Zusammenfassung
Automatisch erstellt aus den VergabeunterlagenÖffentliche Ausschreibung gemäß UVgO des Fraunhofer-Instituts für Elektronische Nanosysteme (ENAS) in Chemnitz für die Lieferung von 12 Polierpads (20 Zoll Durchmesser) für die CMP-Anlage MIRRA Z10158 im Oxid-Polierprozess. Die Pads müssen ein integriertes optisches Fenster für die Endpunkterkennung sowie spezifische Materialeigenschaften (Subpad 50 mil, Toppad 80 mil) aufweisen. Alternative Produkte zu den bisherigen DuPont/Qnity-Pads müssen einen vierstufigen Qualifikationstest bestehen. Angebote werden elektronisch über die Vergabeplattform eingereicht; gewertet wird zu 50 % nach Preis und 50 % nach Lieferzeit.
Zeitplan & Fristen
Aus den Vergabeunterlagen extrahiertZuschlagskriterien
Gewichtung laut Vergabeunterlagen- Technische Ausführung des Produktes/der DL
Nicht-metrisches Zuschlagskriterium: Bewertung der technischen Ausführung anhand einer Punkteskala 0-100 basierend auf Vor-/Nachteilen gegenüber der relativ besten Lösung. Die genaue Gewichtung ist dem Leistungsverzeichnis (LV) zu entnehmen.
- Preis
Metrisches Zuschlagskriterium: Angebotspreis (ohne MWSt). Niedrigster Preis erhält 100 Punkte, doppelt so hoher Preis 0 Punkte, dazwischen lineare Interpolation. Die genaue Gewichtung ist dem Leistungsverzeichnis (LV) zu entnehmen.
- Lieferzeit
Metrisches Zuschlagskriterium: Kürzeste Lieferzeit erhält 100 Punkte, doppelt so lange Lieferzeit 0 Punkte, dazwischen lineare Interpolation. Die genaue Gewichtung ist dem Leistungsverzeichnis (LV) zu entnehmen.
Metrische Kriterien (Preis, Lieferzeit): Niedrigster Wert erhält 100 Punkte, ein fiktiver doppelt so hoher Wert erhält 0 Punkte, dazwischen lineare Interpolation. Nicht-metrische Kriterien (Technische Ausführung): Bewertung auf einer Skala von 0-100 Punkten, wobei das relativ beste Angebot 100 Punkte erhält (100%=Note1, 80%=Note2, 60%=Note3, 40%=Note4, 20%=Note5, 0%=Ausschluss). Die Gesamtpunktzahl ergibt sich aus der Summe der gewichteten Punkte je Zuschlagskriterium.
Leistungsumfang
Aus den VergabeunterlagenLiefermenge und Pad-Geometrie
Integriertes optisches Fenster
Das Polierpad muss über ein integriertes optisches Fenster verfügen, das die Signale der MIRRA-Sensorik zuverlässig durchlässt. Für eine plane Oberfläche ist eine Kavität im Pad erforderlich. Vergleichsprodukt: DuPont Pad IC 1000.
Qualifikationsanforderungen an Alternativpads
Pads, die nicht dem bisherigen DuPont/Qnity-Produkt entsprechen, müssen einen vierstufigen Qualifikationstest auf der vorhandenen MIRRA-Anlage durchlaufen:
1. Nachweis einer homogenen und reproduzierbaren Oxid-Abtragsrate
2. Nachweis ausreichender Prozessstabilität und geringer Wafer-Slip-Rate anhand statistischer Untersuchungen mit 8-Zoll-Standard-Wafern
3. Nachweis geeigneter Oberflächenqualität (keine Kratzer, Defekte oder sonstige Beeinträchtigungen nach dem Polieren)
4. Nachweis der zuverlässigen Funktion des optischen Fensters in Verbindung mit der optischen Endpunkterkennung
Pflichtspezifikationen (F-Kriterien)
Folgende technische Spezifikationen sind als F-Kriterien zwingend zu erfüllen – bei Nichterfüllung erfolgt sofortiger Ausschluss:
Eignungskriterien
Geforderte Nachweise laut VergabeunterlagenFirmenprofil und Unternehmensdarstellung
Der Bieter muss ein Firmenprofil in Textform (keine Links oder Bilder) einreichen mit folgenden Mindestangaben:
Unvollständige Dokumente können zum Ausschluss vom Verfahren führen.
Wirtschaftliche Leistungsfähigkeit
Der Bieter muss Umsatzangaben für die Geschäftsjahre 2022, 2023 und 2024 vorlegen (ggf. auch 2025, falls vorhanden).
Ausschlussgründe gemäß §§ 123, 124 GWB
Der Bieter muss durch eine unterschriebene Eigenerklärung versichern, dass keine Ausschlussgründe gemäß §§ 123 und 124 GWB vorliegen.
Zwingende Ausschlussgründe gemäß § 123 GWB (Auswahl):
Zwingende Ausschlussgründe gemäß § 124 GWB (Auswahl):
Weitere Ausschlussgründe:
Liegen Ausschlussgründe vor, können Selbstreinigungsmaßnahmen gemäß § 125 GWB in einer separaten Anlage dargelegt werden.