Ausschreibungen Berlin
OV_LK_08-26-0654 Cz-Züchtungsanlage-Oxide-2027
Forschungsverbund Berlin e.V. | Vergabekammer des Landes Berlin | Forschungsverbund Berlin e.V. | Datenservice Öffentlicher Einkauf (in Verantwortung des Beschaffungsamts des BMI)Berlin, BerlinVeröffentlicht:
Angebotsfrist:
Zusammenfassung
Automatisch erstellt aus den VergabeunterlagenDas Leibniz-Institut für Kristallzüchtung (Forschungsverbund Berlin e.V.) beschafft eine schlüsselfertige Czochralski-Züchtungsanlage zur Herstellung von Oxid-Einkristallen (vor allem Galliumoxid, Ga₂O₃).
Die Anlage muss Kristalldurchmesser von 50 bis 100 mm und Kristallgewichte bis 5 kg ermöglichen. Gefordert sind Lieferung frei Verwendungsstelle, Aufstellung, Inbetriebnahme, technische Dokumentation, Werks- und Endabnahme sowie ein Störungsservice.
Das maximale Budget liegt bei 520.000 EUR netto (Angebote darüber werden ausgeschlossen). Die Wertung erfolgt nach dem niedrigsten Wertungspreis inkl. Lebenszykluskosten über 15 Jahre. Angebote sind elektronisch über die Plattform Vergabekooperation.Berlin (AI-Bietercockpit) bis zum 29.07.2026 um 09:00 Uhr einzureichen.
Zeitplan & Fristen
Aus den Vergabeunterlagen extrahiertTermin / FristJUL2026 SEP NOV JAN2027 MÄR MAI JUL SEP
Veröffentlichung13. Juli 2026
Angebotsfrist29. Juli 2026
Angebotsöffnung29. Juli 2026
Bindefrist29. Juli – 30. Sep. 2026
Einspruchsfrist (Nachprüfverfahren)ca. 29. Juli – 13. Aug. 2026
Vertragslaufzeitca. 30. Sep. 2026 – 30. Sep. 2027
Nutzungsdauer (Lebenszykluskosten)ca. 1. Jan. 2027 – 31. Dez. 2041bis 2041
Inbetriebnahme nach Installationca. 30. Sep. – 28. Okt. 2027
vor Angebotsabgabenach Angebotsabgabegeschätzt
Zuschlagskriterien
Gewichtung laut VergabeunterlagenPreis & Qualität1 Kriterium
- Preis100%
Wertungspreis = Angebotspreis zuzüglich Lebenszykluskosten (Stromverbrauchskosten über 15 Jahre). Niedrigster Wertungspreis erhält 100 Punkte, andere erhalten anteilig Punkte nach der Formel (niedrigster Wertungspreis / Wertungspreis X) * 100.
Wertungspreis = Angebotspreis + Lebenszykluskosten (Stromverbrauchskosten über 15 Jahre). Bepunktung Preis: Niedrigster Wertungspreis erhält 100 Punkte, andere Angebote erhalten (niedrigster Wertungspreis / Wertungspreis des Angebots X) * 100 Punkte. Angebot mit höchster Gesamtpunktezahl erhält Zuschlag; bei Punktegleichstand entscheidet das Los.
KI-Hinweis: Zuschlagskriterium Preis mit 100 % Gewichtung und Bewertungsformel vollständig dokumentiert; Lebenszykluskosten fließen über den Wertungspreis in das Preiskriterium ein.
Leistungsumfang
Aus den VergabeunterlagenVerfahren und Anwendung
Einkristall-Züchtung nach dem Czochralski-Verfahren (Cz) aus der SchmelzeHaupteinsatz für Oxid-Einkristalle, insbesondere Galliumoxid (Ga₂O₃)Kristalldurchmesser: ≥ 50 mm (2 Zoll) bis ≤ 100 mm (4 Zoll)Kristallgewicht: bis 5 kgTiegel aus Edelmetall (z. B. Iridium), Durchmesser 100 mm, mit ZrO₂-Keramik-IsolationBetriebstemperatur: mindestens 1800 °C (über Schmelztemperatur)Prozessablauf: Impfkristall wird von oben in die Schmelze getaucht, Ziehen unter Rotation mit einstellbaren Ziehgeschwindigkeiten
Aufbau und Prozesskammer
Doppelwandige, wassergekühlte Edelstahl-WachstumskammerAuslegung 2 bar, Betriebsdruck ca. 1,1 barAtmosphäre: einstellbare Gasatmosphären, Evakuieren und Gasbefüllung möglichProzessdruck: leicht über atmosphärisch, ca. 20–50 mbar Überdruck, statisch oder strömendMaschinenrahmen vibrationsdämpfend, metallischGesamtabmessungen der Anlage: max. 2,5 m × 2,0 m Grundfläche, max. 3,0 m Höhe (Tür am Aufstellungsort 160 cm × 220 cm)
Antrieb, Heizung und Sensorik
Antriebseinheit Kristallziehwelle: Verfahrweg 400 mm, Auflösung 0,01 mm, Drehzahl 1–50 U/minAntriebseinheit Tiegeltranslation: Verfahrweg 200 mmWaage: Kapazität 5 kg, Auflösung ≥ 1 mgHeizung: Mittelfrequenz-Induktion, ca. 20 kHz, max. 30 kW, regelbar; MF-Durchführung; Induktionsspule aus Cu-Rohr Ø 8 mm, 10 Windungen in 2 Gruppen, Ø 120 mm, Höhe 140 mm, Spulenhalter aus Al₂O₃Pyrometer für Tiegelboden (Kanal im Isolationsmaterial, mind. Ø 10 mm)Kombiniertes Kamera-/Pyrometer-Modul auf mobilem Stativ für die Schmelzoberfläche
Steuerung und Software
PC mit Windows 11, grafische Nutzeroberfläche (GUI)Steuergeräte für Motoren, manuelle FernsteuerungPID-Regelung, Rezeptverwaltung mit bis zu 50 SegmentenProzessvisualisierung und Datenaufzeichnung im ASCII-FormatLieferung der Installationsmedien für Software inkl. Installationsanleitung
Medienversorgung und Peripherie
Gasversorgung (vom Auftraggeber bis 10 m vor Anlage bereitgestellt): 2 unabhängige 6-mm-Leitungen, z. B. Ar/N₂ und O₂/CO₂Stromversorgung: Unterverteilung, max. 80 A Vorsicherung, nach DIN EN 60204Kühlwasser: 4 bar Versorgungsdruck, druckloser Rücklauf, Durchflussmessgeräte, LeckageüberwachungVakuumpumpe: Enddruck < 5·10⁻³ mbar, Saugleistung ≤ 40 m³/hVakuummeter: Bereich 10⁻⁴ bis 1200 mbarSauerstoffsensor: ZrO₂-basiert, 0–100 %Gasmischsystem mit Mass-Flow-Controllern (MFCs)
Sicherheit, Normen und Konformität
CE-Kennzeichnung aller Arbeitsmittel, EG-Konformitätserklärung in deutscher SpracheHerstellererklärung für unvollständige Maschinen (Anhang II B), EG-Baumusterprüfbescheinigung wo erforderlichMaschinenrichtlinie 2006/42/EG, EMV-Richtlinie 2014/30/EU, Niederspannungsrichtlinie 2014/35/EU, RoHS 2011/65/EU, DIN EN 60204-1 (2019)Explosionsschutzdokument gemäß ArbeitsschutzverordnungLärmemission < 75 dB(A)Einhaltung deutscher Arbeitsmittelgesetze und -verordnungen
Lieferung, Installation und Abnahme
Lieferung „frei Verwendungsstelle" an Leibniz-Institut für Kristallzüchtung, Raum 19.31.101, Max-Born-Straße 2, 12489 BerlinVor-Ort-Montage, Ausrichtung, InbetriebnahmeWerksabnahme: Züchtungsexperiment beim Auftragnehmer (Aufbau und Ausgangsmaterial vom Auftraggeber)Endabnahme: Züchtungsexperiment beim Auftraggeber (z. B. mit Al₂O₃, Ga₂O₃)Dem Auftraggeber stehen nach Installation bis zu 4 Wochen für die Endabnahme zur VerfügungStörungsservice: deutschsprachiger Servicetechniker vor Ort innerhalb von 2 Arbeitstagen nach Störungsmeldung
Dokumentation
Vollständige technische Dokumentation, in deutscher Sprache und als PDF, u. a.:Systembeschreibung / BedienungsanleitungSoftwarebeschreibung mit Programmablaufdiagramm und FunktionsbeschreibungNotfallplanInstallationsmedien für Software inkl. InstallationsanleitungBaugruppen- und Montagezeichnungen mit Stückliste
Eignungskriterien
Geforderte Nachweise laut VergabeunterlagenPersönliche Eignung / Ausschlussgründe
Erklärung zu Ausschlussgründen gemäß VgV § 25 (keine Verurteilungen, keine Insolvenz, keine schweren Verfehlungen)Eigenerklärung zur EU-Sanktionsverordnung VO (EU) 2022/833 (kein Russland-Bezug; auch für Unterauftragnehmer/Lieferanten > 10 % Auftragswert, auch für die gesamte Vertragslaufzeit)Bieterangaben WettbewerbsregisterErklärung gemäß § 1 Abs. 2 FrauenförderverordnungEinhaltung des Berliner Ausschreibungs- und Vergabegesetzes (BerlAVG), inkl. der Besonderen Vertragsbedingungen (BVB) zu Frauenförderung, Mindeststundenentgelt/Tariftreue, Verhinderung von Benachteiligungen, Kontrollen/Sanktionen und Umweltschutzanforderungen
Technische und berufliche Leistungsfähigkeit
Mindestens eine Referenz über die erfolgreiche Lieferung und Inbetriebnahme einer Schmelzzüchtungsanlage (Cz oder FZ) für Halbleiter-Einkristalle bei Temperaturen > 1000 °C, von vergleichbarer KomplexitätReferenz darf max. 3 Jahre alt sein (rückwirkend ab Bekanntmachung; maßgeblich: Jahr der Inbetriebnahme)Pflichtangaben pro Referenz: Name des Auftraggebers, Jahr der Inbetriebnahme, Kurzbeschreibung des AuftragsDie Vergabestelle behält sich vor, für ausgewählte Referenzen die Kontaktdaten des Referenzgebers gesondert nachzufordern; Nichtbefolgung oder Scheitern der Nachprüfung führen zum Ausschluss
Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit
Nachweis der wirtschaftlichen und finanziellen Leistungsfähigkeit (z. B. durch Jahresabschlüsse oder Umsatzzahlen), soweit in den Vergabeunterlagen gefordertStellung einer unbefristeten Bankbürgschaft (Bank mit EU-Sitz) für die Vorauszahlung (30 %), Kosten trägt der Auftragnehmer; für deutsche Auftragnehmer inkl. Umsatzsteuer
Angebotsbezogene Anforderungen
Angebotsunterlagen in deutscher SpracheBestätigung der Erfüllung aller Mindestkriterien aus der Leistungsbeschreibung (Fragebogen 1.1); Nichterfüllung führt zum zwingenden AusschlussKeine Anwendung eigener AGB des Bieters (Fragebogen 1.2)Akzeptanz der Auftragsverarbeitungsvereinbarung gem. Art. 28 DSGVO (Fragebogen 1.4)Angabe des Strombedarfs in Watt (Fragebogen 1.3) für die Ga₂O₃-Schmelze in Iridium-Tiegel (100 mm) mit ZrO₂-Isolation bei mind. 1800 °CVerbindliche Lieferzeitangabe (Fragebogen 1.5), maximal 12 Monate ab AuftragserteilungAngebotssumme netto und brutto im Leistungsverzeichnis eintragen, Angebot unterzeichnen
Bietergemeinschaften und Unterauftragnehmer
Bei Bietergemeinschaften: Erklärung aller Mitglieder (Arbeitsgemeinschaft, Bevollmächtigter, gesamtschuldnerische Haftung)Bei Unterauftragnehmern: Benennung im Angebot mit Name, Kontaktdaten und gesetzlichen Vertretern; ggf. Eignungsleihe gemäß VgV/UVgO nachweisen; Verpflichtungserklärung anderer Unternehmer beifügenAuftragnehmer und Unterauftragnehmer haften bei Eignungsleihe gemeinsam, soweit vereinbart
Referenzprojekte
mindestens 1 ReferenzenZeitraum: max. 3 Jahre rückwirkend ab Bekanntmachung (maßgeblich: Jahr der Inbetriebnahme)Volumen: nicht spezifiziert
Erfolgreiche Lieferung und Inbetriebnahme einer Schmelzzüchtungsanlage (z. B. Czochralski oder Float-Zone) für Halbleiter-Einkristalle bei Temperaturen über 1000°C, von vergleichbarer Komplexität
Name des Auftraggebers, Jahr der Inbetriebnahme, Kurzbeschreibung des Auftrags; Vergabestelle behält sich Nachforderung der Kontaktdaten des Referenzgebers vor (bei Nichtbefolgung zwingender Ausschluss)
KI-Hinweis: Alle Eignungskriterien wurden per KI aus den Vergabeunterlagen extrahiert. Mit TendiGo prüfen Sie in wenigen Minuten, ob Ihr Unternehmen die Anforderungen erfüllt.
Wettbewerb & Angebotsprognose
Erwartete Konkurrenz auf Basis vergleichbarer Vergaben1–3Angebote erwartet
Median vergleichbarer Vergaben: rund 2 Angebote
Wahrscheinliche Bieterzahl
1–3 · 61%4–10 · 26%11+ · 13%
Checkliste zur AngebotsabgabeKonkrete Schritte laut Vergabeunterlagen0 von 24 erledigt
Pflicht-Formulare und Erklärungen
Technisches Angebot und Referenzen
Nur bei Bietergemeinschaft / Unterauftragnehmer
Angebotsformalien
Verlauf dieser Vergabe
4 Bekanntmachungen- 23.08.2026Vergabebekanntmachung
Verfahren aufgehoben (23.08.2026)
- 13.07.2026Ausschreibungauf dieser Seite
- 23.06.2026Ausschreibung
- Abgabefrist: 14.08.2026 → 29.07.2026
- 22.06.2026Ausschreibung
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Auftraggeber
Forschungsverbund Berlin e.V. | Vergabekammer des Landes Berlin | Forschungsverbund Berlin e.V. | Datenservice Öffentlicher Einkauf (in Verantwortung des Beschaffungsamts des BMI)
Anschrift
12489 Berlin
Ort
12489 Berlin
Kategorie
Berlin
Veröffentlicht
Angebotsfrist
Auftraggeber-Website
www.fv-berlin.de ↗Erfüllungsort
Ort der Leistung
12489 Berlin
Berlin
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