

Lieferung: frei Verwendungsstelle (DDP TU Ilmenau, INCOTERMS 2011), inklusive Verpackung, Aufbau, Installation, Inbetriebnahme, Einweisung des Bedienpersonals und förmlicher Abnahmeprüfung vor Ort. Verifiziert werden die Spezifikationen durch Drahtbondungen in Wedge-Wedge und Ball-Wedge mit unterschiedlichen Materialien auf bereitgestellten Proben.

Technische Mindestanforderungen

Abmessungen & Gewicht:

Abmessungen ≤ 1,2 × 0,9 × 0,9 m³Gewicht ≤ 100 kg

Achsen & Arbeitsbereich:

X-Y-Z motorisiert; bei Wedge-Wedge zusätzlich Theta motorisiertX-Y-Arbeitsbereich ≥ 100 × 100 mm²Z-Hub ≥ 50 mm

Medien:

Vakuum ≥ 300 mbarDruckluft ≤ 6,5 bar, Güteklasse ≥ 2 (ISO 8573-1)Spannung 220–240 VAC, P ≤ 1,5 kW

Werkstoffe:

Ball-Wedge: mindestens GolddrahtWedge-Wedge: Gold- und AluminiumdrähteDrahtdurchmesser Ball-Wedge: ≤ 12,5 µm bis ≥ 38 µm, 2-Zoll-SpuleDrahtdurchmesser Wedge-Wedge: ≤ 17,5 µm bis ≥ 50 µmRibbon: ≤ 50×25 µm bis ≥ 200×25 µm

Substrate:

Substratabmessungen ≤ (3×3) mm² bis ≥ (100×100) mm²Substratdicke ≤ 0,2 mm bis ≥ 10 mm

Heizung & Bondkraft:

Heizrate ≥ 15 K/min (100×100 mm ohne Substrat)Max. Substrattemperatur ≥ 150 °C, Auflösung ≤ 1 °C, Genauigkeit ≤ ±2 KBondkraftbereich ≤ 10 cN bis ≥ 200 cN, Schrittweite ≤ 1 cNUltraschall-Frequenz ≥ 60 kHz (für beide Verfahren)

Optik & Schnittstellen:

Kamera-FOV ≥ 1,5 mm × 1,5 mmDigitaler Zoom ≥ 2×Betriebssystem: Windows 11Schnittstellen: USB und LAN (Stand der Technik)

Optionale Erweiterungen (mit Pflichtpreisstellung)

Folgende Optionen müssen preislich separat ausgewiesen werden – ihr Fehlen führt zum Ausschluss:

Dickdrahtbonden-Erweiterung (≥ 100 µm Drahtdurchmesser)Dickes Ribbon / Bändchen-Erweiterung (≥ 500 × 100 µm²)Schutzgasvorrichtung (Oxidationsschutz)Garantieerweiterung auf 24 Monate (Standard: 12 Monate ab Abnahme)

Zusätzlich kann der Hersteller das Gerät für bis zu 3 Jahre nach Lieferung als Demo-/Referenzgerät nutzen (maximal 4 Nutzungen pro Jahr).

Dokumentation, Schulung & Wartung

Bei Lieferung mitzuliefernde Dokumentation (Kap. 2.3):

Vollständige Bedienungsanleitung (gedruckt + digital, deutsch/englisch)Software-DokumentationDokumentation von Umbau-/Rüstarbeiten und KalibrierungWartungsplan und Wartungsanleitung, ggf. SchaltpläneErsatzteilliste

Schulungsmaterial für Neunutzer ist elektronisch (z. B. PDF, PowerPoint, Video) bereitzustellen.

Wartungsplan (Kap. 3.3 a) muss täglich, wöchentlich und monatlich durchführbare Aufgaben beschreiben – ausführbar durch den Nutzer – sowie Kosten für Fachpersonal-Wartung pro Intervall und Verschleißteile mit Wechselhäufigkeit.

Technischer Support nach Lieferung:

Reaktionszeit ≤ 48 Stunden (Remote, Hotline, Vor-Ort)Verfügbarkeit Ersatzteile: 5 Jahre ab LieferungSupport, Wartung, Reparaturen, Kalibrierung, Software-Updates: 10 Jahre ab Lieferung

Eignungskriterien

Geforderte Nachweise laut Vergabeunterlagen

Allgemeine Voraussetzungen

Verfahrensart: Offenes Verfahren nach VgV (Auftraggeber: Freistaat Thüringen, vertreten durch die TU Ilmenau).

Sprache: Angebote sind in deutscher Sprache abzufassen.

Gewerberechtliche Voraussetzungen: Der Bieter muss die gewerberechtlichen Voraussetzungen für die Ausführung der Leistung erfüllen. Ab einer Auftragssumme > 30.000 € wird für den Zuschlagsbieter ein Auszug aus dem Gewerbezentralregister angefordert.

Erforderliche Eigenerklärungen & Erklärungen

Mit dem Angebot sind einzureichen (Pflicht):

Europäische Eigenerklärung (EEE)Anlage zum BMWK-Rundschreiben vom 14.04.2022Eigenerklärung zum Thüringer Vergabegesetz gemäß § 8 Abs. 1 S. 1EU-Konformitätserklärung des Herstellers (deutsch oder englisch) oder gleichwertiger Nachweis (z. B. Gutachten/Zertifikate) – Fehlen führt zum AusschlussCE-Kennzeichnung am Gerät (dauerhaft, gut sichtbar, leserlich)Betriebsanleitung in deutsch/englisch mit allen sicherheitstechnischen Hinweisen bei LieferungAngaben zum Wirtschaftlich Berechtigten

Fachliche Eignung – Referenzen

Referenzen (Pflicht): 3 nachprüfbare Referenzinstallationen der letzten 3 Jahre mit vergleichbarem Aufbau und Verwendungszweck (Drahtbondgerät, Tischgerät, Bondverfahren).

Pflichtangaben je Referenz:

FirmennameAdresseAnsprechpartner vor OrtTelefonnummer

Technische Eignung – Mindest- und Bewertungskriterien

Das Angebot muss Angaben zu allen Mindestkriterien (Kap. 2.1) und allen Bewertungskriterien (Kap. 2.2) enthalten – nachprüfbar mittels Datenblättern, Eigenerklärungen etc. Nichteinhaltung führt zum Ausschluss. Die Bewertungsmatrix (Formblatt 056-26) berücksichtigt u. a.:

Drehbarkeit (Theta-Achse)DrahtklammerungPlatzier- und WiederholgenauigkeitKraftprüfung / KalibrierungUltraschallleistungsprüfung, Transducer-FrequenzenHöhengenauigkeitMehrfachnutzen (verschiedene Dies)Bondgeschwindigkeit (Drähte/Sekunde)

Maximalpunktzahl Technik: 36 Punkte, zzgl. Bewertung Leistungs-Preis-Verhältnis.

Angebots- und Vertragsbedingungen

Lieferfrist: maximal 12 Wochen nach Auftragserteilung.

Lieferkonditionen: DDP TU Ilmenau, INCOTERMS 2011, inklusive Aufbau, Inbetriebnahme, Einweisung und Abnahmeprüfung.

Optionenpreise: Für alle 4 genannten Optionen müssen Preise angegeben werden – Fehlen führt zum Ausschluss.

Bankbürgschaft für Abschlagszahlung: Für die 30 %-Abschlagszahlung nach Auftragserteilung ist eine unbefristete, selbstschuldnerische Bankbürgschaft eines EU-Kreditinstituts mit Verzicht auf §§ 770, 771 BGB zu stellen.

Nebenangebote: Nicht zugelassen.

Los: Keine Lose – ein Gesamtauftrag.

Referenzprojekte

3 ReferenzenZeitraum: letzte 3 Jahre

Drahtbondautomat/-halbautomat als Tischgerät mit vergleichbarem Aufbau und Verwendungszweck (Ball-Wedge, Wedge-Wedge, Ribbon, Prototypen-/Kleinserienfertigung, Forschung)

Vergleichbarer Aufbau und Zweck; nachprüfbar mit Firmenname, Adresse, Ansprechpartner und Telefonnummer

KI-Hinweis: Alle Eignungskriterien wurden per KI aus den Vergabeunterlagen extrahiert. Mit TendiGo prüfen Sie in wenigen Minuten, ob Ihr Unternehmen die Anforderungen erfüllt.

Wettbewerb & Angebotsprognose

Erwartete Konkurrenz auf Basis vergleichbarer Vergaben

1–3Angebote erwartet

Median vergleichbarer Vergaben: rund 2 Angebote

Geringe Konkurrenz

Wahrscheinliche Bieterzahl

1–3 · 93%4–10 · 7%11+ · 0%

Checkliste zur AngebotsabgabeKonkrete Schritte laut Vergabeunterlagen0 von 26 erledigt

Formblätter & Eigenerklärungen

Technische Angebotsunterlagen

Preisblätter & Optionen

Referenzen

Konformität, Dokumentation & Schulung

Auf gesondertes Verlangen

Verlauf dieser Vergabe

2 Bekanntmachungen

02.11.2026Vergabebekanntmachung
16.09.2026Ausschreibungauf dieser Seite

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Auf einen Blick

Auftraggeber

Universität Ilmenau, Dezernat Finanzen, Zentrale Vergabestelle | Vergabekammer Freistaat Thüringen | Datenservice Öffentlicher Einkauf (in Verantwortung des Beschaffungsamts des BMI)

Anschrift

98693 Ilmenau

Ort

98693 Ilmenau

Kategorie

Thueringen

Veröffentlicht

16. September 2026

Angebotsfrist

27. Oktober 2026

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