IPMS-MRS14.4.3: Scanning Acoustic Microscope (SAM)

• Angebotspreis (ohne MwSt.)

  Metrisches Kriterium, linear in Punkte umgerechnet (niedrigster Preis 100 Punkte, doppelter Preis 0 Punkte). Die Gewichtung des Preises gegenüber den Leistungspunkten ist in den Unterlagen nicht angegeben. Optionen fließen in die preisliche Bewertung ein.

• Handling 200 mm und 300 mm Wafer20%

  LV Pos. 2.1 (B-Kriterium): Handhabung von Wafern 200 mm/8 Zoll und 300 mm/12 Zoll, je Größe 10 Punkte. Keine Angabe führt zum Ausschluss.

• Chuck für 200 mm und 300 mm Wafer10%

  LV Pos. 2.4 (B-Kriterium): Chuck für Wafergröße 200 mm und 300 mm, je Größe 5 Punkte.

• Probendicke bis 5 mm10%

  LV Pos. 2.5 (B-Kriterium): Handhabung von Proben bis 5 mm Dicke. Staffelung: unter 1 mm = 1 Pkt., unter 2 mm = 4 Pkt., unter 3 mm = 6 Pkt., unter 4 mm = 8 Pkt., unter 5 mm = 10 Pkt.

• Ausgleich Wafer-Verzug (Bow)20%

  LV Pos. 3.8 (B-Kriterium): System zum Ausgleich des Wafer-Verzugs. Staffelung: unter +/-0,5 mm = 0 Pkt., +/-0,5 bis 0,999 mm = 10 Pkt., ab +/-1 mm = 20 Pkt.

• Achsauflösung (X und Y)20%

  LV Pos. 3.11 (B-Kriterium): Maximale Achsauflösung. Staffelung: mehr als +/-5 µm = 0 Pkt., +/-1 bis 4 µm = 10 Pkt., bis +/-1 µm = 20 Pkt.

• Multi-Gate- und Probing-Gate-Bildgebung20%

  LV Pos. 3.16 (B-Kriterium): Anzahl unterstützter Gates je Kanal (mind. 10). Staffelung: unter 10 = 0 Pkt., 10 bis 30 = 5 Pkt., 31 bis 60 = 10 Pkt., 61 bis 90 = 15 Pkt., über 90 = 20 Pkt.

Metrisches Kriterium (Angebotspreis ohne MwSt.): Das niedrigste wertungsfähige Angebot erhält die volle Punktzahl, ein fiktives doppelt so teures Angebot 0 Punkte, dazwischen lineare Interpolation (Beispiel: 100.000 EUR = 100 Pt., 120.000 EUR = 80 Pt., 180.000 EUR = 20 Pt., 210.000 EUR = 0 Pt.). Nicht metrische Kriterien: Bewertung auf Skala 0 bis 100 Punkte, das relativ beste Angebot erhält 100 Punkte; die Punkte je Bewertungsposition stehen im LV (Spalte G). Gesamtwertung: Summe der gewichteten Punkte je Zuschlagskriterium, höchste Gesamtpunktzahl erhält den Zuschlag.