TendiGo
Jetzt starten →
Ausschreibungen Sachsen

Pads für Mirra

Fraunhofer ENAS09126 Chemnitz, SachsenVeröffentlicht:
Angebotsfrist:

Zusammenfassung

Automatisch erstellt aus den Vergabeunterlagen

Öffentliche Ausschreibung gemäß UVgO des Fraunhofer-Instituts für Elektronische Nanosysteme (ENAS) in Chemnitz für die Lieferung von 12 Polierpads (20 Zoll Durchmesser) für die CMP-Anlage MIRRA Z10158 im Oxid-Polierprozess. Die Pads müssen ein integriertes optisches Fenster für die Endpunkterkennung sowie spezifische Materialeigenschaften (Subpad 50 mil, Toppad 80 mil) aufweisen. Alternative Produkte zu den bisherigen DuPont/Qnity-Pads müssen einen vierstufigen Qualifikationstest bestehen. Angebote werden elektronisch über die Vergabeplattform eingereicht; gewertet wird zu 50 % nach Preis und 50 % nach Lieferzeit.

Ausschreibung ansehen ↗

Zeitplan & Fristen

Aus den Vergabeunterlagen extrahiert
Angebotsfrist: 02. Oktober 2026
Termin / FristOKT2026NOV
Angebotsfrist2. Okt. 2026
Bindefrist2. Okt. – 2. Nov. 2026
Gewährleistungca. 3. Nov. 2026 – 3. Nov. 2027bis 2027
vor Angebotsabgabenach Angebotsabgabegeschätzt

Zuschlagskriterien

Gewichtung laut Vergabeunterlagen
Preis & Qualität2 Kriterien
Preis 50%Qualität 50%
  • Preis50%

    Angebotspreis ohne MwSt; niedrigster Preis erhält volle Punktzahl, doppelt so hoher Preis 0 Punkte, lineare Interpolation dazwischen.

  • Lieferzeit50%

    Lieferzeit als metrisches Kriterium; kürzeste Lieferzeit erhält volle Punktzahl, doppelt so lange Lieferzeit 0 Punkte, lineare Interpolation dazwischen.

Metrische Kriterien: Niedrigster Angebotspreis bzw. schnellste Lieferzeit erhält volle Punktzahl; ein fiktiver doppelt so hoher Wert erhält 0 Punkte; dazwischen lineare Interpolation. Nichtmetrische Kriterien: Bewertung anhand einer Punkteskala 0–100 (100%=sehr gut, 80%=gut, 60%=befriedigend, 40%=ausreichend, 20%=mangelhaft, 0%=Ausschluss).

KI-Hinweis: Zuschlagskriterien und Gewichtungen sind in PR1284491_award criteria Zuschlagskriterien.pdf eindeutig festgelegt (Preis 50%, Lieferzeit 50%).

Leistungsumfang

Aus den Vergabeunterlagen

Liefermenge und Pad-Geometrie

12 PolierpadsDurchmesser: 20 ZollStack-Aufbau aus hartem Toppad und weichem SubpadSubpad-Dicke: 50 milToppad-Dicke: 80 mil

Integriertes optisches Fenster

Das Polierpad muss über ein integriertes optisches Fenster verfügen, das die Signale der MIRRA-Sensorik zuverlässig durchlässt. Für eine plane Oberfläche ist eine Kavität im Pad erforderlich. Vergleichsprodukt: DuPont Pad IC 1000.

Qualifikationsanforderungen an Alternativpads

Pads, die nicht dem bisherigen DuPont/Qnity-Produkt entsprechen, müssen einen vierstufigen Qualifikationstest auf der vorhandenen MIRRA-Anlage durchlaufen:

1. Nachweis einer homogenen und reproduzierbaren Oxid-Abtragsrate

2. Nachweis ausreichender Prozessstabilität und geringer Wafer-Slip-Rate anhand statistischer Untersuchungen mit 8-Zoll-Standard-Wafern

3. Nachweis geeigneter Oberflächenqualität (keine Kratzer, Defekte oder sonstige Beeinträchtigungen nach dem Polieren)

4. Nachweis der zuverlässigen Funktion des optischen Fensters in Verbindung mit der optischen Endpunkterkennung

Pflichtspezifikationen (F-Kriterien)

Folgende technische Spezifikationen sind als F-Kriterien zwingend zu erfüllen – bei Nichterfüllung erfolgt sofortiger Ausschluss:

Position 1.1Position 1.2Position 2.1Position 2.2Position 2.3Position 2.4

Eignungskriterien

Geforderte Nachweise laut Vergabeunterlagen

Firmenprofil und Unternehmensdarstellung

Der Bieter muss ein Firmenprofil in Textform (keine Links oder Bilder) einreichen mit folgenden Mindestangaben:

GründungsjahrWichtige Meilensteine des UnternehmensAnzahl der MitarbeiterHergestellte Produkte / erbrachte Leistungen

Unvollständige Dokumente können zum Ausschluss vom Verfahren führen.

Wirtschaftliche Leistungsfähigkeit

Der Bieter muss Umsatzangaben für die Geschäftsjahre 2022, 2023 und 2024 vorlegen (ggf. auch 2025, falls vorhanden).

Ausschlussgründe gemäß §§ 123, 124 GWB

Der Bieter muss durch eine unterschriebene Eigenerklärung versichern, dass keine Ausschlussgründe gemäß §§ 123 und 124 GWB vorliegen.

Zwingende Ausschlussgründe gemäß § 123 GWB (Auswahl):

Strafrechtliche Verurteilungen wegen Terrorismus, Geldwäsche, Betrug, Bestechung, Menschenhandel etc.Nichtzahlung von Steuern, Abgaben oder Sozialversicherungsbeiträgen (bestandskräftig festgestellt)

Zwingende Ausschlussgründe gemäß § 124 GWB (Auswahl):

Verstoß gegen Umwelt-, Sozial- oder ArbeitsrechtInsolvenz / Liquidation / StilllegungSchwere Verfehlung, die die Integrität in Frage stelltKartellrechtliche AbsprachenInteressenkonflikt im VergabeverfahrenVerzerrung des Wettbewerbs durch Teilnahme an der VerfahrensvorbereitungErhebliche Mängel bei früheren öffentlichen AufträgenSchwerwiegende Falschangaben / InformationszurückhaltungUnzulässige Einflussnahme auf den Auftraggeber

Weitere Ausschlussgründe:

Verurteilung wegen Schwarzarbeit (§ 21 SchwarzArbG)Verurteilung wegen Mindestlohnverstößen (§ 19 MiLoG, § 21 AEntG)Verurteilung wegen illegaler Beschäftigung (§ 98c AufenthG)Bußgeld wegen Verstoßes gegen Sorgfaltspflichten in Lieferketten (§ 24 LkSG)Verstoß gegen Tariftreuepflichten (§ 13 BTTG)

Liegen Ausschlussgründe vor, können Selbstreinigungsmaßnahmen gemäß § 125 GWB in einer separaten Anlage dargelegt werden.

Bonitäts- und Registerprüfung

Ab Auftragswert > 500.000 €: Bonitätsauskunft bei Creditreform oder Coface erforderlichAb Auftragssumme ≥ 30.000 €: Abfrage des Wettbewerbsregisters (WRegG § 6 Abs. 1)Bei Auftragssumme > 30.000 €: Auszug aus dem Gewerbezentralregister wird angefordert

Compliance-Anforderungen

Mindestlohngesetz (MiLoG): Der Bieter muss die Einhaltung des Mindestlohngesetzes garantieren; diese Verpflichtung gilt auch für Nachunternehmer und Verleiher. Der Bieter darf nicht gemäß § 19 Abs. 1 MiLoG von öffentlicher Auftragsvergabe ausgeschlossen sein.Korruptionsprävention: Es dürfen keine schweren Verfehlungen vorliegen.ILO-Kernarbeitsnormen: Einhaltung der internationalen Kernarbeitsnormen.Menschenrechte: Einhaltung gemäß UN Global Compact, UN-Leitprinzipien und Lieferkettensorgfaltspflichtengesetz (LkSG).Nachhaltigkeitsstandards der Fraunhofer-Gesellschaft: Der Bieter muss die Fraunhofer-Nachhaltigkeitsstandards für Lieferanten akzeptieren, einschließlich Audits durch Fraunhofer.
KI-Hinweis: Alle Eignungskriterien wurden per KI aus den Vergabeunterlagen extrahiert. Mit TendiGo prüfen Sie in wenigen Minuten, ob Ihr Unternehmen die Anforderungen erfüllt.

Wettbewerb & Angebotsprognose

Erwartete Konkurrenz auf Basis vergleichbarer Vergaben
4–10Angebote erwartet
Median vergleichbarer Vergaben: rund 6 Angebote
Mittlere Konkurrenz
Wahrscheinliche Bieterzahl
1–3 · 27%4–10 · 45%11+ · 28%
Checkliste zur AngebotsabgabeKonkrete Schritte laut Vergabeunterlagen0 von 13 erledigt
Pflichtunterlagen zum Angebot (mit dem Angebot einzureichen)
Auf gesondertes Verlangen einzureichen
Nachweise bei Bietergemeinschaften (falls zutreffend)
Sonstige Hinweise
Mit TendiGo
Finden Sie weitere passende Ausschreibungen und prüfen Sie mit KI, ob Ihr Unternehmen die Anforderungen erfüllt.
Diese Ausschreibung mit KI prüfen
Zur Original-Ausschreibung ↗

Auf einen Blick

Auftraggeber
Fraunhofer ENAS
Ort
09126 Chemnitz, Sachsen
Kategorie
Sachsen
Veröffentlicht
Angebotsfrist
Auftraggeber-Profil ansehen

Erfüllungsort

Ort der Leistung
09126 Chemnitz
Sachsen

Weitere Ausschreibungen Sachsen

Alle anzeigen →
Sachsen

Erweiterung der Netzwerkinfrastruktur

Sächsische Datenschutz- und Transparenzbeauftragte | Landgericht Dresden · DresdenFrist: Sachsen

Tragwerksplanung LP 1-6

Landratsamt Landkreis Leipzig | 1. Vergabekammer des Freistaates Sachsen | Datenservice Öffentlicher Einkauf (in Verantwortung des Beschaffungsamts des BMI) · Borna KesselshainFrist: Sachsen

Errichtung einer intelligenten Energie- und Ladeinfrastruktur für den Busbetrieb Geißler Reisen eGbR

Busbetrieb Geißler Reisen eGbR | 1. Vergabekammer des Freistaates Sachsen bei der Landesdirektion Sachsen | Datenservice Öffentlicher Einkauf (in Verantwortung des Beschaffungsamts des BMI) · EilenburgFrist: Sachsen

Dreifachsporthalle Pestalozzistr. 74, Los 3.017 Prallwand

Stadt Leipzig | 1. Vergabekammer des Freistaates Sachsen bei der Landesdirektion Sachsen | Datenservice Öffentlicher Einkauf (in Verantwortung des Beschaffungsamts des BMI) · LeipzigFrist: Sachsen

Gesamtsanierung und Erweiterung Zentrum für Bildung, Kultur und Soziales Pirna-Sonnenstein; Los 317: Fliesen- und Plattenbeläge

Stadtverwaltung Pirna | 1. Vergabekammer des Freistaates Sachsen bei der Landesdirektion Leipzig | Datenservice Öffentlicher Einkauf (in Verantwortung des Beschaffungsamts des BMI) · PirnaFrist: Sachsen

Gestaltungsleistungen für eine neue Dauerausstellung und öffentlich nutzbare Funktionsräume in den KUNSTSAMMLUNGEN ZWICKAU Max-Pechstein-Museum

Stadtverwaltung Zwickau, Kulturamt | 1.Vergabekammer des Freistaates Sachsen bei der Landesdirektion Sachsen | Datenservice Öffentlicher Einkauf (in Verantwortung des Beschaffungsamts des BMI) · ZwickauFrist:

Bereit für die Zukunft der Vergabe?

Setzen Sie auf den neuen technologischen Standard und verschaffen Sie sich den entscheidenden Vorsprung in der Auftragsakquise.

806+ VergabequellenMit Experten entwickeltSofort einsatzbereit