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Ausschreibungen Sachsen

Pads für Mirra

Fraunhofer ENAS09126 Chemnitz, SachsenVeröffentlicht:
Angebotsfrist:

Zusammenfassung

Automatisch erstellt aus den Vergabeunterlagen

Die Fraunhofer-Gesellschaft, Institut ENAS in Chemnitz, beschafft 12 Polierpads für die CMP-Anlage MIRRA. Die Pads müssen mit den integrierten optischen Sensoren der MIRRA kompatibel sein und für das Oxid-Polieren von 8-Zoll-Wafern geeignet sein.

Angebote können bis zum 29.10.2026 um 14:00 Uhr eingereicht werden. Die Bindefrist endet am 27.11.2026.

Das Verfahren ist eine öffentliche Ausschreibung nach UVgO ohne Losteilung.

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Zeitplan & Fristen

Aus den Vergabeunterlagen extrahiert
Angebotsfrist: 29. Oktober 2026
Termin / FristOKT2026NOV
Bieterfragen-Fristca. 17. Okt. 2026
Bieterfragen-Frist Beantwortungca. 23. Okt. 2026
Angebotsfrist29. Okt. 2026
Bindefrist29. Okt. – 27. Nov. 2026
VeröffentlichungDatum offenVeröffentlichungsdatum der Ausschreibung in den vorliegenden Unterlagen nicht ausgewiesen.
AngebotsöffnungDatum offenÖffnung der Angebote – Zeitpunkt in den vorliegenden Unterlagen nicht angegeben.
ZuschlagDatum offenZuschlagszeitpunkt in den vorliegenden Unterlagen nicht konkretisiert; erfolgt voraussichtlich innerhalb der Bindefrist.
VertragsbeginnDatum offenIm Dokument 634 ist „schnellstmöglich“ vermerkt; konkretes Datum nicht ausgefüllt.
AnlieferungDatum offenLieferzeitpunkt in den Besonderen Vertragsbedingungen nicht ausgefüllt (schnellstmöglich vorgesehen).
VertragsendeDatum offenEnde der Ausführung in den Besonderen Vertragsbedingungen nicht ausgefüllt.
vor Angebotsabgabenach Angebotsabgabegeschätzt

Zuschlagskriterien

Gewichtung laut Vergabeunterlagen
Preis & Qualität2 Kriterien
Preis 50%Qualität 50%
  • Preis50%

    Angebotspreis (ohne MwSt.), niedrigster Preis erhält volle Punktzahl, doppelter Preis 0 Punkte, lineare Interpolation

  • Lieferzeit50%

    Lieferzeit, schnellste Lieferzeit erhält volle Punktzahl, doppelt so lange Lieferzeit 0 Punkte, lineare Interpolation

Metrische Kriterien: Niedrigster Angebotspreis/schnellste Lieferzeit erhält volle Punktzahl; fiktiver doppelt so hoher Preis bzw. doppelt so lange Lieferzeit erhält 0 Punkte; lineare Interpolation der dazwischenliegenden Angebote. Nichtmetrische Kriterien: Bewertung anhand einer Punkteskala 0–100 (100=sehr gut, 80=gut, 60=befriedigend, 40=ausreichend, 20=mangelhaft, 0=Ausschluss). Gesamtpunkzahl = Summe der gewichteten Punkte je Zuschlagskriterium.

KI-Hinweis: Zuschlagskriterien und Gewichtungen (Preis 50 %, Lieferzeit 50 %) sind im Formblatt PR1310246 _award criteria Zuschlagskriterien.pdf eindeutig festgelegt; die Bewertungsmethode ist in der Handreichung und den AwardConditions detailliert beschrieben.

Leistungsumfang

Aus den Vergabeunterlagen

Liefergegenstand

Beschafft werden 12 Polierpads für die CMP-Anlage MIRRA im Labor des Fraunhofer ENAS in Chemnitz.

Einsatzgebiet: Oxid-Polieren von 8-Zoll-Wafern.

Die Anlage MIRRA wurde ursprünglich mit DuPont-/Qnity-Pads betrieben; gleichwertige Alternativen sind zulässig, sofern sie die technischen Anforderungen erfüllen.

Technische Anforderungen

Optisches Fenster:

Material muss die Signale der MIRRA-Sensoren zuverlässig durchlassen, ohne das Sensorsignal zu beeinflussen.Geometrie des Fensters muss exakt zu den in den Platen integrierten Sensoren passen (Kavität für planare Oberfläche).

Pad-Aufbau und -Eigenschaften:

Stack-Pad bestehend aus Subpad (50 mil) und Toppad (80 mil).Pad-Durchmesser: 20 Zoll.Kontrolliertes Polieren ohne Wafer-Slip, vergleichbar mit DuPont Pad IC 1000.Soft-Pad-Eigenschaften mit besserer Konformität und Druckverteilung, vergleichbar mit DuPont Pad IC 1000.

Qualifikationsanforderungen für alternative Anbieter

Bieter, die nicht Qnity-Pads anbieten, müssen vier Qualifikationstests auf der MIRRA-Anlage nachweisen:

1. Homogene und reproduzierbare Oxid-Abtragsrate auf der MIRRA.

2. Prozessstabilität und geringe Wafer-Slip-Rate (statistische Untersuchungen mit 8-Zoll-Wafern).

3. Geeignete Oberflächenqualität – keine Kratzer, keine Defekte.

4. Zuverlässige Funktion des optischen Fensters mit Endpunkterkennung.

Liefermodalitäten

Lieferung "schnellstmöglich" nach Chemnitz. Die Anlieferung wird durch den Auftraggeber (über Architekten/Ingenieur) überwacht. Konkrete Liefertermine sind im Vertrag festzulegen.

Eignungskriterien

Geforderte Nachweise laut Vergabeunterlagen

Firmenprofil

Vorlage eines Firmenprofils mit folgenden Mindestangaben:

GründungsjahrWichtige Meilensteine des UnternehmensAnzahl der MitarbeiterHergestellte Produkte / erbrachte Leistungen

Alle Angaben in Textform; keine Links oder Bilder.

Wirtschaftliche Leistungsfähigkeit

Angabe der Umsätze für die Geschäftsjahre 2022, 2023 und 2024 sowie – falls vorhanden – für 2025.

Ausschlussgründe (§§ 123, 124 GWB)

Unterzeichnete Eigenerklärung, dass keine Ausschlussgründe nach §§ 123 und 124 GWB vorliegen. Dazu zählen insbesondere:

Strafrechtliche Verurteilungen (u.a. wegen Bestechung, Betrug, Untreue, Insolvenzstraftaten)Verstöße gegen Steuer- und SozialabgabenpflichtenVerstöße gegen umwelt-, sozial- oder arbeitsrechtliche PflichtenInsolvenzverfahrenSchwerwiegendes Fehlverhalten / WettbewerbsverstößeInteressenkonflikteWesentliche Mängel bei früheren öffentlichen AufträgenIrreführung der VergabestelleSchwarzarbeit, Verstöße gegen Mindestlohn- und AufenthaltsgesetzVerstöße gegen Lieferkettensorgfaltspflichten (LkSG) und Tariftreue (BTTG)

Bei Auftragswert ≥ 30.000 EUR wird für den vorgesehenen Auftragnehmer zusätzlich ein Auszug aus dem Gewerbezentralregister bzw. eine Wettbewerbsregister-Abfrage (WRegG) angefordert.

Gewerberechtliche Voraussetzungen

Erklärung, dass die gewerberechtlichen Voraussetzungen für die Ausführung der angebotenen Leistung erfüllt werden.

Bonität (bei hohen Auftragswerten)

Bei Auftragswert > 500.000 EUR behält sich der Auftraggeber vor, eine Bonitätsauskunft (z.B. Creditreform oder Coface) einzuholen.

Pflichten aus dem Vergabeverfahren

Anerkennung der Langfassung des Leistungsverzeichnisses als alleinverbindlichKenntnisnahme, dass Änderungen der Vergabeunterlagen Bestandteil des Angebots werdenAkzeptanz des pauschalen Schadensersatzes von 15 % der Bruttoabrechnungssumme bei nachweislich unzulässiger WettbewerbsbeschränkungAngebot in deutscher oder englischer SprachePreise in EUR, ohne Umsatzsteuer, maximal 3 Nachkommastellen
KI-Hinweis: Alle Eignungskriterien wurden per KI aus den Vergabeunterlagen extrahiert. Mit TendiGo prüfen Sie in wenigen Minuten, ob Ihr Unternehmen die Anforderungen erfüllt.

Wettbewerb & Angebotsprognose

Erwartete Konkurrenz auf Basis vergleichbarer Vergaben
1–3Angebote erwartet
Median vergleichbarer Vergaben: rund 2 Angebote
Geringe Konkurrenz
Wahrscheinliche Bieterzahl
1–3 · 88%4–10 · 11%11+ · 1%
Checkliste zur AngebotsabgabeKonkrete Schritte laut Vergabeunterlagen0 von 16 erledigt
Pflicht-Angebotsunterlagen
Auf gesondertes Verlangen vorzulegen
Vertragliche Erklärungen (bei Zuschlag / Vertragsschluss)
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Auf einen Blick

Auftraggeber
Fraunhofer ENAS
Ort
09126 Chemnitz, Sachsen
Kategorie
Sachsen
Veröffentlicht
Angebotsfrist
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Erfüllungsort

Ort der Leistung
09126 Chemnitz
Sachsen

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