Ausschreibungen Mecklenburg-Vorpommern
Inertgas-Glovebox mit integrierter PVD
Leibniz-Institut für Plasmaforschung & Technologie17489 Greifswald, Hansestadt, Mecklenburg-VorpommernVeröffentlicht:
Angebotsfrist:
Zusammenfassung
Automatisch erstellt aus den VergabeunterlagenDas Leibniz-Institut für Plasmaforschung und Technologie in Greifswald beschafft ein vollständig integriertes System aus Inertgas-Glovebox, Gasreinigung, Vakuumschleuse und thermischer PVD-Hochvakuumbeschichtungsanlage. Es dient der Herstellung und Handhabung luft- und feuchtigkeitsempfindlicher Dünnschichten, insbesondere von Perowskitsolarzellen.
Das Angebot muss die technischen Vorgaben erfüllen und Lieferung, Installation, Inbetriebnahme, Abnahme, FAT-Teilnahme und Einweisung einschließen. Angebote sind bis zum 10.11.2026, 11:00 Uhr über www.bi-medien.de einzureichen; Nebenangebote sind nicht zugelassen.
Zeitplan & Fristen
Aus den Vergabeunterlagen extrahiertTermin / FristJAN2026 MÄR MAI JUL SEP NOV JAN2027 MÄR
Veröffentlichung (angefordert)26. Okt. 2026
Veröffentlichung27. Okt. 2026
Bieterfragen-Frist5. Nov. 2026
Angebotsfrist10. Nov. 2026
Anschaffungszeitraum1. Jan. 2026 – 31. Dez. 2027bis 2027
Vertragslaufzeit1. Nov. 2026 – 30. Apr. 2027
Tarifregelungsanpassung1. Nov. 2026 – 30. Apr. 2027
Gültigkeit Eigenerklärungca. 10. Nov. 2026 – 10. Mai 2027bis 2027
Lieferzeitca. 10. Nov. 2026 – 13. Apr. 2027
Laufzeit Bankbürgschaftca. 10. Nov. 2026 – 13. Apr. 2027
Bindefrist30. Nov. 2026
Gewährleistungca. 13. Apr. 2027 – 13. Apr. 2029bis 2029
ReferenzzeitraumDatum offenVergleichbare Leistungen der letzten drei Jahre sind nachzuweisen; ein Bezugszeitpunkt ist nicht genannt.
UmsatzzeitraumDatum offenDie letzten drei abgeschlossenen Geschäftsjahre sind anzugeben; ein Bezugszeitpunkt ist nicht genannt.
BeschäftigtenzeitraumDatum offenDie jahresdurchschnittliche Beschäftigtenzahl der letzten drei Jahre ist anzugeben.
Gewerbezentralregister-ZeitraumDatum offenFür die Zuverlässigkeit sind Eintragungen der letzten zwei Jahre maßgeblich.
Hinweis auf UnklarheitenDatum offenUnklarheiten sind unverzüglich nach Kenntnis und vor Angebotsabgabe anzuzeigen.
ÄnderungsmitteilungDatum offenErhöhte Vergütung wegen Änderungen ist unverzüglich schriftlich mitzuteilen, möglichst vor Ausführung.
ZuschlagDatum offenEin Zuschlagsdatum ist nicht genannt; mit dem Zuschlag gelten die TVgG-Pflichten.
Mitteilung ErklärungsänderungenDatum offenÄnderungen der Eigenerklärung sind bei Eintritt unverzüglich mitzuteilen.
Aktuelle EigenerklärungDatum offenEs ist fortlaufend sicherzustellen, dass eine aktuelle Erklärung bei der Vergabestelle vorliegt.
Nachreichung UnterlagenDatum offenNachgeforderte Unterlagen sind zum von der Vergabestelle bestimmten Zeitpunkt nach Angebotsabgabe einzureichen.
EignungsnachweiseDatum offenBescheinigungen sind auf gesondertes Verlangen vorzulegen, wenn das Angebot in die engere Wahl kommt; ein Termin ist nicht genannt.
Weitere EignungsnachweiseDatum offenKonkrete Eignungsnachweise sind auf Anforderung im Einzelfall vorzulegen; kein Fristende ist genannt.
Nachunternehmer-EignungsnachweiseDatum offenFür eingesetzte Nachunternehmer sind einzelne Eignungsnachweise auf Anforderung vorzulegen; kein Fristende ist genannt.
ReferenznachweiseDatum offenReferenzen, Bestätigungen und weitere Nachweise sind auf gesondertes Verlangen innerhalb der gesetzten Frist vorzulegen; die Frist ist nicht angegeben.
UnbedenklichkeitsbescheinigungDatum offenBei einer engeren Wahl ist eine Unbedenklichkeits- oder Steuerbescheinigung vorzulegen; kein Termin ist genannt.
MängelverjährungDatum offenDie Verjährungsfrist für Mängelansprüche beginnt mit der Abnahme; Dauer und Abnahmedatum sind nicht angegeben.
vor Angebotsabgabenach Angebotsabgabegeschätzt
Zuschlagskriterien
Gewichtung laut VergabeunterlagenPreis & Qualität7 Kriterien
Preis 10%Qualität 90%
- Leistungspunkte (Technische Spezifikationen)90%
Technische Spezifikationen der Glovebox mit integrierter PVD-Anlage, bewertet in sechs Unterkriterien mit insgesamt 90 Punkten
- Gesamtkosten (Preis)10%
Preis gemäß Aufgabenbeschreibung, geht als Preisfaktor P in die Medianformel ein
Medianmethode nach UfAB VI. Referenzwert = Median aller gewerteten Leistungspunkte und Median aller gewerteten Preise. Kennzahl Z = *Gew.Lstg x Lstg. Bieter / L Median - G Preis * P Bieter / Preis Median (wie in der Matrix angegeben). Zuschlag an den Bieter mit der höchsten Kennzahl. Preis muss kleiner oder gleich 120.000 EUR netto sein.
KI-Hinweis: Gewichtung Leistung 90 Punkte und Preis 10 Punkte sowie die sechs Leistungsunterkriterien sind eindeutig angegeben; die Formel der Matrix enthaelt ein Vorzeichen, das vom Standard abweichen koennte.
Leistungsumfang
Aus den VergabeunterlagenGesamtsystem und Probenhandhabung
Lieferung eines funktionsfähigen Gesamtsystems aus Glovebox, Gasreinigung, Vakuumschleuse und PVD-Hochvakuumanlage mit thermischem Verdampfen.Die Proben müssen zwischen Glovebox und Beschichtung ohne Atmosphärenkontakt bewegt werden können.Die Anlage dient der Herstellung und Handhabung luft- und feuchtigkeitsempfindlicher Dünnschichten, insbesondere für Perowskitsolarzellen.
Glovebox und Gasreinigung
Edelstahl-Arbeitsbereich mindestens aus Werkstoff 1.4301.Nutzbare Abmessungen mindestens 1.800 × 900 × 780 mm in Breite, Höhe und Tiefe.Vier Handschuhdurchführungen mit Butylkautschuk-Handschuhen sowie vier DN40KF-Flansche an der Rückwand.Sauerstoff- und Restfeuchtegehalt jeweils unter 1 ppm; maximale Leckrate O₂ 0,05 Vol.-%/h gemäß ISO 10648-2.Ein-Filtertopf-Reinigung mit mindestens 20 l O₂- und 900 g H₂O-Aufnahmekapazität sowie 45 m³/h Gebläseleistung.Boxdruckregelung von −15 bis +15 mbar mit SPS und Touchpanel.Verbrauchsoptimierter Betrieb mit Energiesparmodus und einer Reduktion des Energieverbrauchs von bis zu 90 Prozent.
Vakuumschleuse
Große manuelle Schleuse an der rechten Seitenwand mit ungefähr 390 × 600 mm, Auszugstablett, zwei Schwingdeckeln und Handventil.Zusätzlich wird im Leistungsverzeichnis eine manuelle Seitenwandschleuse mit mindestens 150 mm Innendurchmesser genannt. Die genaue Zuordnung dieser beiden Angaben ist im Dokument nicht eindeutig.
PVD-Hochvakuumsystem
Turbomolekularpumpstand mit Hochvakuumpumpe und einem Kammer-Basisdruck von 5 × 10⁻⁷ mbar.Ölfreie Scrollpumpe als Vorpumpen-Upgrade mit ungefähr 10 bis 12,7 m³/h.Substratgröße bis 100 × 100 mm und Schichtdickenhomogenität besser ±3 Prozent.Drehbarer Substrathalter mit 0 bis 30 rpm.Elektropneumatischer Split-Shutter aus Edelstahl.
Verdampferquellen und Prozesssteuerung
Ein thermischer Widerstandsverdampfer bis ungefähr 1.800 °C, 0 bis 15 V beziehungsweise 0 bis 200 A, wassergekühlt und mit eigenem Rotationsshutter.Drei Niedertemperaturverdampfer für 50 bis 800 °C mit einer Stabilität von ±0,1 K, konischen Al₂O₃-Tiegeln und jeweils eigenem Shutter; die Quellen sind unabhängig regelbar.Vorbereitung für insgesamt vier Quellen in zwei Quellenbereichen und Nachrüstbarkeit, beispielsweise einer Magnetron-Sputterquelle.Mindestens zwei QCM-Sensoreingänge mit einem Frequenzbereich von mindestens 1 bis 6,5 MHz sowie Unterstützung der Co-Deposition von zwei Materialien.Dünnschicht-Controller mit Speicher für mindestens 100 Prozesse.
Sensorik und Medienanschlüsse
H₂O-Sensor für 0 bis 500 ppm.O₂-Sensor für 0 bis 1.000 ppm mit 0 bis 10 V, einschließlich Umwandler und Kabel.Kühlwasserversorgung mit Vor- und Rücklauf für das PVD-System und die Quellen.Elektrischer Hauptanschluss 1 × 400 V, 16 A, 3L/N/PE.Inertgasversorgung mit N₂ oder Ar, abhängig vom verwendeten Glovebox-Gas, bei 6 bar Versorgungsdruck.
Lieferung, Installation und Abnahme
Lieferung und Aufstellung des Gesamtsystems am Erfüllungsort Greifswald.Installation, Inbetriebnahme und Systemabnahme.Teilnahme des Auftraggebers an der FAT-Abnahme vor Ort oder per Videoübertragung ermöglichen.Einweisung des Bedienpersonals am Aufstellort.Lieferzeit ungefähr 22 Wochen ab Auftragserteilung beziehungsweise Auftragsdatum.Gewährleistung mindestens 24 Monate ab Lieferung, ausgenommen Verschleiß- und Verbrauchsteile.Instandhaltung ist im Formular als optional gekennzeichnet; ein genauer Umfang ist nicht angegeben.
Beschaffungsmaterialien
Zur Beschaffung vorgesehen sind FAI, CsI, PbI₂, PbBr₂, FABr, C₆₀ und Gold.
Eignungskriterien
Geforderte Nachweise laut VergabeunterlagenTechnische Eignung
Das Angebot muss eine integrierte Glovebox-PVD-Lösung mit kontrollierter Inertgasatmosphäre unter 1 ppm O₂ und H₂O unter den specified conditions bieten.Erforderlich sind vier Verdampferquellen: eine Hochtemperatur-Widerstandsquelle und drei unabhängig geregelte Niedertemperaturquellen.Mindestens zwei QCM-Ratensensoren sowie die Unterstützung der Co-Deposition von zwei Materialien sind gefordert.Das Eignungsformblatt verlangt eine Substratgröße von mindestens 100 × 100 mm oder 150 mm Durchmesser sowie eine Substratrotation bis mindestens 30 rpm. Die Leistungsbeschreibung nennt dagegen eine Substratgröße bis 100 × 100 mm; dieser Widerspruch ist vor Angebotsabgabe zu klären.
Referenzen
Nachweis von Referenzanlagen für integrierte Glovebox-/Hochvakuum-PVD-Systeme; bevorzugt für Perowskite, organische Elektronik oder andere luft- und feuchtigkeitsempfindliche Materialien.Erklärung zu vergleichbaren Leistungen in den letzten drei Jahren; ein abweichender Zeitraum gilt nur, falls die Bekanntmachung ihn festlegt.Bei Auswahl für die engere Wahl sind drei Referenzen mit Ansprechpartner, Leistungsart, Auftragssumme und Ausführungszeitraum vorzulegen.Ein Mindestauftragswert für Referenzen ist nicht festgelegt.
Unternehmens-, Personal- und Verfügbarkeitsangaben
Der Umsatz der letzten drei abgeschlossenen Geschäftsjahre ist für vergleichbare Leistungen in Euro anzugeben; ein Mindestumsatz ist nicht festgelegt.Die Verfügbarkeit der erforderlichen Beschäftigten ist zu erklären. Bei Auswahl für die engere Wahl sind die jahresdurchschnittliche Beschäftigtenzahl der letzten drei Jahre und die vorgesehenen Leitungspersonen zu benennen.Eine Eintragung im Berufsregister ist anzugeben, soweit eine Eintragungspflicht besteht.Es ist zu erklären, dass weder ein Insolvenzverfahren beantragt oder eröffnet noch ein Antrag mangels Masse abgelehnt wurde und keine Liquidation stattfindet; alternativ kann ein bestätigter Insolvenzplan angegeben werden.Die ordnungsgemäße Zahlung von Steuern, Abgaben und Sozialversicherungsbeiträgen sowie die Mitgliedschaft in der zuständigen Berufsgenossenschaft sind zu bestätigen.Ein fester Mindestumsatz, eine Mindestunternehmensgröße sowie besondere Bilanz- oder Bonitätsanforderungen sind nicht festgelegt.
Zuverlässigkeit und Ausschlussgründe
Es ist zu erklären, dass keine zwingenden oder fakultativen Ausschlussgründe nach §§ 123 und 124 GWB vorliegen. Dies betrifft insbesondere wettbewerbsbeschränkende Vereinbarungen, Interessenkonflikte, Wettbewerbsverzerrung, erhebliche frühere Mangelhaftung, Täuschung oder Zurückhaltung von Auskünften, unzulässige Einflussnahme, Versuche zur Erlangung vertraulicher Informationen sowie falsche oder irreführende Angaben.Eine mögliche Selbstreinigung nach den einschlägigen Vergabevorschriften ist im Formular zu berücksichtigen.Änderungen der abgegebenen Erklärung sind unverzüglich mitzuteilen, und eine stets aktuelle Erklärung ist bereitzuhalten.
Nachweise, Nachunternehmer und Sonderfälle
Als vorläufiger Eignungsnachweis ist die Eigenerklärung zur Eignung für Liefer- und Dienstleistungen oder die Einheitliche Europäische Eigenerklärung vorzulegen. Auf Verlangen sind Bescheinigungen zuständiger Stellen vorzulegen; nicht deutsche Bescheinigungen benötigen eine deutsche Übersetzung.Bei ausländischen Bewerbern sind gleichwertige Bescheinigungen nach den Rechtsvorschriften des jeweiligen Staates vorzulegen.Nachunternehmer müssen die für den Bieter geltenden Pflichten erfüllen und dies durch Einzelnachweise belegen können. Jeder Nachunternehmereinsatz ist dem Auftraggeber mitzuteilen.AVPQ-Präqualifizierte können einen Präqualifikationsnachweis beifügen; zwingende Einzel- oder Formularnachweise werden dadurch nicht ersetzt.Werkstätten für Behinderte haben die Eigenschaft auf Anforderung nachzuweisen und erhalten bei gleichwertiger Wirtschaftlichkeit einen Zuschlag.Auf Verlangen ist mitzuteilen, ob wirtschaftliche oder rechtliche Verbindungen zu anderen Unternehmen bestehen.
Referenzprojekte
Bei Auswahl für die engere Wahl sind drei Referenzen vorzulegen; darüber hinaus ist keine feste Mindestanzahl genannt. ReferenzenZeitraum: Vergleichbare Leistungen aus den letzten drei Jahren; bei den drei Referenzen ist jeweils der Ausführungszeitraum anzugeben.Volumen: Bei den drei Referenzen ist jeweils die Auftragssumme anzugeben. Ein Mindestauftragswert wird nicht gefordert.
Nachweis von Referenzanlagen für integrierte Glovebox-/Hochvakuum-PVD-Systeme sowie Erklärung zu vergleichbaren Leistungen. Bevorzugt werden Anwendungen für Perowskite, organische Elektronik oder andere luft- und feuchtigkeitsempfindliche Materialien.
Integrierte Glovebox-/Hochvakuum-PVD-Systeme; anzugeben sind mindestens Ansprechpartner, Art der ausgeführten Leistung, Auftragssumme und Ausführungszeitraum.
KI-Hinweis: Alle Eignungskriterien wurden per KI aus den Vergabeunterlagen extrahiert. Mit TendiGo prüfen Sie in wenigen Minuten, ob Ihr Unternehmen die Anforderungen erfüllt.
Wettbewerb & Angebotsprognose
Erwartete Konkurrenz auf Basis vergleichbarer Vergaben1–3Angebote erwartet
Median vergleichbarer Vergaben: rund 2 Angebote
Wahrscheinliche Bieterzahl
1–3 · 78%4–10 · 21%11+ · 1%
Checkliste zur AngebotsabgabeKonkrete Schritte laut Vergabeunterlagen0 von 33 erledigt
Angebotsformular und Angebotsbindung
Eignung, Erklärungen und Sonderfälle
Technische Konformität und Leistungserfüllung
Referenzen und ergänzende Nachweise
Preis, Vollständigkeit und Abgabe
Mit TendiGo
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Auftraggeber
Leibniz-Institut für Plasmaforschung & Technologie
Anschrift
17489 Greifswald
Ort
17489 17489 Greifswald, Hansestadt
Kategorie
Mecklenburg-Vorpommern
Veröffentlicht
Angebotsfrist
Erfüllungsort
Ort der Leistung
17489 17489 Greifswald, Hansestadt
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