Maskenloses Lithographiesystem

Lieferung des maskenlosen Lithographiesystems „Frei Verwendungsstelle" an die TU Dresden, Institut für Angewandte Physik, Nöthnitzer Straße 61, 01187 Dresden. Inklusive Verpackung, Transportversicherung, Entladen und Vertragen/Einbringen in den Aufstellungsraum.

Lieferzeitpunkt: schnellstmöglich nach Auftragserteilung.

Vertragsmodell: Kauf, Leasing, Miete, Ratenkauf oder eine Kombination davon.

Aufstellung des Geräts auf vibrationsisoliertem Aufstelltisch, Installation und Inbetriebnahme durch den Auftragnehmer. Anschließend protokollierte Abnahme (SAT) mit Funktionsnachweis aller Komponenten.

Betriebsanleitung in deutscher Sprache. Alle Betriebs- und Verbrauchsmaterialien für die Inbetriebnahme sind eingeschlossen.

Gerätesicherheit gemäß ProdSG, einschlägigen DIN-Normen, EMV/CE und ElektroG.

UV-LED mit 365 nm Wellenlänge, Leistung 6 W. Strukturgröße ≥ 1 µm. Belichtungsfläche bis 150×150 mm². Substrate von 5×5 mm² bis 150×150 mm², Dicke 0,1–12 mm, gehalten mit Vakuum-Chuck.

Positionierung über Linearmotor-/Luftlager mit 20 nm Auflösung. Raster-Scan mit 256-stufiger Graustufenbelichtung. Alignment-/Übersichtskamera und Autofokus.

Windows-basierte Steuerungssoftware mit Importformaten DXF, CIF, GDSII, Gerber und BMP.

Zum Lieferumfang gehören eine Vorrichtung zur Intensitätsmessung sowie ein vibrationsisolierter Aufstelltisch.

Zusätzlich ist eine Schulung/ein Training von einem Tag (8 Arbeitsstunden) vor Ort beim Auftraggeber für bis zu 5 Personen in die Bedienung und Nutzung des Systems einzuschließen.

Software, Lizenzen und sämtliches Zubehör sind im Festpreis enthalten. Es sind Festpreise ohne Nachforderungsmöglichkeit wegen Kostensteigerungen zu stellen.

Nachweis vergleichbarer Leistungsausführungen in den letzten drei abgeschlossenen Geschäftsjahren. Mindestens eine prüfbare, abgeschlossene Referenz über vergleichbare Leistungen (maskenlose UV-Lithographiesysteme oder vergleichbar). Diese Referenz ist auch bei Vorlage einer Präqualifikationsbescheinigung zwingend einzureichen.

Amtliche Unbedenklichkeitsbescheinigung des zuständigen Finanzamtes ODER eine eigene Erklärung über die pflichtgemäße Zahlung von Steuern, Abgaben und Beiträgen zur gesetzlichen Sozialversicherung.

Im Fragebogen F 2.1 Angabe von Qualitätssicherungsnachweisen (z. B. ISO 9001, EMAS oder vergleichbar) – freiwillig, aber erwünscht.

KO-Kriterium A1: Alle technischen und funktionalen Mindestanforderungen aus der Leistungsbeschreibung müssen bestätigt werden, andernfalls erfolgt ein zwingender Ausschluss.

Ab Auftragssumme über 50.000 € wird ein Auszug aus dem Gewerbezentralregister (Bundesamt für Justiz) bzw. dem Wettbewerbsregister (Bundeskartellamt) angefordert.

Alternativ zu den Einzelnachweisen kann eine Präqualifikationsbescheinigung PQ-VOL (oder gleichwertig einer anderen Präqualifikationsstelle) eingereicht werden. Diese ersetzt die Einzelnachweise zur Leistungsfähigkeit und Zuverlässigkeit, NICHT jedoch die geforderte Referenz.

Erklärung, dass keine illegale Beschäftigung vorliegt. Anerkennung der AGB der TU Dresden sowie von VOL/A und VOL/B als Vertragsbestandteil. Keine Änderungen oder Ergänzungen an den Vertragsunterlagen zulässig – führt zum zwingenden Ausschluss.