TendiGo
Jetzt starten →
Ausschreibungen Berlin

Laserscanning Mikroskop

Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für HöchstfrequenztechnikBerlin, BerlinVeröffentlicht:
Angebotsfrist:

Zusammenfassung

Automatisch erstellt aus den Vergabeunterlagen

Das Ferdinand-Braun-Institut gGmbH in Berlin beschafft im Rahmen des EU-Projekts APECS ein neues Laserscanning-Mikroskop. Das Gerät misst berührungslos 3D-Oberflächenprofile, Waferverkrümmungen, Rauigkeiten und Stufenhöhen auf Wafern von 2 Zoll bis 200 mm im Mikrometer- und Submikrometerbereich. Maximaler Auftragswert: 205.000 EUR netto.

Wichtige Termine:

Angebotsfrist: 26.10.2026
Ausschreibung ansehen ↗

Zeitplan & Fristen

Aus den Vergabeunterlagen extrahiert
Angebotsfrist: 26. Oktober 2026
Termin / FristSEP2026OKTNOVDEZJAN2027
Veröffentlichung28. Sep. 2026
Bieterfragen-Frist20. Okt. 2026
Angebotsfrist26. Okt. 2026
Angebotsöffnung26. Okt. 2026
Bindefrist26. Okt. 2026 – 11. Jan. 2027
Zuschlagca. 1. Dez. 2026
Liefertermin29. Jan. 2027
GarantieDatum offen12 Monate Garantie für Ersatzteile und Arbeitsleistung ab Lieferung/Abnahme.
GewährleistungDatum offenMindestens 2 Jahre Gewährleistung ab Abnahme.
ErsatzteillieferungDatum offen10 Jahre garantierte Ersatzteillieferung ab Lieferung/Abnahme (im Angebot anzugeben).
vor Angebotsabgabenach Angebotsabgabegeschätzt

Zuschlagskriterien

Gewichtung laut Vergabeunterlagen
Preis & Qualität3 Kriterien
Preis 40%Qualität 60%
  • Preis40%

    Der vom Bieter genannte Nettopreis (Wertungssumme einschl. evtl. Wartungskosten). Günstigstes Angebot erhält höchste Punktzahl, Bewertung über lineare Interpolation (10 Pkt. = niedrigster Preis, 0 Pkt. = ab doppeltem Preis).

  • Technische Eigenschaften, Softwareausstattung und Bedienkomfort40%

    Bewertet werden technische Eigenschaften (Messgenauigkeit/Auflösung, Messstabilität/Wiederholbarkeit – 30%-Punkte) sowie Softwareausstattung und Bedienkomfort (Benutzerfreundlichkeit, Automatisierungsgrad, Software-Umfang, Fernwartungsmöglichkeit, Anzahl Softwarelizenzen – 10%-Punkte).

  • Verfügbarkeit sowie Preis von Optionen und Service20%

    Preis von Optionen (5%-Punkte: günstigstes Angebot erhält höchste Punktzahl), Verfügbarkeit/Liefertermin (5%-Punkte: spätestens 29.01.2027, frühere Termine werden besser bewertet), Service über Mindestanforderungen hinaus (10%-Punkte: Reaktionszeit/Vor-Ort-Service, Ersatzteilverfügbarkeit, Erreichbarkeit technische Unterstützung, Qualität/Umfang der Unterstützung).

Preis: 10 Punkte für niedrigste Wertungssumme, 0 Punkte ab zweifacher Wertungssumme, lineare Interpolation mit 3 Stellen nach dem Komma. Energieeffizienz: 10 Punkte für höchste, 0 für niedrigste Energieeffizienzklasse, lineare Interpolation. Gesamtpunktzahl = Summe (v.H.-Satz × Punkte je Kriterium). Zuschlag auf höchste Gesamtpunktzahl.

KI-Hinweis: Alle Zuschlagskriterien und Gewichtungen sind in A1 Vergabeunterlage Ziff. 3.23 und im Leistungsverzeichnis vollständig angegeben; die Bewertungsmethode ergibt sich aus dem Formblatt 227 und Ziff. 3.22.

Leistungsumfang

Aus den Vergabeunterlagen

Kernleistung: Laserscanning-Mikroskop

Lieferung eines Laserscanning-Mikroskops zur berührungslosen Aufnahme von 3D-Oberflächenprofilen.

Messaufgaben:

3D-OberflächenprofileWaferverkrümmungenOberflächenrauigkeitenStufenhöhenProfile im Mikrometer- und Submikrometerbereich

Unterstützte Wafergrößen: 2 Zoll, 3 Zoll, 100 mm, 200 mm sowie Teilstücke.

Technische Mindestanforderungen (Hard & Software)

Auflösung & Genauigkeit:

Laterale Auflösung: ≤ 150 nmVertikale Auflösung: ≤ 1 nmMessgenauigkeit Stufenmessung: ≤ 2 %Wiederholbarkeit Stufenmessung: ≤ 0,5 % @ 1σFlankenvermessung: ≥ 85°

Mechanik & Optik:

Mindestens 5 motorisierte Objektivplätze mit Vergrößerungen x5, x10, x20, x50, x100Vertikaler Scanbereich: ≥ 2 mmMessbereich 3D: 1 µm und 2 mm Hub

Umgebungsbedingungen:

Reinraumtauglichkeit mindestens Klasse 5 (ISO 14644-1)Versorgung: 230 VAC / 50 Hz

Software/Daten:

Bedienersystem Windows 10Datenspeicherung in STL, IGES, STEP o. ä.

Nicht-/Erfüllung dieser Mindestanforderungen führt zum Angebotsausschluss.

Lieferung, Aufstellung & Schulung

Liefertermin: spätestens 29.01.2027 (Vertragsfrist).

Lieferbedingung: Frei Verwendungsstelle (DAP FBH Berlin gemäß Preisblatt).

Schulung: mindestens 3 Techniker, 2 Tage à 8 Stunden, in deutscher Sprache.

Garantie, Gewährleistung & Service

Garantie: 12 Monate ab Lieferung/Abnahme (Ersatzteile + Arbeitsleistung)Gewährleistung: mindestens 2 Jahre ab VertragsbeginnGarantierte Ersatzteillieferung: 10 Jahre ab Lieferung/Abnahme (im Angebot anzugeben)Angaben zu Service & Support: Reaktionszeit, Vor-Ort-Service, Hotline, Ersatzteilverfügbarkeit

Optionale / separat angebotene Leistungen

Im Preisblatt separat zu listen und zu bepreisen:

Lizenz Analysesoftware an Büro-PCLizenz Messprogramm-Erstellung an Büro-PCSECS-GEM-InterfaceSoftware CAD-VergleichVerfahrweg 300 mm (für 300-mm-Wafer)Automatisierte ProzessabläufeMessung dünner Schichten 0,1 µm bis 1 µmSchwingungsdämpftisch

Optionale Nachweise (nicht zwingend): SEMI-Standards-Konformität, Sicherheitsbewertungen/Zertifikate gemäß SEMI S2/S8.

Eignungskriterien

Geforderte Nachweise laut Vergabeunterlagen

Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit

Eigenerklärung Umsatz und Mitarbeiter (Anlage A5): Gesamtumsatz und Umsatz im Tätigkeitsbereich für die Geschäftsjahre 2022, 2023 und 2024 sowie durchschnittliche jährliche Mitarbeiteranzahl (gesamt und im Tätigkeitsbereich).Ab Auftragswert ≥ 30.000 EUR: Abfrage Wettbewerbsregister (Gewerbezentralregister-Auszug wird nach Zuschlag angefordert).Berufshaftpflichtversicherung mit Mindestdeckung 500.000 EUR pro Schadensfall.

Technische und berufliche Leistungsfähigkeit

Unternehmensdarstellung (Anlage A3) als Nachweis.Bestätigung der Eignung über Declaration by the Tenderer: u. a. Handelsregister-/Registrierung, Personalqualifikation/Zertifizierung, Einhaltung arbeitsschutzrechtlicher Vorschriften (ArbSchG, ASigG, ArbStättV, DruckluftV, GefStoffV, BetrSichV, PSA-BenutzungsV, LastenhandhabungsV), Schwarzarbeitsbekämpfung (SGB III, AÜG, Schwarzarbeitsbekämpfungsgesetz).Nachweis ILO-Konformität (Anlage zur Leistungsbeschreibung).Alle technischen Mindestanforderungen gemäß Leistungsbeschreibung müssen erfüllt sein – Nichterfüllung führt zum Angebotsausschluss.

Ausschlussgründe

Über Wirt 124 (Anlage A16) abzugeben; alternativ Einheitliche Europäische Eigenerklärung (EEE).Inhalt u. a.: keine Verurteilungen nach § 21 AEntG oder § 16 MiLoG über 2.500 EUR in den letzten zwei Jahren, keine Einträge im Berliner Korruptionsregister, keine eröffneten/beantragten Insolvenzverfahren, ordnungsgemäße Entrichtung von Steuern/Abgaben/Sozialversicherungsbeiträgen.Für Unterauftragnehmer: vor Zuschlag Nachweis, dass keine Ausschlussgründe vorliegen.

Bietergemeinschaften, Unterauftragnehmer, Eignungsleihe

Bietergemeinschaften zulässig (Anlage A4, Wirt 238 Anlage A13).Unterauftragsvergabe anzeigepflichtig (Wirt 235 Anlage A14); Verpflichtungserklärung anderer Unternehmer (Wirt 236 Anlage A15).Eignungsleihe zulässig.Auf Verlangen der Vergabestelle: Sicherheitsauskunft und Verpflichtungserklärung für Nachunternehmer/Unterauftragnehmer (Formblatt 126).

Verpflichtungserklärungen (vertragliche Mindestbedingungen)

Wirt 214 (A9): Zahlung Mindeststundenentgelt (mind. 14,84 EUR brutto/Stunde, ausgenommen Auszubildende), Einhaltung Berlin-Tarifregelungen; Verpflichtung an die gesamte Unterauftragnehmerkette weiterzugeben.Wirt 2141 (A10): Erklärung gemäß Frauenförderverordnung.Wirt 2143 (A11): BVB zur Verhinderung von Benachteiligungen.Wirt 2144 (A12): BVB Kontrolle und Sanktionen.Besondere Vertragsbedingungen (634): u. a. Rechnung 1-fach beim Auftraggeber + per E-Mail an invoice@fbh-berlin.de; Vertragsstrafe bei Verzug max. 5 % der Auftragssumme.
KI-Hinweis: Alle Eignungskriterien wurden per KI aus den Vergabeunterlagen extrahiert. Mit TendiGo prüfen Sie in wenigen Minuten, ob Ihr Unternehmen die Anforderungen erfüllt.

Wettbewerb & Angebotsprognose

Erwartete Konkurrenz auf Basis vergleichbarer Vergaben
4–10Angebote erwartet
Median vergleichbarer Vergaben: rund 6 Angebote
Mittlere Konkurrenz
Wahrscheinliche Bieterzahl
1–3 · 26%4–10 · 47%11+ · 27%
Checkliste zur AngebotsabgabeKonkrete Schritte laut Vergabeunterlagen0 von 29 erledigt
Angebotskern & Preis
Eignung & Unternehmensangaben
Vertragsbedingungen & Tariftreue
Bietergemeinschaft / Unterauftragnehmer
Technische Anforderungen & Service
Abfallentsorgung (falls Aufstellung mit Bau-/Abbrucharbeiten verbunden)
Nach Zuschlag
Mit TendiGo
Finden Sie weitere passende Ausschreibungen und prüfen Sie mit KI, ob Ihr Unternehmen die Anforderungen erfüllt.
Diese Ausschreibung mit KI prüfen
Zur Original-Ausschreibung ↗

Auf einen Blick

Auftraggeber
Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik
Anschrift
12489 Berlin
Ort
12489 Berlin
Kategorie
Berlin
Veröffentlicht
Angebotsfrist
Auftraggeber-Website
www.fbh-berlin.de ↗

Erfüllungsort

Ort der Leistung
12489 Berlin
Berlin

Weitere Ausschreibungen Berlin

Alle anzeigen →
Berlin

Rahmenvertrag für Bauunterhaltungsarbeiten Nieder- und Mittelspannungsanlagen mit Nennspannungen bis 36 kV

Bezirksamt Pankow von Berlin · BerlinFrist: Berlin

Konferenzversorgung

Heinrich-Böll-Stiftung e.V. · BerlinFrist: Berlin

Piezo-Positioniersystem

Forschungsverbund Berlin e.V. / Max-Born-Institut für Nichtlineare Optik und Kurzzeitspektroskopie · BerlinFrist: Berlin

U7, Tunnel Lipschitzallee - Wutzkyallee, Instandsetzung Notausgang H95

Berliner Verkehrsbetriebe (BVG), AöR · BerlinFrist: Berlin

Lieferung von Forstschilder

BF Berliner Forsten – Senatsverwaltung für Umwelt, Mobilität, Verbraucher- und Klimaschutz · BerlinFrist: Berlin

Augenknopflochautomat in Multiflex-Ausführung

Theater an der Parkaue · BerlinFrist:

Bereit für die Zukunft der Vergabe?

Setzen Sie auf den neuen technologischen Standard und verschaffen Sie sich den entscheidenden Vorsprung in der Auftragsakquise.

806+ VergabequellenMit Experten entwickeltSofort einsatzbereit