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Ausschreibungen Sachsen-Anhalt

Electron Beam Evaporator

Max-Planck-Institut für MikrostrukturphysikMax-Planck-Institut für Mikrostrukturphysik Weinberg 2 06120 Halle (Saale) Deutschland, Sachsen-AnhaltVeröffentlicht:
Angebotsfrist:

Zusammenfassung

Automatisch erstellt aus den Vergabeunterlagen

Worum es geht: Das Max-Planck-Institut für Mikrostrukturphysik in Halle (Saale) kauft einen Electron Beam Evaporator – also eine Anlage, mit der im Hochvakuum hauchdünne Schichten aus Metallen auf Materialproben aufgedampft werden. Solche Geräte werden in der Forschung eingesetzt, um z.B. Mikrostrukturen herzustellen.

Was geliefert werden muss:

1 Electron Beam Evaporator als komplettes System (PVD-Plattform mit Elektronenstrahlquelle, Vakuumtechnik, rotierender Substratstation mit Kühlung, Schichtdickenkontrolle und PC-Steuerung)Lieferung inklusive Verpackung, Versand, Versicherung und ZollMontage, Inbetriebnahme und Einweisung des Bedienpersonals vor OrtGewährleistung von mindestens 24 Monaten

Wichtige Eckdaten:

Es gibt nur ein Los (keine Aufteilung)Maximale Lieferzeit: 10 Monate ab AuftragAngebote müssen bis 02.10.2026, 12:00 Uhr (MESZ) vorliegenEs ist eine öffentliche Ausschreibung nach UVgO

Zwei Zahlungspläne stehen zur Wahl: komplett nach Lieferung/Abnahme oder 40 % bei Auftrag / 40 % bei Lieferung / 20 % bei Abnahme (bei der zweiten Variante ist eine Anzahlungsbürgschaft nötig).

Ausschreibung ansehen ↗

Zeitplan & Fristen

Aus den Vergabeunterlagen extrahiert
Angebotsfrist: 02. Oktober 2026
Termin / FristSEP2026OKT
Veröffentlichung12. Sep. 2026
Angebotsfrist2. Okt. 2026
Bindefrist30. Okt. 2026
LieferzeitDatum offenMaximale Lieferzeit ca. 10 Monate nach Auftragserteilung (voraussichtlich ab Zuschlag).
GewährleistungDatum offenMindestens 24 Monate ab Abnahme/Übergabe der Anlage.
vor Angebotsabgabenach Angebotsabgabe

Zuschlagskriterien

Gewichtung laut Vergabeunterlagen
Niedrigster Preis1 Kriterium
Preis 100%Qualität 0%
  • Preis100%

    Der Preis wird aus der Wertungssumme des Angebotes ermittelt. Die Wertungssummen werden ermittelt aus den nachgerechneten Angebotssummen, insbesondere unter Berücksichtigung von Nachlässen.

KI-Hinweis: Zuschlagskriterium Preis (100 %) ist sowohl in der Aufforderung zur Angebotsabgabe (Formular 631) als auch im Leistungsverzeichnis explizit angegeben.

Leistungsumfang

Aus den Vergabeunterlagen

Art der Beschaffung und Lieferung

Gegenstand: 1 Electron Beam Evaporator (Basic-System auf PVD-Plattform), inklusive Lieferung, Montage, Inbetriebnahme und Einweisung des Bedienpersonals.

Umfang der Lieferung:

Versand, Verpackung, Versicherung und Zölle sind im Angebot einzurechnen.Lieferzeit: maximal 10 Monate ab Auftragserteilung (Bieter gibt eigene Lieferzeit im Angebot an).Lieferort: Max-Planck-Institut für Mikrostrukturphysik, Weinberg 2, 06120 Halle (Saale).

Gewährleistung: mindestens 24 Monate ab Abnahme.

Zahlungspläne (eine der beiden Optionen wählen):

Option A: 100 % nach Abnahme (Standard).Option B: 40 % bei Auftragserteilung, 40 % bei Lieferung, 20 % bei Abnahme. Bei dieser Variante ist eine selbstschuldnerische, unbefristete Anzahlungsbürgschaft einer deutschen/europäischen Bank oder eines EU-zugelassenen Kreditversicherers erforderlich.

Vertragsbedingungen: Es gelten die Vertragsbedingungen der Max-Planck-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e.V.

Technische Komponenten

PVD-Plattform / Vakuumkammer

Innenhöhe ≥ 500 mmE-Beam-Quelle zentrisch unter dem Substrat positioniert (optimiert für Lift-off-Prozesse)Abstand Quelle–Substrat ca. 400 mm (extended distance)Geeignet für die Materialien Ti, Cr, Au, Ag, AlOption zur Integration in eine Glovebox über eine Zusatztür

Elektronenstrahlquelle

Spannung bis 10 kV, Strom bis 600 mA, Leistung bis 6 kW4 Pocket-Tiegel mit je ≥ 7 cc VolumenEinzelratensensor (Quarzkristall 6 MHz, wassergekühlt)

Substratstation

Rotationshalter für Substrate 100 × 100 mm oder Ø 100 mmDrehzahl 10–30 rpmPassive Kühlung mit Thermofluid und WasserElektropneumatischer Substrat-Shutter aus Edelstahl

Vakuumsystem

Vorvakuumpumpe mit ≥ 6 m³/h SaugleistungHochvakuum-Turbomolekularpumpe mit ≥ 685 l/sBasisdruck ≤ 5 × 10⁻⁷ mbarVakuummessgerät (Full-Range) für den Bereich Atmosphäre bis 5 × 10⁻⁹ mbar, Messposition nahe Substratniveau

Schichtdickenkontrolle / Steuerung

Thin Film Deposition Controller, Frequenzbereich 1–6,5 MHzFrequenzauflösung ±0,012 Hz bei 4 Messungen/SekundeSchichtdickenauflösung 0,015 Å bei 4 Messungen/SekundeWindows-basierte PC-Steuerung

Eignungskriterien

Geforderte Nachweise laut Vergabeunterlagen

Ausschlussgründe und Pflicht-Erklärungen

Keine zwingenden Ausschlussgründe (§ 123 GWB):

Keine Verurteilungen wegen der in § 123 Abs. 1 GWB genannten Straftaten (z.B. Bildung krimineller Vereinigungen, Terrorismus, Geldwäsche, Betrug, Untreue, Bestechung, Menschenhandel)Ordnungsgemäße Erfüllung der Steuer- und AbgabenpflichtenOrdnungsgemäße Entrichtung der Sozialversicherungsbeiträge

Keine fakultativen Ausschlussgründe (§ 124 GWB):

Keine Verstöße gegen umwelt-, sozial- oder arbeitsrechtliche VerpflichtungenKeine Insolvenz, keine LiquidationKeine schwere Verfehlung, keine wettbewerbsbeschränkenden Absprachen, kein InteressenkonfliktKein Verstoß gegen Arbeitnehmer-Entsendegesetz, Mindestlohngesetz (Geldbußen ≥ 2.500 EUR)Ggf. Einhaltung des LieferkettengesetzesKeine Verurteilungen nach Schwarzarbeitsbekämpfungsgesetz, SGB III, AÜG oder StGBEinhaltung BTTG (Tariftreue)

Russland-Sanktionen: Keine Verbotstatbestände gem. Art. 5k Abs. 1 VO (EU) 833/2014; keine Listung in Anhang I VO (EU) 269/2014.

Finanzielle und personelle Eignung

Mindestumsatz: Durchschnittlich mindestens 500.000 EUR im Tätigkeitsbereich des Auftrags in den letzten 3 abgeschlossenen Geschäftsjahren.

Haftpflichtversicherung (Erklärung genügt bei Angebotsabgabe):

Mindestens 5.000.000 EUR (2-fach maximiert) für Personen- und SachschädenMindestens 250.000 EUR (1-fach maximiert) für Vermögensschäden

Beschäftigtenzahl: Durchschnittliche Vollzeitäquivalente der letzten 3 abgeschlossenen Geschäftsjahre ist anzugeben.

Fachliche Eignung

Unternehmensreferenzen: 2–3 vergleichbare Referenzen, deren prägender Teil in den letzten 3 Jahren ab Bekanntmachung erbracht wurde. Darzustellen auf max. 3 DIN A4-Seiten (11 pt) je Referenz, unter Verwendung des Anhangs zur Anlage 03. Bei Bedarf Ansprechpartner beim Referenzgeber benennen.

Sonstiges:

Eintragung im Berufs- oder Handelsregister oder Erklärung über Nicht-EintragungPräqualifizierung / Eintragung in einem amtlichen Verzeichnis (z.B. PQ-Verzeichnis der IHK) oder alternatives Zertifikat nach europäischen Standards – ansonsten Eigenerklärung zur Eignung bzw. EEE ausreichend.Nicht-deutsche Bescheinigungen müssen mit deutscher Übersetzung vorgelegt werden.

Hinweise aus dem Bewerbungsverfahren

Sprache: Angebot in deutscher Sprache.Form: Vorgegebene Vordrucke der Vergabestelle verwenden, Eintragungen dokumentenecht.Preise: in Euro, ohne Umsatzsteuer, max. 3 Nachkommastellen.Preisnachlässe: nur wertbar, wenn ohne Bedingungen, als Vomhundertsatz, an bezeichneter Stelle im Angebotsschreiben.Bei Auftragssumme > 30.000 EUR kann die Vergabestelle einen Auszug aus dem Gewerbezentralregister anfordern.Vertragsbestandteil werden u.a. die Besonderen Vertragsbedingungen (Formblatt 634).
Referenzprojekte
2–3 ReferenzenZeitraum: prägender Teil der Leistungserbringung in den letzten 3 Jahren ab BekanntmachungVolumen: nicht spezifiziert

2–3 vergleichbare Unternehmensreferenzen zu Electron Beam Evaporator bzw. vergleichbarer PVD-/Elektronenstrahlverdampfungsanlagen (Art und Umfang vergleichbar)

jeweils max. 3 DIN A4-Seiten (Schriftgröße 11 pt), unter Verwendung des Anhangs zur Anlage 03; bei Bedarf Ansprechpartner beim Referenzgeber benennen

KI-Hinweis: Alle Eignungskriterien wurden per KI aus den Vergabeunterlagen extrahiert. Mit TendiGo prüfen Sie in wenigen Minuten, ob Ihr Unternehmen die Anforderungen erfüllt.

Wettbewerb & Angebotsprognose

Erwartete Konkurrenz auf Basis vergleichbarer Vergaben
1–3Angebote erwartet
Median vergleichbarer Vergaben: rund 2 Angebote
Geringe Konkurrenz
Wahrscheinliche Bieterzahl
1–3 · 59%4–10 · 25%11+ · 16%
Checkliste zur AngebotsabgabeKonkrete Schritte laut Vergabeunterlagen0 von 26 erledigt
Pflichtbestandteile des Angebots
Referenzen & Unternehmensangaben
Ausschlussgründe & rechtliche Erklärungen
Formales
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Auf einen Blick

Auftraggeber
Max-Planck-Institut für Mikrostrukturphysik
Ort
Max-Planck-Institut für Mikrostrukturphysik Weinberg 2 06120 Halle (Saale) Deutschland, Sachsen-Anhalt
Kategorie
Sachsen-Anhalt
Veröffentlicht
Angebotsfrist
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Erfüllungsort

Ort der Leistung
Max-Planck-Institut für Mikrostrukturphysik Weinberg 2 06120 Halle (Saale) Deutschland
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