On-Probe Antennenmesssystem

Lieferung eines vollständigen robotischen Over-the-Air-Antennenmesssystems für On-Wafer-Messungen im G-Band und H-Band. Das System umfasst eine Präzisions-Sub-THz-Probestation, einen schwingungsgedämpften Tisch, ein Mikroskop, RF-Probing-Ausrüstung und einen integrierten sechsachsigen kollaborativen Industrieroboter zur automatisierten Positionierung von Frequenzerweiterungsmodulen.

Bereitstellung einer XY-Probestation mit mindestens 180 × 300 mm Gesamttravel, Luftlager-Chuck, feiner XY-Bewegung von mindestens 25 × 25 mm mit einer Auflösung besser als 1 µm, Theta-Rotation von mindestens ±5°, Z-Weg von mindestens 10 mm, Sicherheitskontakt, Probenplattenhub, Auto-Kontakt mit Wiederholbarkeit besser als 1 µm, Höhenanschlägen, Vakuumschaltern, Mikroskopbrücke sowie Frequenzerweitererschnittstelle und -position.

Lieferung eines schwingungsisolierten Tischs für Probestation und Robotermesssystem mit einstellbarer Luftdämpfung, einer internen Frequenz von 2,5 Hz, automatischer Nivellierung, integriertem Rack, Monitorhalterung und Roboterbock. Der Tisch muss eine maximale Last von mindestens 320 kg tragen.

Lieferung eines vollständigen Mikroskops mit Transport, pneumatischem Hub, Drehung, Zoom, Fokus, Beleuchtung und Digitalkamera. Vorgesehen sind unter anderem ein Präzisions-XY-Transport von 50 × 50 mm, ein pneumatischer Hub von etwa 220 mm, eine 90°-Drehung, ein Zoombereich von etwa 1,25- bis 15-fach, eine Auflösung von 1,6 µm oder besser, ein Arbeitsabstand von etwa 46 mm sowie eine 4K-HDMI-Kamera mit mindestens 8 MP und 30 fps einschließlich Dokumentationssoftware und Kabeln.

Lieferung eines 150-mm-RF-Chuck-Systems mit Ambient-Modulchuck, zwei keramischen Auxiliary-Chucks, vernickelter Oberfläche, Vakuumlöchern und Vakuumschaltung für 50-, 100- und 150-mm-Wafer sowie BNC-Buchse. Ergänzend sind östliche und westliche THz-Mikropositionierer, nördliche und südliche THz-taugliche Probe-Arme, Frequenzerweiterer-Integrationshardware, zwei R&S-Dovetail-Adapterplattformen und zwei THz-kompatible Nord-/Süd-Probe-Arme zu liefern.

Lieferung und Integration eines sechsachsigen kollaborativen Industrieroboters mit Sicherheitsfunktionen, Kollisionserkennung und -vermeidung, GUI, Erstellung, Speicherung, Bearbeitung und Ausführung von Messrezepten, konfigurierbaren Messlayouts und Messpositionen, koordinatenbasierter Positionierung sowie Aufnahme und Positionierung von R&S-Type-XYZ-Frequenzerweiterungsmodulen am Robotereffektor. Erforderlich sind außerdem Anti-Vibrationsintegration, Echtzeit-3D-Visualisierung von Umgebung, Arbeitsbereich und Kollisionszonen sowie eine Trajectory-Visualisierung.

Das vollständige System ist zu montieren, zu integrieren, zu kalibrieren und in Betrieb zu nehmen. Die Lieferung umfasst Robotersoftware, Sicherheitsfunktionen, Fernsteuerungsschnittstelle, Zubehör und Installation. Für Betreiber ist eine praktische Bedienerschulung durchzuführen. Die erforderlichen technischen Unterlagen sind bereitzustellen.

Alle geforderten Eignungsnachweise sind vollständig mit dem Angebot vorzulegen. Unvollständige Dokumente können zum Ausschluss vom Verfahren führen.

Das Firmenprofil ist als Text ohne Links und Bilder vorzulegen und muss Gründungsjahr, wichtige Meilensteine, Mitarbeiterzahl sowie die hergestellten Produkte oder erbrachten Leistungen enthalten. Zusätzlich sind die Umsätze der Geschäftsjahre 2022, 2023, 2024 und gegebenenfalls 2025 anzugeben. Ein Mindestumsatz ist nicht festgelegt.

Es sind mindestens drei vergleichbare Projekte nachzuweisen, die nicht älter als aus dem Jahr 2023 sind. Je Referenz sind Kurzbeschreibung des Geräts, Kundenname und Kontaktdaten vollständig anzugeben.

Mit dem Angebot ist eine schriftliche Bankerklärung einzureichen, wonach die Bank nach Zuschlag eine Bankbürgschaft gemäß B_006_BankbürgschaftBankguarantee.pdf ausstellen wird. Bei Einsatz von Subunternehmern muss dieser Nachweis vom Hauptauftragnehmer erbracht werden. Bürgen mit einem Rating unter Baa nach S&P oder einem vergleichbaren Rating können abgelehnt werden.

Die unterschriebene Erklärung C_002 zum Nichtvorliegen der aufgeführten Ausschlussgründe und die unterschriebene Erklärung C_004 zum Nichtvorliegen eines sanktionsrelevanten Russland-Bezugs sind einzureichen. Die Erklärung C_004 ist von jedem Bieter und jedem Mitglied einer Bietergemeinschaft abzugeben und umfasst gegebenenfalls auch die herangezogenen Unterauftragnehmer, Lieferanten oder Unternehmen mit mehr als 10 Prozent des Auftragswerts.

Das unterschriebene Formular C_003 zur Exportklassifizierung ist einzureichen. Zusätzlich gelten die in den Vergabeunterlagen genannten Anforderungen zu Exportkontrolle, Zoll, Intrastat, Nachhaltigkeit, Mindestlohn, Antikorruption, Geheimhaltung und zulässiger Weitergabe von Leistungen an Dritte.

Nebenangebote sind nicht zugelässig. Unzulässige wettbewerbsbeschränkende Absprachen führen zum Ausschluss; auf Anforderung sind wirtschaftliche und rechtliche Verbindungen offenzulegen. Zwingende F-Positionen müssen erfüllt und vollständig angegeben, alle O-Optionen müssen angeboten und I-Positionen strikt eingehalten werden.