Zusammenfassung
Automatisch erstellt aus den VergabeunterlagenDas Leibniz-Institut für Festkörper- und Werkstoffforschung Dresden (IFW Dresden) schreibt die Lieferung, Installation und Inbetriebnahme eines modularen Dünnschicht-Vakuumdepositionssystems mit integrierter Glovebox für die Laborforschung aus.
Das System dient zur Abscheidung von Metallen, Metall-Oxiden, organischen und hybriden Materialien im Labormaßstab. Es besteht aus zwei vakuumverbundenen Kammern (Elektronenstrahl-Verdampfung sowie thermisches Verdampfen, LTE und Magnetron-Sputtern) und einer Inertgas-Glovebox mit automatisierter Probenübergabe und Maskenwechsler unter Vakuum.
Die Lieferung muss bis Ende 2026 an den Standort Dresden erfolgen, inklusive Montage, Inbetriebnahme, Schulung und 12 Monaten Garantie.
Zeitplan & Fristen
Aus den Vergabeunterlagen extrahiertZuschlagskriterien
Gewichtung laut Vergabeunterlagen- Price60%
Angebotspreis
- Quality of the offer20%
Qualität des Angebots (Details siehe Vergabeunterlagen)
- Service20%
Serviceleistungen (Details siehe Vergabeunterlagen)
Leistungsumfang
Aus den VergabeunterlagenSystemaufbau und Lieferbestandteile
Es handelt sich um die Lieferung, Installation und Inbetriebnahme eines modularen Dünnschicht-Vakuumdepositionssystems mit Glovebox-Integration für Metalle, Metall-Oxide, organische und hybride Materialien für Laborforschung.
Das System ist als Ganzes ein einzelner Auftrag (LOT-0001); eine Aufteilung in mehrere Lose erfolgt nicht. Der Lieferumfang umfasst das gesamte System inklusive beider Vakuumkammern, Glovebox, Antechambers, Pump- und Vakuumsystem, Steuerung, Schichtdickenmessung, Glovebox-Sicherheitstechnik, Dokumentation sowie die Vor-Ort-Montage, Erstinbetriebnahme und Schulung beim Auftraggeber.
Kammer 1 – Elektronenstrahl-Verdampfung (E-Beam)
Rechteckige Vakuumkammer aus 304L-Edelstahl, Innenmaße ca. 350–400 × 400–450 × 600–650 mm, mit O-Ring-gedichteter Schiebetür und Sichtfenster, modularen Seitenplatten und mindestens 4 freien CF-Flanschen.
E-Beam-Quelle als Carousel mit mindestens 6 Tiegeln (≤ 20 cc) und 5 kW Leistung. Motorisch rotierender Substrathalter (bis 20 rpm) für 100×100 mm oder 4″ Substrate. Pneumatischer Substrat-Shutter. Optional: Z-Höhenverstellung ±150 mm. Pumpenbestückung mit Turbopumpe (≥ 790 l/s) und trockener Scroll-Pumpe (≥ 11 m³/h, ölfrei).
Kammer 2 – Thermische Verdampfung, LTE und Magnetron-Sputtern
Zweite Vakuumkammer gleicher Grundabmessung mit hinterer Wartungstür. Ausgestattet mit mindestens 2× 4″-Thermischen Verdampfungsquellen (DC 12 V/400 A/2 kW), mindestens 1× 2″-Magnetron-Sputterquelle (≥ 300 W RF, automatisches Matching, ≥ 2 Prozessgase) und mindestens 3 LTE-Quellen (10 ccm, 50–600 °C) für organische Materialien.
Motorisch rotierender, bis 350 °C beheizbarer Substrathalter (bis 20 rpm). Masken-/Sample-Kassette mit mindestens 4 Positionen und unter Vakuum arbeitender Maskenwechsler (Gap ≤ 1000 µm, typisch ~200 µm). Z-Höhenverstellung ±150 mm.
Pumpen, Vakuum und Anlagentechnik
Turbo-Pumpen mit ≥ 790 l/s, trockene Scroll-Pumpen mit ≥ 11 m³/h, Saugzeit auf 2·10⁻⁶ mbar in maximal 45 min (höchstens 75 min), Enddruck < 5·10⁻⁷ mbar. 3-Wege-Gate-Valves und Bypass-System. Wide-Range-Vakuummessung von Atmosphäre bis 10⁻⁹ Torr. Pumpen für Kammer 1 geeignet für korrosive Dämpfe. Wasserverteilung für Pumpen, Verdampfer und E-Beam. Eco-Modus.
Prozesssteuerung und Schichtdickenmessung
Echtzeit-Controller (RTC) mit AIO-Touchscreen und .NET-basierter Bedienoberfläche. Grafische, datenbankbasierte Rezeptverwaltung. CSV-Logging, PID-Druckregelung. Gas-Mainfield für bis zu 5 MFCs (Lieferumfang: 1× 100 sccm und 1× 20 sccm), Kapazitätsmanometer. Schichtdickenmessung mit QCM: 5 Sensoren für Kammer 2 (LTE), 2 geschlossene QCM-Sensoren für die E-Beam-Kammer, optional Closed-Loop für bis zu 5 Sensoren. Schnittstellen für KI-Integration sind vorzusehen.
Glovebox und Antechambers
8-Port-Glovebox für N₂- oder Ar-Betrieb bei 1–10 mbar Überdruck, mit O₂/H₂O < 1 ppm, automatischer Gasreinigung und Alarmfunktion, Aktivkohle- und Partikelfilter (optional HEPA 14), LED-Beleuchtung, Sensoren für H₂O und O₂ (je 0–1000 ppm), Schnellspülfunktion ≥ 200 L/min, drucklose Druckregelung, mindestens 5 freie KF40-Flansche, M6-Gewindestifte, Deckenflansch für N₂-Pistole sowie Regale/Lagerung.
Eine große Antechamber (Ø 400 ±30 mm, Länge 600 ±30 mm) mit automatisierten Pumpzyklen und Schiebe-Tablett sowie zwei kleine Antechambers (Ø 150 ±10 mm, einhändig bedienbar, Scroll-Pumpe ≥ 180 L/min, ölfrei). Sicherheitsverriegelungen zwischen PVD und Glovebox.
Probentransfer und Maskenwechsler
Automatisierte Probenübertragung zwischen beiden Vakuumkammern und Glovebox ohne Vakuumunterbrechung. Maskenwechsler arbeitet unter Vakuum mit Mask-Substrat-Gap ≤ 1000 µm (typisch ~200 µm). Masken-/Sample-Kassette mit ≥ 4 Positionen.
Logistik, Service und Dokumentation
Lieferung bis 31.12.2026 an IFW Dresden, Helmholtzstr. 20, 01069 Dresden, inklusive Montage vor Ort und ca. 2-wöchiger Inbetriebnahme und Schulung beim Auftraggeber. 12 Monate Garantie ab Abnahme. Telefon-, E-Mail- und Remote-Support während der Geschäftszeiten in Deutschland, Vor-Ort-Service-Reaktionszeit innerhalb 7 Werktagen, Ersatzteile aus EU-basiertem Lager. Benutzerhandbuch für Gesamtsystem und Komponenten, CE-Konformität und Maschinenrichtlinien-Konformität für EWR. Rücknahme von Verpackung und Altgerät innerhalb 3 Arbeitstagen nach Kundeninformation.
Eignungskriterien
Geforderte Nachweise laut VergabeunterlagenFormale Eignungsnachweise
Gewerbeanmeldung und Handelsregistereintragung (ggf. Änderungsmitteilung) sowie Nachweis der Eintragung im Berufs-/Handelsregister oder Handwerksrolle (oder gleichwertiger Nachweis). Nachweis einer entsprechenden Betriebs- oder Berufshaftpflichtversicherung. Selbstauskünfte (Anlage 5) rechtsverbindlich unterschrieben u.a. zu: keine Insolvenz, keine Liquidation, keine schwerwiegenden Verfehlungen, Erfüllung der Steuer- und Sozialversicherungspflichten, Einhaltung MiLoG, keine Verurteilung wegen illegaler Beschäftigung, keine vorsätzlich falschen Angaben im Vergabeverfahren, Eintragung bei der zuständigen Berufsgenossenschaft.
Sprachliche Anforderungen: Angebote in Deutsch oder Englisch; gesamte Korrespondenz in Deutsch. Bei ausländischen Bietern beglaubigte deutsche Übersetzung aller Ursprungszeugnisse.
Wirtschaftliche und personelle Leistungsfähigkeit
Umsatzangaben des Unternehmens der letzten 3 Geschäftsjahre (vergleichbare Leistungen, ggf. inkl. Gemeinschaftsleistungen). Durchschnittliche Mitarbeiterzahl der letzten 3 Geschäftsjahre, aufgeschlüsselt nach Berufsgruppen. Angaben zu verfügbarem Personal, zur technischen Ausrüstung sowie zu Qualitätssicherungsmaßnahmen. Weitere Fachkunde-Nachweise (z.B. Zertifikate, Prüfberichte) sind erwünscht.
Technische Eignung und Referenzen
Mindestens 3 vergleichbare Referenzen aus den letzten 3 Geschäftsjahren (z.B. Vakuum-Depositions- oder Glovebox-Systeme, labor-/forschungsnahe Anlagen). Je Referenz: Auftragswert, Zeitraum, Kundenname und Ansprechpartner (Telefon, E-Mail), Kurzbeschreibung der Leistung. Fehlende Referenzen können zu reduzierter Bewertung bzw. Ausschluss führen.
Speziell gewünschte Referenzen: Maskenwechsler-System unter Vakuum (bonusrelevant), Korrosivdampf-Eignung Kammer 1 (bonusrelevant), Glovebox-Integration / PVD-Kammer-Sicherheitsverriegelung (bonusrelevant).
Bonuspunkte bei der technischen Wertung
Die folgenden Lösungen fließen mit Bonuspunkten in die technische Wertung ein:
Produkt- und Lieferanforderungen
Nur fabrikneue, originale Herstellerprodukte; EU-zugelassen; konform mit lokalen Sicherheitsstandards; CE-Kennzeichnung und Maschinenrichtlinien-Konformität für EWR. Vollständige Sicherstellung der Lieferfähigkeit ab Vertragsbeginn; Lieferung muss bis Ende 2026 möglich sein. Bei Vorauszahlung ist eine Bankgarantie eines EU-akkreditierten Kreditinstituts mit unbegrenzter Gültigkeit und Akzeptanz durch das IFW Dresden vorzulegen. Die Ausschreibung ist nicht speziell für KMU/SME geeignet.
Mindestens 3 vergleichbare Lieferungen/Leistungen (z.B. Vakuum-Depositions- oder Glovebox-Systeme, labor-/forschungsnahe Anlagen) aus den letzten 3 Geschäftsjahren
Je Referenz: Auftragswert (netto), Zeitraum (Datum von-bis), Kundenname und Ansprechpartner mit Telefon und E-Mail, Kurzbeschreibung der erbrachten Leistung. Fehlende Referenzen können zu reduzierter Bewertung bzw. Ausschluss führen.
Referenzen speziell für Maskenwechsler-System unter Vakuum
Vergleichbare Projekte für unter Vakuum arbeitende Maskenwechsler; bonusrelevant (6 %)
Referenzen zu vergleichbaren Lösungen für Korrosivdampf-Eignung Kammer 1
Referenzen zu vergleichbaren Projekten, bonusrelevant (2 %)
Referenzen zur Glovebox-Integration / PVD-Kammer-Sicherheitsverriegelung
Referenzen zu vergleichbaren Lösungen, bonusrelevant (2 %)