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Atomic Layer Deposition (ALD)-Anlage

Technische Universität München | Regierung von Oberbayern Vergabekammer SüdbayernGarching, BayernVeröffentlicht:
Angebotsfrist: abgelaufen

Zusammenfassung

Automatisch erstellt aus den Vergabeunterlagen

Die Technische Universität München (Standort Garching) beschafft im offenen Verfahren eine Atomic Layer Deposition (ALD)-Anlage für Forschungsarbeiten. Geschätzter Auftragswert: 484.874 EUR.

Kurz zusammengefasst:

Lieferung einer ALD-Beschichtungsanlage nach GarchingAngebote müssen bis 13.07.2026 um 23:59 Uhr elektronisch über das Deutsche Vergabeportal (DTVP) eingereicht werdenBewertung der Angebote: Preis (40%), Qualität/Technik (40%), Kundendienst (20%)Mehrere Pflichtformulare und Eigenerklärungen sind mit dem Angebot einzureichenEs wird nur 1 Los vergeben
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Zeitplan & Fristen

Aus den Vergabeunterlagen extrahiert
Die Angebotsfrist ist abgelaufen.
HEUTE
Termin / FristJUN2026 AUG OKT DEZ FEB APR JUN
Veröffentlichung8. Juni 2026
Veröffentlichung eForms9. Juni 2026
Bieterfragen-Frist6. Juli 2026
Angebotsfrist13. Juli 2026
Rügefristca. 13. Juli – 23. Juli 2026
Angebotsgültigkeit13. Juli – 13. Aug. 2026
Angebotsöffnungca. 14. Juli 2026
Bindefristca. 14. Juli – 13. Aug. 2026
Vertragsbeginnca. 14. Juli 2026
Vertragslaufzeitca. 14. Juli 2026 – 13. Juli 2027
Vertragsendeca. 13. Juli 2027
vor Angebotsabgabenach Angebotsabgabegeschätzt

Zuschlagskriterien

Gewichtung laut Vergabeunterlagen
Preis & Qualität3 Kriterien
Preis 40%Qualität 60%
  • Preis40%

    Angebotspreis: niedrigster Preis erhält 4 Punkte, beim (mindestens) 2,0-fachen des niedrigsten Preises 0 Punkte, dazwischen lineare Interpolation.

  • Qualität40%

    Bewertung von vier technischen Anforderungen (Loadlock/Glovebox-Integration, Präkursoren mit niedrigem Dampfdruck, Ozon-Generator, nachrüstbarer Substratheizer auf mind. 700°C). Je erfüllte Anforderung 1 Teilpunkt, max. 4 Teilpunkte.

  • Kundendienst und technische Hilfe20%

    Bewertung von vier Service-Anforderungen (Rückmeldezeit <8h, technische Unterstützung <24h, Vor-Ort-Service ≤3 Werktage, Ersatzteillieferung <2 Kalenderwochen). Je erfüllte Anforderung 1 Teilpunkt, max. 4 Teilpunkte.

Preis-Punktzahl = Höchstpunktzahl x (2 – (angebotener Preis/niedrigster Preis)). Niedrigster Preis = 4 Punkte; beim 2,0-fachen des niedrigsten Preises = 0 Punkte; dazwischen lineare Interpolation.

KI-Hinweis: Alle Zuschlagskriterien, Gewichtungen, Bewertungsmaßstäbe und Formeln sind vollständig dokumentiert.

Leistungsumfang

Aus den Vergabeunterlagen

Allgemeiner Auftragsgegenstand

Lieferung einer Atomic Layer Deposition (ALD)-Anlage für ForschungszweckeLieferort: Garching (85748), DeutschlandArt der Leistung: Lieferauftrag (supplies)Vertragslaufzeit: 1 Jahr ab VertragsbeginnEs handelt sich um 1 Los ohne weitere Losaufteilung

Technische Anforderungen (aus Zuschlagskriterien ableitbar)

Aus den Wertungskriterien lassen sich folgende technische Anforderungen bzw. gewünschte Eigenschaften ableiten. Die endgültige Spezifikation steht in der Leistungsbeschreibung (Anlage 3):

Integration einer Loadlock mit Glovebox – Schnittstelle zur späteren Nachrüstung/AnbindungAbscheidung mit Präkursoren mit niedrigem DampfdruckOzon-GeneratorSubstratheizer für maximale Substrattemperatur ≥ 700 °C – Vorsehung für spätere Nachrüstung

Lieferung & Inbetriebnahme

Lieferung der Anlage an den Erfüllungsort GarchingAufstellung und Inbetriebnahme am ForschungsstandortSchulung/Betriebsanleitung wird vom Lieferanten erwartet (deckt sich mit dem Wertungskriterium Kundendienst/technische Hilfe)

Eignungskriterien

Geforderte Nachweise laut Vergabeunterlagen

Ausschlussgründe (zwingend zu erklären)

Der Bieter muss erklären, dass keine Ausschlussgründe vorliegen:

Keine rechtskräftige Verurteilung wegen bestimmter Straftaten in den letzten 5 Jahren (u.a. Bestechung, Betrug, Geldwäsche, Menschenhandel, Zwangsarbeit)Keine Geldbuße nach § 30 OWiG in den letzten 5 JahrenErfüllung der Pflichten zur Zahlung von Steuern, Abgaben und SozialversicherungsbeiträgenKeine Verstöße gegen umwelt-, sozial- oder arbeitsrechtliche Verpflichtungen bei früheren öffentlichen Aufträgen (letzte 3 Jahre)Keine Zahlungsunfähigkeit / kein Insolvenzverfahren / keine LiquidationKeine schwere Verfehlung im Rahmen der beruflichen TätigkeitKeine wettbewerbsbeschränkenden AbsprachenKeine wesentliche mangelhafte Erfüllung eines früheren öffentlichen AuftragsKeine Geldbuße ≥ 2.500 EUR nach AEntG, § 404 SGB III, MiLoGKeine Verurteilung zu Freiheitsstrafe > 3 Monate oder Geldstrafe > 90 Tagessätze nach SchwarzArbGKeine Ordnungswidrigkeit nach LkSGRussland-Sanktionen (EU-VO 2022/576): weder der Bieter noch Unterauftragnehmer/Lieferanten mit >10% Auftragswert dürfen unter die Sanktionsregelung fallen

Wirtschaftliche und finanzielle Eignung

Betriebshaftpflichtversicherung mit Mindestdeckungssummen für Personen- und Sachschäden; jährliche Maximierung mindestens das Zweifache der Deckungssumme; Versicherer muss in EU/EWR zugelassen sein. Bei Unterschreitung Erklärung, dass im Auftragsfall angepasst wird. Nichterfüllung führt zum Ausschluss.Gesamtumsatz der letzten 3 abgeschlossenen Geschäftsjahre ist zu erklären (netto, in EUR). Bei Bietergemeinschaften werden die Umsätze aller Mitglieder addiert.

Fachliche Eignung / Referenzen

Mindestens 3 vergleichbare Referenzen aus den letzten 3 abgeschlossenen GeschäftsjahrenPro Referenz: Leistungsbeschreibung, Leistungszeitraum, Auftragswert, Auftraggeber (mit Ansprechpartner und Telefonnummer)

Formale Anforderungen

Angebote sind elektronisch über das Deutsche Vergabeportal (DTVP) einzureichen, in der Regel über das Bietertool mit OSCI-Signatur/VerschlüsselungAngebotssprache: Deutsch (oder wie in den Vergabeunterlagen vorgegeben)Preise ohne Umsatzsteuer, max. 2 NachkommastellenKeine Bieterkaution gefordertKeine Sicherheitsüberprüfung gefordertEine bestimmte Rechtsform des Bieters ist nicht vorgeschriebenDer Auftraggeber kann fehlende/unvollständige/fehlerhafte Unterlagen nachfordern
Referenzprojekte
mindestens 3 ReferenzenZeitraum: letzte 3 abgeschlossene Geschäftsjahre

Mindestens 3 vergleichbare Referenzen aus den letzten 3 abgeschlossenen Geschäftsjahren (vergleichbar im Sinne der Ausschreibung – konkrete Vergleichbarkeit wird im Formblatt als Platzhalter geführt)

Pro Referenz anzugeben: Leistungsbeschreibung, Leistungszeitraum, Auftragswert, Auftraggeber (mit Ansprechpartner und Telefonnummer). Bei Bietergemeinschaften und Eignungsleihe gelten gesonderte Regeln (Mitglieder/Verleiher müssen ggf. eigene Erklärungen abgeben).

KI-Hinweis: Alle Eignungskriterien wurden per KI aus den Vergabeunterlagen extrahiert. Mit TendiGo prüfen Sie in wenigen Minuten, ob Ihr Unternehmen die Anforderungen erfüllt.

Wettbewerb & Angebotsprognose

Erwartete Konkurrenz auf Basis vergleichbarer Vergaben
1–3Angebote erwartet
Median vergleichbarer Vergaben: rund 2 Angebote
Geringe Konkurrenz
Wahrscheinliche Bieterzahl
1–3 · 39%4–10 · 30%11+ · 31%
Checkliste zur AngebotsabgabeKonkrete Schritte laut Vergabeunterlagen0 von 19 erledigt
Angebotsabgabe – Formalitäten
Pflicht-Formulare (vom Bieter auszufüllen)
Eignungsnachweise
Falls Unterauftragnehmer / Eignungsleihe / Bietergemeinschaft
Auf Verlangen des Auftraggebers
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Auf einen Blick

Auftraggeber
Technische Universität München | Regierung von Oberbayern Vergabekammer Südbayern
Anschrift
80333 München
Ort
85748 Garching
Kategorie
Bayern
Veröffentlicht
Angebotsfrist

Erfüllungsort

Ort der Leistung
85748 Garching
Bayern

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