Wärmeträgerflüssigkeit Galden HT170
Zusammenfassung
Automatisch erstellt aus den VergabeunterlagenAuftraggeber: Fraunhofer-Institut für Elektronische Nanosysteme ENAS, Technologie Campus 3, 09126 Chemnitz
Was wird beschafft: 5 kg der Wärmeträgerflüssigkeit Galden HT170 (Hydrofluorpolyether) als Verbrauchsmaterial für eine Ätzanlage. Die Flüssigkeit muss für den DRIE/Noschprozess an SPTS-Rapier-Ätzanlagen von KLA/SPTS freigegeben sein.
Verfahren: Öffentliche Ausschreibung nach UVgO, ein einziges Los (keine Losaufteilung). Nebenangebote sind nicht zugelassen.
Angebotsfrist: 30.10.2026, 14:00 Uhr, elektronisch über die Vergabeplattform der Vergabestelle. Die Bindefrist endet am 20.11.2026.
Zuschlagskriterien: Preis (50 %) und Lieferzeit (50 %).
Eignung: Firmenprofil, Umsatzangaben 2022 bis 2024 (2025, falls vorhanden) und eine unterschriebene Eigenerklärung zum Nichtvorliegen von Ausschlussgründen.
Hinweis: Die Unterlagen sind unvollständig. Es fehlen unter anderem der Inhalt der Eignungskriterien, Angaben zum Auftragswert sowie Teile des Leistungsverzeichnisses.
Zeitplan & Fristen
Aus den Vergabeunterlagen extrahiertZuschlagskriterien
Gewichtung laut Vergabeunterlagen- Preis50%
Angebotspreis / Wertungssumme des Angebots
- Lieferzeit50%
Lieferzeit der Wärmeträgerflüssigkeit Galden HT170
Leistungsumfang
Aus den VergabeunterlagenGegenstand der Lieferung
Lieferung von Galden HT170, einer Wärmeträgerflüssigkeit auf Basis von Hydrofluorpolyether.\nVerwendung: Verbrauchsmaterial für die Ätzanlage (DRIE/Noschprozess an SPTS-Rapier-Ätzanlagen).
Menge
5 kg Galden HT170.
Lieferort und Lieferbedingungen
Lieferung DAP (Incoterms 2020) an Fraunhofer ENAS, Technologie Campus 3, 09126 Chemnitz, einschließlich Verpackung und Versicherung.
Verpackung und Dokumentation
Rücknahme der Verpackungen gemäß Verpackungsverordnung am Sitz des Instituts. Kosten für Rücknahme und Rücktransport trägt der Auftragnehmer.\nFür den Betrieb erforderliche technische Unterlagen sind bereitzustellen.
Eignungskriterien
Geforderte Nachweise laut VergabeunterlagenFirmenprofil
Darstellung des Unternehmens in Textform mit Gründungsjahr, wichtigen Meilensteinen, Mitarbeiterzahl und Beschreibung der Produkte bzw. Leistungen. Keine Links und keine Bilder.
Umsatz
Umsatzangaben für die Geschäftsjahre 2022, 2023 und 2024. 2025 zusätzlich, falls vorhanden.
Ausschlussgründe
Unterschriebene Eigenerklärung, dass keine Ausschlussgründe nach GWB vorliegen.
Technische Mindestanforderung
Freigabe von KLA/SPTS für den DRIE/Noschprozess an SPTS-Rapier-Ätzanlagen. Nichterfüllung führt zum Ausschluss.
Wettbewerb & Angebotsprognose
Erwartete Konkurrenz auf Basis vergleichbarer VergabenVerlauf dieser Vergabe
2 Bekanntmachungen- 17.10.2026Ausschreibungauf dieser Seite
- Beschreibung geändert
- 16.10.2026Ausschreibung
Auf einen Blick
Erfüllungsort
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