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Lieferung, Installation, Einbringung und Inbetriebnahme einer Maskaligner-Anlage (UV-Kontaktlithografiesystem)

Kurt-Schwabe-Institut für Mess- und Sensortechnik Meinsberge.V.Waldheim / Sachsen, SachsenVeröffentlicht:
Angebotsfrist:

Zusammenfassung

Automatisch erstellt aus den Vergabeunterlagen

Worum es geht:

Das Kurt-Schwabe-Institut für Mess- und Sensortechnik Meinsberg e.V. beschafft im offenen EU-Verfahren eine Maskaligner-Anlage (UV-Kontaktlithografiesystem) für die photolithographische Belichtung von Substraten mit Fotomasken (Forschung in Mikro-/Nanostrukturierung, Mikrosystemtechnik, Sensorik).

Was zu tun ist:

Lieferung, Transport, Einbringung, Installation und Inbetriebnahme der Anlage inklusive Steuerungsrechner, Software, Schulung und Abnahmeprüfung. Optionale Erweiterungen (z. B. IR-Alignment, zusätzliche Substrat-Chucks, Wartungsvertrag) sind separat anzubieten. Der geschätzte Auftragswert liegt bei ca. 500.000 EUR, die Leistungszeit beträgt 3 Monate ab Vertragsbeginn (04.09.2026).

Wichtige Frist:

Angebote müssen bis spätestens 06.10.2026, 20:00 Uhr (MESZ) elektronisch über www.evergabe.de eingereicht werden. Zuschlagskriterium ist Qualität (nicht der niedrigste Preis).

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Zeitplan & Fristen

Aus den Vergabeunterlagen extrahiert
Angebotsfrist: 06. Oktober 2026
Termin / FristSEP2026 NOV JAN2027 MÄR MAI JUL SEP
Vertragsbeginn4. Sep. 2026
Veröffentlichung6. Sep. 2026
Angebotsfrist6. Okt. 2026
Ausführungsbeginn4. Sep. 2026
Vertragslaufzeit4. Sep. – 4. Dez. 2026
Bindefrist6. Okt. – 6. Nov. 2026
Angebotsöffnung7. Okt. 2026
Verlängerung 1ca. 4. Dez. 2026 – 4. März 2027
Verlängerung 2ca. 4. März – 4. Juni 2027
Verlängerung 3ca. 4. Juni – 4. Sep. 2027
Garantiezeitca. 4. Sep. 2027 – 4. Sep. 2029bis 2029
vor Angebotsabgabenach Angebotsabgabegeschätzt

Zuschlagskriterien

Gewichtung laut Vergabeunterlagen
Preis & Qualität6 Kriterien
Preis 20%Qualität 80%
  • Technische Leistungsfähigkeit35%

    Technische Leistungsfähigkeit des Maskaligners, Bewertung 0–10 Punkte

  • Optionale Ausstattung5%

    Optionale Ausstattung, Bewertung 0–10 Punkte

  • Preis, Zahlungsmodalitäten20%

    Preis: niedrigster Preis erhält 10 Punkte, übrige nach Verhältnisregel Preis_min / Preis_Anbieter x 10

  • Lieferzeit30%

    Lieferzeit nach Auftragserteilung: 10 Punkte für Q4 2026, 6 Punkte für Q1 2027, 0 Punkte danach

  • Lieferung, Einbringung, Installation5%

    Lieferung, Transport, Einbringung, Installation und Inbetriebnahme, Bewertung 0–10 Punkte (Mittelwert einer Spanne 4–6 % gemäß Bekanntmachung)

  • Service, Support, Training5%

    Service, Support, Training bzw. Anwenderschulung/Einweisung, Bewertung 0–10 Punkte

Preis: Punkte = Preis_min / Preis_Anbieter x 10. Übrige Kriterien werden mit 0–10 Punkten bewertet.

KI-Hinweis: Gewichtung 'Lieferung, Einbringung, Installation' in der Bekanntmachung als Spanne 4–6 % angegeben (Mittelwert 5 %); das LV nennt 5 %. Formblatt 227 ist als Anlage gelistet, liegt aber nicht vor – die Gewichte aus der Bewertungsmatrix im LV sind jedoch eindeutig und vollständig.

Leistungsumfang

Aus den Vergabeunterlagen

Pflicht-Leistungsumfang (Anlage)

Lieferung, Transport, Einbringung, Installation und Inbetriebnahme einer Maskaligner-Anlage (UV-Kontaktlithografiesystem) am Standort des Auftraggebers:

Mask-Aligner-Grundsystem mit BelichtungssystemVollständige Alignment-Optik (Vorderseiten- und Rückseiten-Alignment)Substrataufnahmen für mindestens 4″-Wafer sowie für Einzelchips und kleinere SubstrateMaskenhalterSteuer- und Bedienrechner mit erforderlichen SoftwarelizenzenBedienmonitor und EingabegeräteUV-IntensitätsmesseinheitAnwenderschulung am Aufstellungsort (mindestens Basis-Einweisung für bis zu 3 Personen, mind. 0,5 Tag)Abnahme mit Funktionsnachweis gemäß ATP (Acceptance Test Procedure)Mindestgarantie: 24 Monate ab Abnahme (Unterschrift Abnahmeprotokoll)Technische Dokumentation (mindestens Englisch), Sicherheitsdokumentation, Betriebs- und WartungsanleitungGarantierte Ersatzteilverfügbarkeit: mindestens 10 Jahre

Optionale Ausstattung & Services (separat anbieten)

Erweiterte Alignment-FunktionenErweiterte Rückseiten- und Infrarot-AusrichtungErweiterte SubstratverarbeitungErweiterte Automatisierung und SoftwareZusätzliche Substrat-Chucks und ProbenhalterVertiefende Schulung (mind. 1 Tag, max. 3 Teilnehmer)Wartungsvertrag (jährliche Inspektion)Zusätzliche Trainingsangebote / ApplikationsunterstützungWartung & Service für 1 Jahr nach Ablauf der Garantie (separat zu kalkulieren)

Preisaufschlüsselung & Termine

Preisangaben sind im Leistungsverzeichnis mindestens wie folgt aufzuschlüsseln:

Grundgerät (Maskaligner-Anlage)Software und LizenzenUV-IntensitätsmesseinheitLieferung, Transport, Einbringung, Installation und InbetriebnahmeAnwenderschulung / EinweisungOptionen (Einzelpreise je Option)Wartung & Service (1 Jahr nach Garantie)Sonstiges Zubehör

Lieferzeit-Bewertung (Wertungsmatrix):

Bevorzugt: Liefertermin Q4 2026 → 10 PunkteAlternativ akzeptabel: Q1 2027 → 6 Punkte

Leistungszeitraum: 3 Monate ab Vertragsbeginn (04.09.2026), Verlängerungsmöglichkeit bis zu 3-mal.

Eignungskriterien

Geforderte Nachweise laut Vergabeunterlagen

Eignung (allgemein)

Die Vergabeunterlagen verweisen auf standardisierte Eignungskriterien (slc-stand-other); konkrete Kriterien wie Mindestumsatz, Fachkunde, Referenzen oder Zertifizierungen sind im vorliegenden Datenauszug nicht explizit benannt. Im Rahmen des offenen EU-Verfahrens sind folgende Nachweise/Angaben einzureichen:

Eigenerklärung zur Eignung (Anlage 124 LD) oder Einheitliche Europäische Eigenerklärung (EEE)Erklärung zu Ausschlussgründen und Angaben zum Unternehmen (Wirt-124 EU P), inkl. Firmenname, HR-Nr., Registergericht, USt-IdNr., Unternehmensgröße, nationaler IdentifikationsnummerBei Eignungsleihe / Unteraufträgen: Verzeichnis (Wirt-235 P) und ggf. Verpflichtungserklärung (Wirt-236 P)

Zwingende und fakultative Ausschlussgründe gemäß §§ 123, 124 GWB (z. B. rechtskräftige Verurteilungen, Steuer-/Sozialabgabenverstöße, Insolvenz, schwere Verfehlung, Wettbewerbsverzerrung) sind zu erklären; Selbstreinigung ist bei zwingenden Gründen möglich.

Verfahrens- und Wertungsregeln

Verfahrensart: Offenes Verfahren (EU)Zuschlagskriterium: Qualität (nicht der niedrigste Preis)Keine Bietsicherheit erforderlichKeine bestimmte Rechtsform des Unternehmens vorgeschriebenKeine Sicherheitsüberprüfung erforderlichKMU-Eignung: Ausschreibung wird ausdrücklich nicht als KMU-gerecht ausgewiesen (SME suitable: false)Bietergemeinschaften sind zugelassen (Gesamtschuldner-Haftung, ein bevollmächtigter Vertreter)Eignungsleihe möglich (Mit-Haftung bei wirtschaftlicher/finanzieller Leihe)Angebote sind in deutscher Sprache, netto in Euro (max. 3 Nachkommastellen) abzufassenMischkalkulation ist unzulässig; Preisnachlässe nur unbedingt an der vorgesehenen Stelle
KI-Hinweis: Alle Eignungskriterien wurden per KI aus den Vergabeunterlagen extrahiert. Mit TendiGo prüfen Sie in wenigen Minuten, ob Ihr Unternehmen die Anforderungen erfüllt.

Wettbewerb & Angebotsprognose

Erwartete Konkurrenz auf Basis vergleichbarer Vergaben
1–3Angebote erwartet
Median vergleichbarer Vergaben: rund 2 Angebote
Geringe Konkurrenz
Wahrscheinliche Bieterzahl
1–3 · 84%4–10 · 16%11+ · 0%
Checkliste zur AngebotsabgabeKonkrete Schritte laut Vergabeunterlagen0 von 16 erledigt
Angebotsschreiben & Formulare
Eignung & Bietergemeinschaft
Technische & kaufmännische Anlagen

Verlauf dieser Vergabe

2 Bekanntmachungen
  1. 21.10.2026Vergabebekanntmachung
  2. 06.09.2026Ausschreibungauf dieser Seite
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Auf einen Blick

Auftraggeber
Kurt-Schwabe-Institut für Mess- und Sensortechnik Meinsberge.V.
Anschrift
04736 Waldheim
Ort
04736 Waldheim / Sachsen
Kategorie
Sachsen
Auftragsvolumen
500.000 €
Veröffentlicht
Angebotsfrist
Auftraggeber-Website
www.ksi-sensors.de ↗
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Erfüllungsort

Ort der Leistung
04736 Waldheim / Sachsen
Sachsen

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