Zusammenfassung
Automatisch erstellt aus den VergabeunterlagenBeschaffung eines kompletten ToF-SIMS-Systems (Time-of-Flight Sekundärionen-Massenspektrometer) für die chemische Oberflächen- und Schichtanalytik.
Lieferung, Installation, Inbetriebnahme und betriebsbereite Übergabeinklusive Schulung (mind. 3 Tage) und vollständiger DokumentationEinsatz für 2D-Imaging, Tiefenprofilierung und 3D-Rekonstruktion in Wissenschaft und ForschungAuftraggeber: Institut für Oberflächen- und Schichttechnik GmbH, Kaiserslautern
Zeitplan & Fristen
Aus den Vergabeunterlagen extrahiertDie Angebotsfrist ist abgelaufen.
HEUTE
Termin / FristJUN2026JULAUGSEP
Veröffentlichung
Bieterfragen-Frist
Angebotsfrist
Bindefrist
vor Angebotsabgabenach Angebotsabgabegeschätzt
Zuschlagskriterien
Gewichtung laut VergabeunterlagenPreis & Qualität2 Kriterien
Preis 40%Qualität 60%
- Preis40%
Angebotspreis; niedrigster gewerteter Preis erhält 5 Punkte, doppelter Preis 0 Punkte, dazwischen lineare Interpolation.
- Technische Qualität, Leistungsfähigkeit, Service und Projektumsetzung60%
Bewertung der technischen Übererfüllung der in Dokument 06.Wertungsmatrix Abschnitt 2 definierten Anforderungen anhand einer Skala von 0-5 Punkten je Einzelanforderung, multipliziert mit dem jeweiligen Wichtungsfaktor.
Gesamt = (P × 0,40) + (WPtech × 0,60), maximal 5 Punkte. P (Preispunkte): P = 5 × (2 - WPBieter/WPmin) für WPBieter zwischen WPmin und 2×WPmin, sonst P=0. WPtech = Summe (PEinzelanforderung × WFEinzelanforderung). Bei Punktgleichheit erhält das preislich günstigere Angebot den Zuschlag.
KI-Hinweis: Die beiden Hauptkriterien (Preis 40%, Technische Qualität 60%) sind vollständig beschrieben; die konkreten Einzelanforderungen und ihre individuellen Wichtungsfaktoren innerhalb des 60%-Blocks sind im Dokument 06.Wertungsmatrix enthalten, das hier nicht vorliegt.
Leistungsumfang
Aus den VergabeunterlagenGesamtumfang der Lieferung und Erbringung
Was geliefert wird:
Ein vollständiges ToF-SIMS-System (Time-of-Flight Secondary Ion Mass Spectrometer) als betriebsbereites GesamtsystemInkl. Lieferung, Installation, Inbetriebnahme und betriebsbereiter ÜbergabeInkl. Einweisung/Schulung (mind. 3 Tage) für Bedien- und WartungspersonalInkl. vollständiger Systemdokumentation (Bedienung, Wartung, Sicherheit)Inkl. Initialausstattung/Verbrauchsmaterialien
Was es kann (Einsatzbereiche):
Hochaufgelöste chemische Oberflächencharakterisierung2D-Bildgebung (Large-Area Imaging / Stitching) mit lateraler Auflösung < 100 nmTiefenprofilanalyse durch kontrollierten Materialabtrag3D-chemische RekonstruktionAnalytik verschiedener Materialklassen (Metalle, Legierungen, Halbleiter, Gläser, Keramiken, Polymere)Wissenschaftliche Forschung, Auftragsforschung und Industriekooperationen
Datenmanagement:
Strukturierte Erfassung von MessdatenExport in nicht-proprietäre Formate (XML, CSV)Schnittstellen zu ELN/LIMS und dokumentierte Skript-API (Python) für Automatisierung
Vakuumsystem und Probenhandling
UHV-Analysekammer und Vakuumtechnik:
Ultrahochvakuum (UHV) mit Basisdruck ≤ 2 × 10⁻⁹ mbarAusheizbares SystemTurbomolekularpumpen mit Magnetlager, ölfreie VorpumpenNEG-Pumpen und Buffer-Chamber zur Aufrechterhaltung des UHVUHV-Parkposition für ProbenBis zu 5 verschiedene Ionenquellen einsetzbarOptischer Zugang für externe Strahlquellen (z.B. Laser)Kompatibilität mit IFOS Inert-Transfersystem (DN40CF Flansch)Erweiterbarkeit für Präparations-Station, Laserablation, Zalar-Rotation
Probenhandling:
Proben-Einführschleuse für Wafer bis 300 mmMotorisierter 5-Achsen-UHV-Probenhalter (Verfahrwege: X ≥ 75 mm, Y ≥ 100 mm, Z ≥ 20 mm; Neigung −10° bis +30°, Drehung ±180°)Probenhöhe ≥ 10 mmBeobachtungssystem (Kamera)Temperaturkontrolle des Probenhalters: −150 °C bis +600 °C
Umgebungsbedingungen am Aufstellort:
Betriebstemperatur 18–25 °CRelative Luftfeuchte 30–65 %Vibrationsarme Aufstellung
TOF-Analysator und massenspektrometrische Leistung
Analysator-Hardware:
TOF-Analysator mit Energiefokussierung höherer OrdnungDynamische EmittanzanpassungNachbeschleunigungsoptikKombinierter Ionen-DetektorTDC (Time-to-Digital Converter) mit Wiederholrate ≥ 25 kHz
Analytische Leistungsdaten (Mindestanforderungen):
Massenauflösung: ≥ 15.000 bei Silizium, ≥ 20.000 für Massen > 200 amuDynamischer Nachweisbereich: ≥ 10⁶Massengenauigkeit: < 2 mu bei Massen < 100 u / < 10 ppm bei Massen > 100 uMS/MS-Funktionalität (Tandem-MS)Ladungskompensation für isolierende ProbenNachweisgrenze Bor in Silizium: ≤ 1 × 10¹⁶ cm⁻³
Ionenquellen und Analytik-Modi
Standard-Ionenquellen:
30-kV Bi-Cluster-Ionenkanone (Wismut-Cluster)Gasclusterquelle (Ar/O₂-Cluster, 2–15 keV, Clustergröße > 1000) für organische MaterialienSputterbetrieb mit Cs, O₂ und Edelgasen
Optionale Erweiterungen:
FIB-Option (Focused Ion Beam) über LMIG-Quelle (z.B. Gallium) mit FIB-Schneiden, FIB-Tomographie und Elektronenbild
Analytische Modi:
Laterale Auflösung < 100 nmLarge-Area Imaging / Stitching3D-chemische RekonstruktionTiefenprofilanalyse durch Sputterabtrag
Software und Steuerung
Vollständige Steuerungssoftware für alle SystemkomponentenDatenerfassung und Auswertung der ToF-SIMS-MessungenRollenbasierte BenutzerverwaltungTrigger- und SynchronisationsschnittstellenSchnittstellen zu ELN/LIMS-SystemenExport in XML und CSV (offene Datenformate)Offline-Auswertung der MessdatenDokumentierte Skript-API (Python) für erweiterte AutomatisierungKompatibilität mit Windows 11 Pro
Lieferung, Installation, Schulung und Service
Lieferung und Inbetriebnahme:
Komplette Lieferung inkl. VerpackungInstallation und Inbetriebnahme vor OrtStabile Betriebsphase vor Abnahme: mind. 1 Woche fehlerfreier BetriebVerbindliche Lieferzeit (vom Bieter in Monaten ab Auftragserteilung anzugeben)
Schulung:
Mindestens 3 Tage Einweisung/Schulung für Bedien- und WartungspersonalSchulungskonzept mit Umfang und Teilnehmerzahl
Service und Gewährleistung:
Gewährleistung: mindestens 12 Monate ab AbnahmeWartungskonzept mit Reaktionszeiten und technischem SupportSoftwarepflege / Langzeit-Support: mindestens 10 JahreErsatzteilversorgung: mindestens 10 Jahre (optional bis 15 Jahre)
Hinweis zu Gebraucht-/Vorführgeräten:
Bei Angebot von Vorführ- oder Gebrauchtgeräten gelten die Mindestanforderungen uneingeschränkt; zusätzlich sind Baujahr, Betriebsdauer und Wartungshistorie anzugeben.
Eignungskriterien
Geforderte Nachweise laut VergabeunterlagenFachliche Eignung – Referenzen
Vergleichbare Referenzen (Pflicht):
Vorlage von 3 Referenzen zu vergleichbaren InstallationenArt der Referenzen: Lieferung und Inbetriebnahme eines ToF-SIMS oder eines funktional vergleichbaren SystemsEinzureichen über Vorlage gemäß Dokument 04
Auswahlkriterium (lt. Stammdaten): qualifikationsbasierte Auswahl mit Referenzen für Lieferungen (slc-abil-ref-supply)
Zuschlagskriterium
Zuschlag auf das wirtschaftlichste Angebot nach dem Kriterium Preis (niedrigster Preis)Technische und wertungsrelevante Anforderungen sind über die Wertungsmatrix als Mindestanforderungen (Pass/Fail) zu erfüllen; darüber hinausgehende technische Übererfüllung wird zusätzlich bewertet (Ü01–Ü17)
Formale und rechtliche Anforderungen
Pflichtangaben und Erklärungen:
Vollständig ausgefülltes Angebotsformular (Dok. 02) mit UnterschriftEigenerklärungen (Dok. 03), ggf. inkl. Sanktionserklärung nach Art. 5k VO (EU) 833/2014Alle Angaben korrekt und wahrheitsgemäß (Unzutreffende Angaben können nach § 124 Abs. 1 Nr. 8 GWB zum Ausschluss führen)
Elektronische Einreichung:
Angebotsabgabe in Textform gemäß § 53 VgV über die DTVP-VergabeplattformDateien frei von Makros und Schadsoftware
Sprache: Deutsch
Ausschlusskriterien
Das Angebot wird ausgeschlossen bei:
Nicht form- oder fristgerechter EinreichungNichterfüllen der Formerfordernisse gem. § 53 VgVEinreichung von Allgemeinen Geschäftsbedingungen (AGB) des BietersWettbewerbsbeschränkenden AbsprachenUnzutreffenden Angaben (gem. § 124 Abs. 1 Nr. 8 GWB)Fehlenden oder nicht nachgereichten Erklärungen/Nachweisen (gem. § 57 Abs. 1 Nr. 2 VgV)Änderungen oder Ergänzungen an den VergabeunterlagenFehlender geforderter oder nachgeforderter Erklärungen/Nachweise – Nachforderung durch Vergabestelle vorbehalten (gem. § 56 VgV)
Technische Eignung (Mindestanforderungen aus Wertungsmatrix)
Das System muss sämtliche technischen Muss-Anforderungen (M01–M62) erfüllen, u.a.:
Vakuumsystem: UHV-Betrieb mit Magnetlager-Turbopumpen, Basisdruck ≤ 2 × 10⁻⁹ mbar, ausheizbarProbenhandling: IFOS-Inert-Transfersystem-kompatibel (DN40CF), 5-Achsen-Probenhalter gem. Spezifikation, Schleuse für 300 mmAnalytische Leistung: TDC ≥ 25 kHz, Massenauflösung ≥ 15.000 (Si) und ≥ 20.000 (>200 amu), dynamischer Bereich ≥ 10⁶, MS/MSIonenquellen: Bi-Cluster (30 kV), Gascluster (Ar/O₂), Sputter (Cs/O₂/Edelgase), laterale Auflösung < 100 nmSoftware: Vollsteuerung, Datenerfassung, Benutzerverwaltung, Export (XML/CSV), Offline-Auswertung, Windows 11 ProSicherheit: CE-Konformität, elektr. Sicherheit, EMV, Not-Aus, Prozessgas-HandlingService: Gewährleistung ≥ 12 Monate, Wartungskonzept, Softwarepflege ≥ 10 Jahre, Ersatzteilversorgung ≥ 10 JahreUmwelt: Betrieb 18–25 °C, 30–65 % r. F., Medienanschlüsse und Vibrationsverhalten anzugeben
Referenzprojekte
3 ReferenzenZeitraum: nicht spezifiziertVolumen: nicht spezifiziert
Lieferung und Inbetriebnahme eines ToF-SIMS oder eines funktional vergleichbaren Massenspektrometer-Systems
Vorlage gemäß Dokument 04; vergleichbare Installationen mit ähnlicher Funktionalität
KI-Hinweis: Alle Eignungskriterien wurden per KI aus den Vergabeunterlagen extrahiert. Mit TendiGo prüfen Sie in wenigen Minuten, ob Ihr Unternehmen die Anforderungen erfüllt.
Wettbewerb & Angebotsprognose
Erwartete Konkurrenz auf Basis vergleichbarer Vergaben1–3Angebote erwartet
Median vergleichbarer Vergaben: rund 2 Angebote
Wahrscheinliche Bieterzahl
1–3 · 61%4–10 · 26%11+ · 13%
Unternehmen mit ähnlichen Zuschlägen
Aus vergleichbaren, bereits vergebenen Vergaben (KI-Ähnlichkeit)Checkliste zur AngebotsabgabeKonkrete Schritte laut Vergabeunterlagen0 von 23 erledigt
Formale Angebotsunterlagen
Technische Nachweise
Liefer-, Projekt- und Abnahmeplanung
Service und After-Sales
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Auf einen Blick
Auftraggeber
Institut für Oberflächen-und Schichttechnik GmbH | eureos gmbh steuerberatungsgesellschaft rechtsanwaltsgesellschaft | Vergabekammer Rheinland-Pfalz, c/o Ministerium für Wirtschaft, Tourismus, Energie und Klima des Landes Rheinland-Pfalz
Anschrift
67663 Kaiserslautern
Ort
67663 Kaiserslautern
Kategorie
Laborleistungen & Analytik
Veröffentlicht
Angebotsfrist
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