Ausschreibungen Berlin
Sheet Resistance Measurement Tool
Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf B12Fraunhofer IZM,
Gustav-Meyer-Allee 25,
D - 13355 Berlin, BerlinVeröffentlicht:
Angebotsfrist:
Zusammenfassung
Automatisch erstellt aus den VergabeunterlagenDie Fraunhofer-Gesellschaft (Fraunhofer IZM, Berlin) beschafft ein Sheet Resistance Profilometer für Wafer mit 100 mm bis 300 mm Durchmesser. Das Gerät misst mit der Vier-Punkt-Methode den Schichtwiderstand dünner Metallschichten und erstellt eine Widerstandskarte über die Waferoberfläche.
Was zu tun ist:
Verbindliche Lieferzeit in Kalenderwochen angeben.Technische Details in die vorgegebene Excel-Vorlage eintragen.Eigenerklärungen (Ausschlussgründe, EU-Sanktionen 833/2014, Export-Klassifizierung) unterschrieben einreichen.Mindestens 3 vergleichbare Referenzprojekte ab 2023 nachweisen.Eine der beiden Zahlungsbedingungen klar auswählen.Angebotssumme netto darf 90.000 € nicht überschreiten.
Zeitplan & Fristen
Aus den Vergabeunterlagen extrahiertTermin / FristOKT2026NOVDEZJAN2027
Veröffentlichung5. Okt. 2026
Angebotsfrist26. Okt. 2026
Bankbürgschaft-Eingang4. Dez. 2026
Bindefrist8. Dez. 2026
Lieferung/Abnahme17. Dez. 2026
Eingeschränkte Informationsauskünfte21. Dez. 2026 – 3. Jan. 2027
Wiederaufnahme Betrieb4. Jan. 2027
Vorlagefrist BankbürgschaftDatum offen4 Kalenderwochen nach Zugang des Zuschlagsschreibens.
GewährleistungDatum offen12 Monate ab Abnahme gemäß VOL Teil B §14.
ErsatzteilgarantieDatum offenMindestnachlieferzeit für Ersatzteile: 5 Jahre ab Vertragsabschluss.
vor Angebotsabgabenach Angebotsabgabe
Zuschlagskriterien
Gewichtung laut VergabeunterlagenNiedrigster Preis1 Kriterium
Preis 100%Qualität 0%
- Preis100%
Angebotspreis ohne MwSt. Metrisches Zuschlagskriterium: niedrigster Angebotspreis erhält 100 Punkte, doppelt so hoher Preis 0 Punkte, dazwischen lineare Interpolation. (Aspekte: Lieferzeit)
Niedrigster Angebotspreis erhält 100 Punkte, ein fiktiver doppelt so teurer Preis erhält 0 Punkte, dazwischen lineare Interpolation. (Beispiel: 100.000 € = 100 Pkt., 120.000 € = 80 Pkt., 180.000 € = 20 Pkt., 210.000 € = 0 Pkt.)
KI-Hinweis: Preis 100 % ist als einziges Zuschlagskriterium sowohl im Leistungsverzeichnis (Wertungsschema) als auch im Formblatt B_003 Zuschlagskriterien eindeutig festgelegt; die technische Ausführung enthält ausschließlich Mindestanforderungen (F) bzw. ist nicht weiter gewichtet.
Leistungsumfang
Aus den VergabeunterlagenLiefergegenstand und Lieferadresse
1 Stück Sheet Resistance Profilometer 300mm.Lieferadresse: Fraunhofer IZM, Gebäude 17/3, Gustav-Meyer-Allee 25, 13355 Berlin.Lieferbedingung: DPU Incoterms 2020 (Geliefert benannter Ort), inklusive Verpackung, Versicherung, Installation, Inbetriebnahme und Einweisung.Abnahme im Hause des Anwenders; schriftliches Abnahmeprotokoll.
Messtechnik und Probenhandhabung
Messverfahren: Four-Point Probing mit vier leitfähigen Kontaktstiften.Automatische Drehung und Positionierung der Nadeln; Erstellung einer Wafer-Widerstandskarte.Probenein-/-ausgabe über große Öffnung; Türdesign zur Minimierung von Partikelkontamination.Wafer-Durchmesser 100 mm – 300 mm ohne Chuck-Wechsel; Substratdicke bis 3 mm.
Messbereich, Mapping und Software
2D-Messfähigkeit: programmierbare Schnittstelle mit mindestens 200 Messpositionen.2D- und 3D-Kartierung der Widerstandsverteilung über die Waferoberfläche.Messbereich ca. 2 mΩ – 10 MΩ/sq auf 300-mm-Wafern mit Metallschicht.Integrierte Software-Konvertierung zwischen Widerstand und Sheet Resistance.Messkopf optimiert für dünne Metallschichten; typischer Spulenabstand ca. 1 mm.Windows-basierte GUI (Windows 11 Professional, englisch oder deutsch), automatische Messeinrichtung, manuelle oder rezeptbasierte Datenerfassung.Integrierte Analysemodule: Rezeptautomatisierung, 2D/3D-Darstellung, R²-Werte, radiale Karte, Algorithmen/Filter zur Artefaktentfernung.Mehrere passwortgeschützte Sicherheitsstufen (Operator / Engineer / Wartung).Fehlerdiagnosedateien als Logdatei; Datensicherung per LAN (Windows-Domäne), USB oder DVD.
Aufstellbedingungen, Abgas
Installationsort: Reinraum Klasse ISO 5 (DIN EN ISO 14644).Umgebungsbedingungen: Temperatur 21 °C ± 3 °C, Luftfeuchtigkeit 45 % ± 10 %.Versorgung: N₂ 9 bar, CDA 8 bar.Standby/Abschaltung ohne N₂, Vakuum, CDA und Kühlwasser möglich, ohne Schaden.Stromversorgung: 400 VAC, 3-phasig, 5 Adern, 50 Hz oder 230 VAC, 1-phasig, 3 Adern, 50 Hz.Energiesparmodus für den Rechner erforderlich.
Platzbedarf und Gewicht
Stellfläche System max. ca. 60 cm × 70 cm (ohne PC und Monitor).Max. Höhe × Breite für Einfahrt: 240 cm × 195 cm; Servicekorridorbreite max. 230 cm.Max. Bodenbelastung: 2.500 kg/m² (500 kg Punktlast).Max. Gewicht eines Systemteils / Gesamtsystems: 200 kg.
Installation, Training und Dokumentation
Installation montags bis freitags 08:00–18:00; Fraunhofer IZM stellt qualifizierten Techniker/Ingenieur zur Unterstützung.Training gemäß Lieferbedingungen.Dokumentation auf Deutsch und/oder Englisch (Bedienungsanleitung, Spezifikation der Systemkomponenten, vorbeugende Wartung, Fehlerbehebung), digital als PDF.Bei Lieferung CE-Konformitätserklärung.
Optionale Leistung
Optionale Position: Kalibrierung inkl. Kalibrierproben (Calibration Samples Included).Optionen müssen angeboten werden und unterliegen der Preis- und Technikbewertung.
Eignungskriterien
Geforderte Nachweise laut VergabeunterlagenFirmenprofil und Umsatz
Firmenprofil mit Gründungsjahr, Meilensteinen, Mitarbeiteranzahl und Tätigkeitsbereich (Textform, keine Links oder Bilder).Umsatzangaben für die Geschäftsjahre 2022, 2023 und 2024; falls vorhanden auch 2025.
Vergleichbare Referenzprojekte
Mindestens 3 vergleichbare Referenzprojekte, nicht älter als 2023.Pro Referenz: Kurzbeschreibung des Geräts, Kundenname inkl. Kontaktdaten, Ansprechpartner.Datenschutzrechtliche Bestimmungen stehen der geforderten Kundennennung nicht entgegen.
Eigenerklärungen und Ausschlussgründe
Eigenerklärung zum Nichtvorliegen von Ausschlussgründen nach §§ 123 und 124 GWB (C_002).Eigenerklärung gemäß EU-Verordnung (EU) Nr. 833/2014 – kein Bezug zu Russland (C_004).Erklärung zur MiLoG-Einhaltung (Ausschluss nach § 19 Abs. 1 MiLoG).Ab Auftragssumme ≥ 50.000 €: Abfrage des Wettbewerbsregisters (WBR) gemäß § 6 Abs. 1 WRegG.
Exportkontrolle und Nachhaltigkeit
Export Classification Request Form (C_003) unterschrieben.Angaben zu Ausfuhrliste, EG-Dual-Use-VO 2021/821 Annex I sowie US-Recht (ECCN/EAR bzw. USML).Nachweise zur Einhaltung der Nachhaltigkeitsstandards (NHS) der Fraunhofer-Gesellschaft.
Zuverlässigkeit / Korruptionsprävention
Keine schweren Verfehlungen von Geschäftsführern oder leitenden Angestellten (Straftaten wie Betrug, Bestechung, Subventionsbetrug, wettbewerbsbeschränkende Absprachen).Keine Ausschlussgründe nach §§ 123/124 GWB.
Verfahrens- und Formhinweise
Einzureichende Unterlagen müssen vollständig sein; unvollständige Dokumente können zum Ausschluss führen.Vorgegebene Vordrucke der Vergabestelle sind zu verwenden.Sprache: Deutsch oder Englisch.Elektronische Angebote ohne elektronische Signatur (Textform) sind zugelassen.Bei Rückfragen gelten Fristen: 12 Kalendertage für Bieter / 6 Kalendertage Antwort (offenes Verfahren), bzw. 8 / 4 Kalendertage (nichtoffenes Verfahren).
Referenzprojekte
3 ReferenzenZeitraum: nicht älter als 2023
Mindestens 3 vergleichbare Referenzprojekte zu vergleichbaren Messgeräten
Pro Referenz: Kurzbeschreibung des Geräts, Kundenname inkl. Kontaktdaten, Ansprechpartner; datenschutzrechtliche Bestimmungen stehen der Kundennennung nicht entgegen
KI-Hinweis: Alle Eignungskriterien wurden per KI aus den Vergabeunterlagen extrahiert. Mit TendiGo prüfen Sie in wenigen Minuten, ob Ihr Unternehmen die Anforderungen erfüllt.
Wettbewerb & Angebotsprognose
Erwartete Konkurrenz auf Basis vergleichbarer Vergaben1–3Angebote erwartet
Median vergleichbarer Vergaben: rund 2 Angebote
Wahrscheinliche Bieterzahl
1–3 · 83%4–10 · 16%11+ · 1%
Checkliste zur AngebotsabgabeKonkrete Schritte laut Vergabeunterlagen0 von 25 erledigt
Technische Angebotsunterlagen
Preisblatt / Leistungsverzeichnis
Eignungsnachweis / Selbsterklärungen
Firmenprofil & Referenzen
Optionale / besondere Unterlagen
Mit TendiGo
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Zur Original-Ausschreibung ↗Auf einen Blick
Auftraggeber
Fraunhofer-Gesellschaft, Einkauf B12
Anschrift
13355 Berlin
Ort
13355 Fraunhofer IZM,
Gustav-Meyer-Allee 25,
D - 13355 Berlin
Kategorie
Berlin
Veröffentlicht
Angebotsfrist
Auftraggeber-Website
www.fraunhofer.de ↗Erfüllungsort
Ort der Leistung
13355 Fraunhofer IZM,
Gustav-Meyer-Allee 25,
D - 13355 Berlin
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