Lieferung inkl. Montage und Installation eines Halbautomatischen On-Wafer Prober gemäß Leistungsbeschreibung
Zusammenfassung
Automatisch erstellt aus den VergabeunterlagenDie Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB) beschafft einen halbautomatischen On-Wafer-Prober für 200 mm-Wafer inklusive Lieferung, Montage, Installation und Inbetriebnahme am Standort Braunschweig.
Das Gerät dient der On-Wafer-Streuparametermesstechnik und muss u. a. einen Frequenzbereich bis mindestens 220 GHz (erweiterbar auf 250 GHz), einen Temperaturbereich von –40 °C bis +200 °C, motorische Positionierer, ein hochauflösendes digitales Mikroskop, eine aktive Vibrationsdämpfung sowie umfangreiche Kalibrier- und Steuersoftware (LRM, SOLT, mTRL, Python-API) bieten.
Die Vergabe erfolgt als offenes Verfahren ohne Losaufteilung über die e-Vergabe-Plattform des Bundes (evergabe-online.de). Nebenangebote sind ausgeschlossen. Maßgeblich für die Wertung sind Preis (30 %), Software (35 %), mechanische Positionierstabilität (20 %) und Wartung/Service (15 %).
Angebotsfrist: 14.10.2026, 11:59 Uhr (MESZ).
Zeitplan & Fristen
Aus den Vergabeunterlagen extrahiertZuschlagskriterien
Gewichtung laut Vergabeunterlagen- Preis30%
Angebotspreis; Skala 0-10 Punkte. Günstigster erhält 10, teuerster erhält (günstigster/teuerster)*10, übrige nach Dreisatz.
- Software35%
Erfüllung zusätzlicher Anforderungen: 1-2 erfüllte = 5 Punkte, 1-4 erfüllte = 10 Punkte.
- Hohe mechanische Positionierstabilität x, y20%
a) Absolute Positioniergenauigkeit: ≤±3 µm = 5 Pkt., ≤±2 µm = 2 Pkt. b) Wiederholgenauigkeit: ≤±2 µm = 5 Pkt., ≤±1,5 µm = 10 Pkt.
- Wartung/Service15%
Wartungsfreundlichkeit der Anlage, Liefer-/Garantie-/Reaktionszeiten, Lebensdauer und Ersatzteilverfügbarkeit.
Preis: Skala 0-10 Punkte. Günstigster Preis erhält 10 Punkte, teuerster erhält (günstigster Preis / teuerster Preis) * 10 Punkte, übrige nach Dreisatz. Gewichtung 30%. Qualitätskriterien werden ebenfalls mit 0-10 Punkten bewertet, gewichtet mit 35% (Software), 20% (Positionierstabilität), 15% (Wartung/Service). Gesamtpunkte = Summe der gewichteten Punktwertungen.
Leistungsumfang
Aus den VergabeunterlagenLiefergegenstand – Gerät und Hauptkomponenten
Positionierung, Mikroskop und Bedienung
Software, Schnittstellen und Chucks
Lieferung, Montage und Dokumentation
Service, Gewährleistung und Termine
Eignungskriterien
Geforderte Nachweise laut VergabeunterlagenBefähigung zur Berufsausübung
Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit
Technische und berufliche Leistungsfähigkeit
Ausschlussgründe und Zuverlässigkeit
Präqualifikation und Eignungsleihe
Mindestens vergleichbare Referenzen über Lieferung/Montage/Installation halbautomatischer On-Wafer-Prober (gleichartig oder vergleichbar zur ausgeschriebenen Lieferleistung)
Gleichartig oder vergleichbar zur ausgeschriebenen Lieferleistung; je Referenz Name des Auftraggebers, Jahr, Art der Leistung und Auftragswert in Euro; Mehrfachnennungen möglich
Wettbewerb & Angebotsprognose
Erwartete Konkurrenz auf Basis vergleichbarer VergabenAuf einen Blick
Erfüllungsort
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