PR1306574: Hook-up einer Nassanlage an bestehende Grundversorgung Bulkgase+CO2, Bulkgase

Sämtliche Arbeiten finden in einem Reinraum statt. Der Hauptteil der Medien wird im 1.000 mm hohen Doppelboden verlegt. Die Medienleitungen werden in AISI 316L beziehungsweise Werkstoff-Nr. 1.4435 oder 1.4404 ausgeführt:

Die Rohre und Formstücke werden mit Abnahmeprüfzeugnis 3.1 B nach DIN EN 10204 geliefert.

Lieferung und Montage von 169 m Installationsrohren, 53 Rohrbögen, 10 T-Stücken, 19 polierten VCR-Verbindungen, 9 Reduzierstücken sowie 13 Membranventilen, Gas-, Druckluft- und Vakuumentnahmestellen. Hinzu kommen 30 kg Halterungsmaterial, 50 Rohrleitungskennzeichnungen und nicht kalkulierbare Kleinteile.

Die Entnahmetableaus sind an die Montageplanung des Auftragnehmers anzupassen. Entnahmestellen und Tableaus sind einschließlich Befestigungsmaterial und erforderlicher Schweiß- beziehungsweise Verbindungsteile zu installieren.

Rohrverbindungen erfolgen grundsätzlich durch maschinelles Orbitalschweißen ohne Schweißzusätze; T-Abzweige werden als Formstücke ausgeführt. VCR-Verbindungen können durch gleichwertige Produkte anderer Hersteller ersetzt werden.

Für die eingesetzten Fachkräfte sind ein Eignungsnachweis nach DIN EN 1418 für Orbitalschweißer und eine WIG-Schweißprüfbescheinigung nach DIN EN 287-1 erforderlich. Die Schweißnahtqualität muss mindestens Semi Standard für die mikroelektronische Industrie, Kategorie B nach ISO 5817, entsprechen. Schweißnähte sind mit Schweißdatum, Bearbeiter und Schweißmaschinennummer zu kennzeichnen. Die Formierung erfolgt mit hochreinem Argon 5.0, feinstgefiltert und getrocknet.

Die Rohre sind mit deionisiertem Wasser zu reinigen, mit Stickstoff zu trocknen und geeignet zu verpacken. Rohrenden werden mit PE-Kappen verschlossen und doppelt in Folie verpackt. Die geforderten Werkstoff- und Abnahmeprüfzeugnisse sind zu erstellen beziehungsweise vorzulegen.

Vorgesehen sind insgesamt 220 Stunden De- und Montagearbeiten, aufgeteilt in 110 Stunden für einen Obermonteur beziehungsweise eine Obermonteurin und 110 Stunden für einen Monteur beziehungsweise eine Monteurin.

Je Gassystem ist eine Druckprobe mit Drucksensor und Druckmessschreiber durchzuführen. Als Prüfmedium dient Stickstoff, die Prüfdauer beträgt 12 Stunden oder nach Vereinbarung, und der Prüfdruck beträgt das 1,1-fache des Betriebsdrucks ohne Druckabfall. Vorgesehen sind neun Druckproben.

Zusätzlich sind sechs Helium-Drucklecktestprüfungen nach der Überdruck-Methode durchzuführen. Als Prüfmedium dient N₂/He, der Prüfdruck beträgt 2 bar und die zulässige Leckrate 1 × 10⁻⁷ mbar l/s.

Die fertiggestellten und geprüften Installationen sind mit Abnahmeprotokoll, Einspülung, Einregulierung der Systemdrücke, erforderlichenfalls Volumenstromregulierung und Inbetriebnahmeprotokoll zu übergeben und bei der Inbetriebnahme zu unterstützen.

Vorlage eines Firmenprofils sowie Angabe des Umsatzes der letzten drei Jahre. Das Formblatt 001_Eignungserklärung erfasst zusätzlich den Gesamtumsatz und den Umsatz im Tätigkeitsbereich des Auftrags, jeweils netto in Euro.

Das Unternehmen hat die Eigenerklärung zum Nichtvorliegen der Ausschlussgründe auszufüllen und gegebenenfalls Selbstreinigungsmaßnahmen auf einer gesonderten Anlage darzulegen und nachzuweisen. Erklärungen und Korrespondenz sind in deutscher Sprache abzufassen; fremdsprachige Unterlagen benötigen eine beglaubigte oder von einem öffentlich bestellten beziehungsweise beeidigten Übersetzer angefertigte Übersetzung.

Die Erfahrung mit Arbeiten im Reinraum ist durch mindestens drei Referenzen aus der Halbleiterbranche aus den letzten fünf Jahren nachzuweisen. Das Leistungsverzeichnis verlangt außerdem eine Qualifikation für die Arbeit in Reinräumen.

Der Eintrag in ein Berufs- oder Handelsregister ist anzugeben. Eine Berufshaftpflichtversicherung muss mindestens 3 Mio. EUR für Personenschäden und 3 Mio. EUR für Sach- und Vermögensschäden abdecken. Die Beschäftigtenzahl und die Zahl der Führungskräfte sind für die letzten drei Jahre anzugeben; Mindestzahlen werden nicht genannt.

Die Teilnahme an der verpflichtenden Objektbesichtigung bis zum 03.11.2026 ist durch das ausgefüllte und vom Fraunhofer IPMS bestätigte Formular nachzuweisen.

Bei Beauftragung von Nachunternehmern oder Verleihern ist deren Einhaltung des Mindestlohngesetzes sicherzustellen. Auf Verlangen sind geeignete Nachweise vorzulegen und es ist zu gewährleisten, dass kein Ausschluss nach § 19 Abs. 1 MiLoG vorliegt.

Für die Montage sind die im Leistungsverzeichnis geforderten Qualifikationen nachzuweisen: Eignungsnachweis nach DIN EN 1418 für Orbitalschweißer und WIG-Schweißprüfbescheinigung nach DIN EN 287-1. Die Schweißnahtqualität muss mindestens Kategorie B nach ISO 5817 für die mikroelektronische Industrie entsprechen. Schweißnähte sind mit Schweißdatum, Bearbeiter und Schweißmaschinennummer zu kennzeichnen.

Die Nachhaltigkeitsstandards der Fraunhofer-Gesellschaft sind einzuhalten. Lieferanten müssen diese Standards oder gleichwertige Anforderungen an eigene Zulieferer weitergeben, die Einhaltung der nationalen Gesetze einschließlich Mindestlohngesetz und ILO-Kernarbeitsnormen sicherstellen, wirksame Sorgfaltsprozesse zu Menschenrechten, Arbeitsrechten sowie Umwelt- und Klimaschutz etablieren und Kontrollen sowie Audits der Fraunhofer-Gesellschaft dulden.