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Dauerstrichlaserheizsystem zur schnellen thermischen Probenbehandlung vor/nach Ionenimplantation im UHV; inkl. System zur Probenmanipulation/Positionierung

Technische Universität Ilmenau, Dezernat Finanzen, Zentrale VergabestelleIlmenau, ThüringenVeröffentlicht:
Angebotsfrist:

Zusammenfassung

Automatisch erstellt aus den Vergabeunterlagen

Worum es geht: Die Technische Universität Ilmenau beschafft ein fabrikneues Dauerstrichlaser-Heizsystem (CW-Laser) mit Probenmanipulator. Es dient der schnellen thermischen Behandlung von Proben im Ultrahochvakuum (UHV), vor oder nach einer Ionenimplantation. Einsatzgebiet ist die Forschung in Oberflächenphysik und Materialwissenschaften, z. B. zu Dotierung und Defektheilung.

Was gefordert wird:

Laser mit 440–1080 nm, mindestens 70 W, Spotdurchmesser 5–9 mmKoaxiales Pyrometer (300–1250 °C) und Thermoelementmessung, Regelung mit geschlossenem RegelkreisProbenmanipulator mit mindestens 3 ProbenpositionenFasern (Laser und Pyrometer) mit jeweils mindestens 5 m LängeLieferung DDP Aufstellort, Aufbau, Inbetriebnahme, Einweisung und AbnahmeAnpassung an die Versuchskammer (DN200CF) auf Kosten des AuftragnehmersGarantie mindestens 24 Monate (bewertet bis 48 Monate)

Verfahren: Öffentliche Ausschreibung nach UVgO, ohne Lose, Nebenangebote nicht zugelassen. Die Bewertung erfolgt zu 30 % über den Preis und zu 70 % über Leistungskriterien. Die Zuschlagskriterien selbst (Formblatt 227) sind in den vorliegenden Unterlagen nicht enthalten.

Frist: Angebotsabgabe bis 11.11.2026, 09:30 Uhr, elektronisch über die Vergabeplattform.

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Zeitplan & Fristen

Aus den Vergabeunterlagen extrahiert
Angebotsfrist: 11. November 2026
Termin / FristOKT2026NOVDEZ
Veröffentlichung16. Okt. 2026
Aufforderung zur Angebotsabgabe16. Okt. 2026
Letzte Aktualisierung der Unterlagen16. Okt. 2026
Angebotsfrist11. Nov. 2026
Bindefristca. 11. Nov. – 11. Dez. 2026
Mängelhaftung MindestfristDatum offenMindestens 24 Monate ab erfolgreicher Inbetriebnahme; Datum der Inbetriebnahme ist unbekannt.
Mängelhaftung 36 MonateDatum offenOptional bewertet (gut): 36 Monate ab erfolgreicher Inbetriebnahme.
Mängelhaftung 48 MonateDatum offenOptional bewertet (exzellent): 48 Monate ab erfolgreicher Inbetriebnahme.
ErstschulungDatum offenDauer 1–2 Tage direkt nach der Installation; Datum ist unbekannt.
Rückmeldung bei StörungDatum offenReaktionszeit 24 Stunden bzw. 2–3 Werktage ab Eingang des Tickets.
Ausführungsunterlagen KammerDatum offenVorlage nach Zuschlagserteilung rechtzeitig, es ist keine konkrete Frist genannt.
vor Angebotsabgabenach Angebotsabgabegeschätzt

Zuschlagskriterien

Gewichtung laut Vergabeunterlagen
Preis & Qualität16 Kriterien
Preis 30%Qualität 70%
  • Preis30%

    Niedrigster Nettoangebotspreis erhält maximale Preispunktzahl (300 Punkte), alle weiteren Angebote erhalten Preispunkte nach Formel P = Pmin/PAngebot × Pmax.

  • Leistungskriterien (gesamt)70%

    Bewertung der Leistungskriterien auf einer Skala von 1 (ausreichend) bis 3 (hervorragend). LPi = Si/3 × LPmax,i. Gesamt: 700 Punkte.

Preispunkte: P = Pmin / PAngebot × Pmax (Pmax=300). Leistungspunkte je Kriterium: LPi = Si/3 × LPmax,i (Si=1,2 oder 3). Gesamtwertungspunktzahl: WP = P + LPges. Maximal 1000 Punkte (300 Preis + 700 Leistung).

KI-Hinweis: Alle Zuschlagskriterien, Gewichtungen, Unterkriterien und Bewertungsformeln sind vollständig in den Vergabeunterlagen (Leistungsbeschreibung Abschnitt 5 und Anlage 2 Bewertungsmatrix) dokumentiert.

Leistungsumfang

Aus den Vergabeunterlagen

Lieferumfang Gerät

Integrierte Dauerstrichlaser-Pyrometer-Einheit, fasergekoppelt, mit koaxialer Temperaturmessung im LaserspotMontage an zwei UHV-FlanschenSteuerung und Regelung mit geschlossenem Regelkreis über Pyrometer oder Thermoelement, inklusive Software und Bedienoberfläche (GUI)Probenmanipulator mit motorisiertem Z-Hub und RotationThermisch entkoppelte Aufnahmen für mindestens 3 Proben, integrierte UHV-taugliche Thermoelement-SensorikSicherheitseinrichtungen: Laserabschottung, Not-Aus, erweiterbarer InterlockOptikmodul, Laser- und Pyrometerfasern (je mindestens 5 m)Technische Eckdaten laut Leistungsverzeichnis: Laserleistung mindestens 70 W, Laserspot 5–9 mm, Pyrometer-Messbereich 300–1250 °C, Probenhalter mit 3–4 Proben je Halter (max. 10 × 10 mm²)

Nicht im Lieferumfang

Das PC-System zur Steuerung ist nicht Bestandteil der Lieferung

Leistungen rund um die Lieferung

Lieferung DDP AufstellortVollständiger Aufbau und betriebsbereite InbetriebnahmeEinweisung des Bedienpersonals in Bedienung und regelmäßige WartungAnpassung an die finale Versuchskammer (DN200CF) auf Kosten des AuftragnehmersNachweis der Funktion als lokales Laserheizsystem mit Temperaturerfassung und -regelung

Abnahme und Dokumentation

Abnahme mit Protokoll zu: Temperaturleistung (Maximaltemperaturen, Heiz- und Kühlraten), Pyrometerkalibrierung auf verschiedene Substrate, Positionswechsel von Lasereinheit und ManipulatorDokumentation in Deutsch oder Englisch, gedruckt und als PDF: Bedienungs- und Wartungsanleitungen, Softwaredokumentation, Wartungsplan, Ersatzteilliste mit BestellnummernMängelhaftung mindestens 24 Monate ab erfolgreicher Inbetriebnahme (bewertet bis 48 Monate)Erstschulung direkt nach Installation (Dauer 1–2 Tage bzw. 2–3 Stunden)Störungsrückmeldung innerhalb von 24 Stunden bzw. 2–3 Werktagen (bewertet)

Eignungskriterien

Geforderte Nachweise laut Vergabeunterlagen

Formale Nachweise bei Angebotsabgabe

Ausgefüllte Eigenerklärung zur Eignung (124_LD) oder Einheitliche Europäische EigenerklärungUnterschriebene Eigenerklärung zum Thüringer VergabegesetzAngaben zu Kapazitäten Dritter (Formular 235), falls zutreffend

Nachweise für engere Wahl

Bieter in der engeren Wahl müssen die Eigenerklärungen durch Bescheinigungen der zuständigen Stellen bestätigenGgf. mit Übersetzung ins Deutsche oder Eintrag im amtlichen Verzeichnis bzw. Zertifikat

Gewerberecht und Gewerbezentralregister

Gewerberechtliche Voraussetzungen für die Ausführung müssen erfüllt seinBei einer Auftragssumme über 30.000 Euro fordert die Vergabestelle beim Zuschlagsbieter einen Auszug aus dem Gewerbezentralregister anEine Sicherheitsauskunft ist nicht gefordert

Technische Ausschlusskriterien A01–A16

Alle Kriterien sind zwingend. Ein Angebot, das eines davon nicht erfüllt, wird ausgeschlossen.

A01 CE-Kennzeichnung und EU-Konformitätserklärung für das GesamtsystemA02 Kompatibilität mit der Versuchskammer (Anlage 1)A03 Fabrikneugerät aus aktueller ProduktionA04 Vakuumtauglichkeit, Ausheizbarkeit mindestens 150 °CA05 Wellenlänge 440–1080 nm, mindestens 70 W AusgangsleistungA06 Feinstufige Regelbarkeit mit Schritten von höchstens 1 % der NennleistungA07 Koaxiale Pyrometrie im Freistrahl, Pilotlaser an beiden Strahlengängen, keine Fasern im VakuumA08 Laserspot 5–9 mm Durchmesser auf beiden PositionenA09 3 Probenhalter mit Thermoelementmessung, freie RückseitenoptikA10 Spektrale Durchlässigkeit der Vakuum-Schaugläser auf 440–1080 nm und Pyrometer abgestimmtA11 Externe Fasern für Laser und Pyrometer, jeweils mindestens 5 m NutzlängeA12 Geschlossenes Optikmodul, dejustagefrei bei FlanschwechselA13 Laserschutzklasse 1 im Heizbetrieb, mechanischer Schutz externer KomponentenA14 Erweiterbarer Interlockkreis über potentialfreie KontakteA15 PID-basierte Closed-Loop-RegelungA16 Pyrometer-Messbereich 300–1250 °C

Bewertungskriterien (Leistung, 70 %)

Hardware (max. 350 Punkte): Wellenlänge, Spotgröße, Ausgangsleistung, Pyrometer-Samplerate, thermische Entkopplung, Z-Positioniergenauigkeit, Flansch-RotationRegelung und Software (max. 280 Punkte): Funktionsumfang, offene Schnittstellen, Betriebssystem-Kompatibilität, Einstellbarkeit der GUIService, Support, Schulung (max. 70 Punkte): Mängelhaftung, Reaktionszeit, Schulungsumfang, LizenzmodellDie Zuschlagskriterien (Formblatt 227) sind in den vorliegenden Unterlagen nicht enthalten
KI-Hinweis: Alle Eignungskriterien wurden per KI aus den Vergabeunterlagen extrahiert. Mit TendiGo prüfen Sie in wenigen Minuten, ob Ihr Unternehmen die Anforderungen erfüllt.

Wettbewerb & Angebotsprognose

Erwartete Konkurrenz auf Basis vergleichbarer Vergaben
1–3Angebote erwartet
Median vergleichbarer Vergaben: rund 2 Angebote
Geringe Konkurrenz
Wahrscheinliche Bieterzahl
1–3 · 89%4–10 · 11%11+ · 0%
Checkliste zur AngebotsabgabeKonkrete Schritte laut Vergabeunterlagen0 von 29 erledigt
Teilnahme und Form der Abgabe
Formulare und Erklärungen
Technische Nachweise und Angaben
Preis und Kalkulation
Nach Zuschlag
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Auf einen Blick

Auftraggeber
Technische Universität Ilmenau, Dezernat Finanzen, Zentrale Vergabestelle
Anschrift
98693 Ilmenau
Ort
98693 Ilmenau
Kategorie
Thueringen
Veröffentlicht
Angebotsfrist
Auftraggeber-Website
www.tu-ilmenau.de ↗

Erfüllungsort

Ort der Leistung
98693 Ilmenau
Thüringen

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