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DIW Cleaning Tool (ENAS-07.7) - PR1209507-3340-P

Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12 | Vergabekammern des Bundes | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Datenservice Öffentlicher Einkauf (in Verantwortung des Beschaffungsamts des BMI)Chemnitz, SachsenVeröffentlicht:
Angebotsfrist:

Zusammenfassung

Automatisch erstellt aus den Vergabeunterlagen

Die Fraunhofer-Gesellschaft beschafft im Verhandlungsverfahren mit Teilnahmewettbewerb ein fabrikneues DIW Cleaning Tool (ENAS-07.7) für das Fraunhofer-Institut für Elektronische Nanosysteme ENAS in Chemnitz.

Das Gerät dient zur Nassreinigung von 200 mm Wafern und gesägten Wafern auf Tape Frames mit deionisiertem Wasser (DIW) und verdünnten Säuren. Es wird inklusive Installation, Inbetriebnahme und Einweisung geliefert.

Zentrale Termine und Modalitäten:

Teilnahmefrist (elektronische Einreichung): 04.09.2026, 10:00 Uhr (MESZ)Liefer-/Ausführungszeitraum: 27.06.2028 – 28.06.2028 (2 Tage)Sprache: Deutsch (Englisch zusätzlich zulässig)Bewertung: Preis 35 %, Technische Ausführung 55 %, Nachhaltigkeit 10 %

Wesentliche Anforderungen an die Bieter:

Unterschriebene Eigenerklärungen (keine Ausschlussgründe nach § 123/§ 124 GWB, Russland-Sanktionen gemäß EU-VO 833/2014)Firmenprofil, Umsatzangaben der letzten 3 JahreMindestens 3 vergleichbare Referenzprojekte (nicht älter als 3 Jahre)Vollständiges Leistungsverzeichnis mit Lieferzeit, Preisen und Hersteller-Teilenummer
Ausschreibung ansehen

Zeitplan & Fristen

Aus den Vergabeunterlagen extrahiert
Aktive Ausschreibung
HEUTE
Termin / FristAUG2026 NOV FEB MAI AUG NOV FEB MAI
Veröffentlichung4. Aug. 2026
Bieterfragen-Fristca. 27. Aug. 2026
Bieterfragen-Beantwortungca. 31. Aug. 2026
Teilnahmefrist4. Sep. 2026
Bankbürgschaftca. 4. Sep. – 2. Okt. 2026
Dokumentationslieferungca. 27. Dez. 2027
Werksabnahmeca. 16. Mai 2028
Vertragsbeginn27. Juni 2028
Vertragsende28. Juni 2028
Gewährleistungca. 28. Juni 2028 – 28. Juni 2029bis 2029
Ersatzteilhaltungca. 28. Juni 2028 – 28. Juni 2038bis 2038
vor Angebotsabgabenach Angebotsabgabegeschätzt

Zuschlagskriterien

Gewichtung laut Vergabeunterlagen
Preis & Qualität3 Kriterien
Preis 35%Qualität 65%
  • Preis35%

    Angebotspreis ohne MwSt, bewertet über lineare Interpolation: niedrigster Preis erhält volle Punktzahl, doppelt so hoher Preis 0 Punkte.

  • Technische Ausführung des Produktes / der DL55%

    Technische Ausführung des Produktes bzw. der Dienstleistung, bewertet anhand einer nicht-metrischen Punkteskala (0-100) mit Notenvergabe relativ zur besten Lösung.

  • Nachhaltigkeit / Sustainability10%

    Nachhaltigkeitsaspekte des Angebots, bewertet anhand einer nicht-metrischen Punkteskala (0-100).

Metrische Kriterien (z.B. Preis): Lineare Interpolation – niedrigster Wert erhält volle Punktzahl, ein doppelt so hoher Wert erhält 0 Punkte, dazwischen lineare Interpolation. Nicht-metrische Kriterien: Bewertung anhand einer Punkteskala von 0 bis 100 mit abgestuften Noten (100%=sehr gut, 80%=gut, 60%=befriedigend, 40%=ausreichend, 20%=mangelhaft, 0%=Ausschluss). Die Gesamtpunktzahl ergibt sich aus der Summe der gewichteten Punkte je Zuschlagskriterium (max. 100 Punkte).

KI-Hinweis: Alle Zuschlagskriterien mit Gewichtungen sind explizit im Dokument aufgeführt (Preis 35%, Technische Ausführung 55%, Nachhaltigkeit 10%), die Bewertungsmethodik (metrisch/nicht-metrisch) und das Bewertungsschema (Noten 1-5, lineare Interpolation) sind vollständig beschrieben.

Leistungsumfang

Aus den Vergabeunterlagen

Hauptleistung – DIW Cleaning Tool

1 Stück DIW Cleaning Tool (ENAS-07.7) – fabrikneu

Manuelle Be- und EntladungVerarbeitung von 200 mm Wafern und gesägten 200 mm Wafern auf Tape FramesGeschlossene Ausführung mit Filter Fan Unit (FFU), Abscheidegrad > 99,995 % (ISO 3)Geeignet für Reinrauminstallation ISO 6CE-Kennzeichnung und EU-Konformitätserklärung erforderlichKonformitätserklärung gemäß EU-Richtlinien bei Lieferung

Prozessmodul und Medien

Primäres Reinigungsmedium: DIW (deionisiertes Wasser)Einsatz verdünnter Säuren (z. B. Zitronensäure, max. 10 %) – Chemikalienschrank dafür erforderlichProgrammierbarer Dispense-Arm (z- und theta-Richtung)Zwei-Komponenten-Düse für DIW und N2N2-Trocknungsdüse für hydrophobe OberflächenRückseitenreinigungssystemDigitale Durchflussmesser mit Softwareanbindung

Spinner-Chucks (Haupt- und Optionen)

Pflicht: Spinner-Chuck für 200 mm Wafer (Vakuum-Handhabung)Pflicht: Spinner-Chuck für Tape Frames, kompatibel mit Disco DTF2-8-1Optional (Positionen 3–6): Spinner-Chuck für Wafer 2.21, Spinner-Chuck für Wafer 2.22, Spinner-Chuck für Tape Frames 2.29, Spinner-Chuck für Tape Frames 2.30Optional (Position 2): Cleaning Media – 2.8

IT, Steuerung und Schnittstellen

PC-gesteuert (Windows 10 oder höher), Tastatur in DeutschPasswortgeschützte ProzessebenenSECS/GEM-Schnittstelle für MES-Anbindung (Maschinenidentifikatoren, Variablen, Alarme, Events, E30 State Model gemäß Appendix 1-1)Fernwartungsmöglichkeit (z. B. TeamViewer, TCP/IP)Betriebs- und Softwareanleitungen vorzugsweise digital

Anschlusswerte und Aufstellung

Elektrischer Anschluss: 230 V oder 400 VStromverbrauch: max. 5 kWDruckluft: durchschnittlich ≤ 50 l/minN2: durchschnittlich ≤ 50 l/minDeionisiertes Wasser: durchschnittlich ≤ 5 l/minAbmessungen: ≤ 1200 x 1500 mmAufstellung in Raum ENAS 320

Installation, Service und Schulung

Lieferung DPU Incoterms 2020 inkl. Verpackung, Versicherung, Installation, Inbetriebnahme und EinweisungEinbringung in den Aufstellungsraum durch den LieferantenReaktionszeit bei Störung: max. 72 Stunden (Mo–Fr, ohne Wochenende)Reparaturzeit: Servicepersonal innerhalb von 5 Werktagen (ohne Anfahrtszeit)Werksabnahme (5 Prüf-Wafer) und Endabnahme (10 Prüf-Wafer); Qualitätskriterium Bond-Ausbeute > 90 %Schulung für mind. 3 Personen: Bedienung, Rezepturerstellung, Prozess (≥ 1 Tag vor Ort), Wartung (≥ 1 Tag vor Ort)Dokumentationslieferung 6 Monate vor Versand (Zeichnungen, Schaltpläne, Sicherheitsfunktionen)

Nachhaltigkeit (Bewertungskriterium 10 %)

Im Angebot relevante Nachhaltigkeitsaspekte:

StromverbrauchDruckluftverbrauchN2-VerbrauchDIW-VerbrauchGeräuschpegel

Eignungskriterien

Geforderte Nachweise laut Vergabeunterlagen

Unternehmensprofil (F 1.1.1)

Angabe von Gründungsjahr, Meilensteinen, Mitarbeiteranzahl sowie hergestellten Produkten / erbrachten Leistungen (in Textform, keine Links/Bilder). Unvollständige Angaben können zum Ausschluss führen.

Wirtschaftliche Leistungsfähigkeit (F 1.1.2)

Umsatzangaben der letzten drei Geschäftsjahre.

Fachliche Eignung – Referenzen (F 1.1.3)

Mindestens 3 vergleichbare Referenzprojekte, nicht älter als 3 Jahre, mit Kurzbeschreibung und Kundennennung (Ansprechpartner inkl. Kontaktdaten). Bei Datenschutz: Angabe der Auftraggeberkategorie (Forschung, Industrie, öffentlich) und Bestätigung der Vergleichbarkeit.

Ausschlussgründe – § 123 / § 124 GWB (F 1.1.4)

Unterschriebene Eigenerklärung, dass keine Ausschlussgründe vorliegen – u. a.:

Keine rechtskräftigen Verurteilungen wegen relevanter Straftaten (z. B. §§ 129 ff., 261, 263, 264, 299, 108e/f, 333, 334 StGB, Art. 2 § 2 IntBestG, §§ 232, 233, 233a StGB)Keine rechtskräftigen Verstöße gegen Steuer-, Abgaben- und SozialversicherungspflichtenKeine Verstöße gegen Umwelt-, Sozial- und ArbeitsrechtKeine Insolvenz, Liquidation oder Ablehnung mangels MasseKeine schwere Verfehlung der beruflichen IntegritätKeine wettbewerbsverzerrenden AbsprachenKeine Interessenkonflikte oder Verzerrung durch VerfahrensbeteiligungKeine mangelhafte Auftragsausführung in der VergangenheitKeine Täuschung oder unzulässige EinflussnahmeKeine Verurteilungen/Geldbußen nach SchwarzArbG, AEntG, AufenthG, MiLoGKeine LkSG-VerstößeAuf Verlangen sind Nachweise vorzulegen.

EU-Sanktionen – Russlandbezug (F 1.1.5)

Unterschriebene Eigenerklärung gemäß EU-VO 833/2014, dass weder der Bieter noch Mitglieder einer Bietergemeinschaft, Unterauftragnehmer, Lieferanten oder für die Eignung in Anspruch genommene Unternehmen (soweit > 10 % des Auftragswerts) einen Russland-Bezug aufweisen:

Weder russische Staatsangehörigkeit noch Niederlassung in RusslandKeine Beteiligung > 50 % durch Personen/Unternehmen mit Russland-BezugKein Handeln im Auftrag/Anweisung solcher Personen/Unternehmen

Diese Anforderung gilt auch während der gesamten Vertragslaufzeit.

Allgemeine Compliance und Nachhaltigkeit (Fraunhofer-Standards)

Einhaltung nationaler Gesetze und VerordnungenKorruptionsprävention, Verbot unzulässiger ZuwendungenILO-Kernarbeitsnormen und MindestlohngesetzVerbot von Kinderarbeit, Zwangsarbeit, Sklaverei, DiskriminierungWeitergabe der Anforderungen an eigene Zulieferer vertraglich sicherstellenEtablierung von Sorgfaltspflichtenprozessen (Menschenrechte, Umwelt)Duldung von Audits und Meldepflicht bei Verstößen

Verfahrensspezifische Anforderungen

Mindestanzahl Kandidaten für die Verhandlungsphase: 3Einsatz von Nachunternehmern nur mit Benennung, Eignungsnachweis und Darlegung des Leistungsumfangs zulässigVollständige Einreichung aller geforderten Unterlagen (bei Unvollständigkeit droht Ausschluss)Wettbewerbsregister-Abfrage ab Auftragswert ≥ 30.000 €; Bonitätsprüfung (Creditreform/Coface) ab Auftragswert > 500.000 €
Referenzprojekte
3 ReferenzenZeitraum: nicht älter als 3 Jahre

Mindestens 3 vergleichbare Projekte (Referenzen)

Kurzbeschreibung des Geräts/Projekts sowie Kundennennung mit Ansprechpartner und Kontaktdaten. Falls aus Datenschutzgründen keine Kundenkontaktdaten angegeben werden: Kategorisierung des Auftraggebers (Forschung, Industrie, öffentlicher Auftraggeber) und Bestätigung der Vergleichbarkeit.

KI-Hinweis: Alle Eignungskriterien wurden per KI aus den Vergabeunterlagen extrahiert. Mit TendiGo prüfen Sie in wenigen Minuten, ob Ihr Unternehmen die Anforderungen erfüllt.

Wettbewerb & Angebotsprognose

Erwartete Konkurrenz auf Basis vergleichbarer Vergaben
1–3Angebote erwartet
Median vergleichbarer Vergaben: rund 2 Angebote
Geringe Konkurrenz
Wahrscheinliche Bieterzahl
1–3 · 53%4–10 · 29%11+ · 18%
Checkliste zur AngebotsabgabeKonkrete Schritte laut Vergabeunterlagen0 von 18 erledigt
Teilnahmeantrag – Eignungsnachweise
Angebot – Leistungsverzeichnis und Preisangaben
Technische Spezifikation und Konzepte
Plattform und Formalitäten
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Auf einen Blick

Auftraggeber
Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12 | Vergabekammern des Bundes | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Datenservice Öffentlicher Einkauf (in Verantwortung des Beschaffungsamts des BMI)
Anschrift
80686 München
Ort
09126 Chemnitz
Kategorie
Sachsen
Veröffentlicht
Angebotsfrist
Auftraggeber-Website
vergabe.fraunhofer.de/

Erfüllungsort

Ort der Leistung
09126 Chemnitz
Sachsen

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