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200 mm Wafer Prober incl. Temperature Testing (IIS-05.1) - PR1227015-2440-P

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Angebotsfrist: noch 22 Tage

Zusammenfassung

Automatisch erstellt aus den Vergabeunterlagen

Öffentliche Ausschreibung (offenes Verfahren, EU-weit) der Fraunhofer-Gesellschaft, Vergabe PR1227015-2440-P.

Beschafft wird ein Wafer-Probing-System für das Fraunhofer IIS in Erlangen zur Charakterisierung und zum Test-Engineering von Sensor-ICs und Chiplets. Das System soll 200 mm und 300 mm Wafer sowie 300 mm Dicing Frames handhaben können.

Pflicht-Bestandteile:

Verdunkelte DuT-Kammer (für optische Sensoren)Nichtmagnetischer, temperierbarer Wafer-Chuck (für magnetische Sensoren): -55 °C bis 200 °C, Stabilität ≤ ±3 K, Genauigkeit ≤ ±4 KHohe Probing-Genauigkeit: X/Y ≤ 1 µm, Z ≤ 2 µmLieferung DPU nach Erlangen inkl. Installation, Inbetriebnahme und EinweisungSchulung für mindestens 3 Ingenieure, GUI-Software, 7 Jahre Ersatzteil- und Engineering-Support

Optional anbietbar: Trockenluftregelung (ATT), Hochspannungsvorbereitung, OCR-Lesegerät, Wafer-ID-Erfassung (Text/Barcode/QR), Fernsteuerung, GPIB-Schnittstelle.

Angebotsfrist: 07.09.2026, 13:30 Uhr (elektronisch über vergabe.fraunhofer.de).

Ausschreibung ansehen

Zeitplan & Fristen

Aus den Vergabeunterlagen extrahiert
Noch 22 Tage bis zur Angebotsfrist — 07. September 2026
HEUTE
Termin / FristDEZ2025 MÄR JUN SEP DEZ MÄR JUN
Eingeschränkte Informationsauskünfte22. Dez. 2025 – 6. Jan. 2026
Bieterfragen-Frist26. Aug. 2026
Angebotsfrist7. Sep. 2026
Angebotsöffnung7. Sep. 2026
Bindefrist7. Sep. – 22. Nov. 2026
Zuschlagca. 7. Nov. 2026
Bankbürgschaft (Anzahlungsbürgschaft)ca. 8. Nov. – 5. Dez. 2026
Vertragslaufzeitca. 1. Dez. 2026 – 31. Okt. 2027bis 2027
Ausführungsbeginn1. Juli – 31. Juli 2027
Gewährleistungca. 1. Aug. 2027 – 31. Juli 2028bis 2028
Ersatzteilhaltungca. 1. Aug. 2027 – 31. Juli 2034bis 2034
Engineering-Supportca. 1. Aug. 2027 – 31. Juli 2034bis 2034
vor Angebotsabgabenach Angebotsabgabegeschätzt

Zuschlagskriterien

Gewichtung laut Vergabeunterlagen
Preis & Qualität20 Kriterien
Preis 17.5%Qualität 82.5%
  • Preis35%

    Angebotspreis (ohne MwSt) inkl. Optionen. Metrische Bewertung: niedrigster Preis erhält volle Punktzahl, ein doppelt so hoher Preis erhält 0 Punkte, lineare Interpolation dazwischen.

  • Lieferzeit

    Verbindliche Lieferzeit in Kalenderwochen ab Auftragsvergabe. Metrische Bewertung: kürzeste Lieferzeit erhält volle Punktzahl, doppelte Lieferzeit erhält 0 Punkte, lineare Interpolation. Hinweis: Die Lieferzeit ist als Fragebogen im LV enthalten, eine genaue eigene Gewichtung in Prozent innerhalb der 65% technische Ausführung ist nicht explizit ausgewiesen.

  • Technische Ausführung des Produktes / der DL65%

    Technische Leistungsmerkmale des Wafer- und Frame-Probing-Systems. Bewertung der einzelnen B- und O-Kriterien aus der Technical Tender Spec anhand einer Skala von 0-100 Punkten (Noten 1-5). Die Gesamtgewichte der LV-Positionen summieren sich auf 99 GP (8+8+8+8+9+3+22+5+3+3+3+13+2+2+1+1+1+2 = 99).

Metrische Kriterien (Preis, Lieferzeit): Lineare Interpolation. Niedrigster Wert erhält volle Punktzahl, ein doppelt so hoher Wert erhält 0 Punkte, dazwischen wird linear interpoliert. Nicht-metrische Kriterien: Bewertung auf einer Skala von 0-100 Punkten mit Noten 1-5 (100%, 80%, 60%, 40%, 20%, 0%). Gesamtbewertung = Summe der gewichteten Punkte je Zuschlagskriterium.

KI-Hinweis: Die Hauptkriterien (Preis 35%, Technische Ausführung 65%) und die Bewertungsmethode sind klar definiert. Die exakte Gewichtung der Lieferzeit als Unterkriterium im 65%-Block ist nicht explizit beziffert; die Summe der Bewertungspunkte der LV-Positionen ergibt 99 GP statt 100.

Leistungsumfang

Aus den Vergabeunterlagen

Hauptliefergegenstand

1 Stück Wafer- und Frame-Probing-Maschine (200 mm / 300 mm) inkl. Temperature Testing für das Fraunhofer IIS, Lieferadresse 91058 Erlangen (Schottkystraße 10 bzw. Am Wolfsmantel 33). Lieferung erfolgt DPU (Incoterms 2020) – inklusive Verpackung, Versicherung, Installation, Inbetriebnahme und Einweisung. Versandart: Seefracht (DAP).

Funktionalität & Handhabung

Automatisiertes Beladen, Ausrichten und Testen aus Kassette oder FOUPSingle-Die-Probing, automatisches Ausrichten von Prüfpunkten und NadelnBump- und Pad-Probing möglichHandhabung von 200 mm Wafern, 300 mm Wafern und 300 mm Dicing Frames

Pflicht-Merkmale (Ausschlusskriterien)

Verdunkelte DuT-Kammer (für optische Sensoren)Nichtmagnetischer Wafer-Chuck (Active-Air-Cooling/Heating, kein externes Wasser-Kühlsystem)Temperaturbereich: -55 °C bis 200 °CTemperaturstabilität: ≤ ±3 K, Temperaturgenauigkeit: ≤ ±4 KX/Y-Genauigkeit ≤ 1 µm, Z-Genauigkeit ≤ 2 µm (über den gesamten Temperaturbereich)Anschluss: 230 V AC, 50 Hz, 16 ALAN-Schnittstelle (Pflicht)CE-Kennzeichnung, Elektriksicherheits-ProtokollTester-Interface vorbereitet für 12" Pogo-Tower-Docking (z. B. Advantest 93000 Exa-Scale CX)Automatisches Probekarten-Wechselsystem

Software, Steuerung & Schnittstellen

GUI-Software für Betrieb und SteuerungHigh-Level- und Low-Level-BefehlssätzeRemote-Control-Fähigkeit (LAN, FTP-Server)GPIB-Schnittstelle (IEEE-488) – als Option (siehe Optionale Positionen)

Schulung, Support & Verfügbarkeit

Schulung für mindestens 3 Ingenieure (Programmierung, Bedienung, Software-Tools)Applikationssupport per E-Mail und TelefonGarantie- und Supportverfügbarkeit: 7 Jahre ab Abnahme/Sign-offService-Reaktionszeit on-site: ≤ 8 Stunden an Arbeitstagen

Optionale Positionen (separat zu bepreisen)

ATT Dry Air Control (Trockenluftregelung)High-Voltage-Preparation (Hochspannungsvorbereitung)OCR-Reader Top-Side (Oberseite)Wafer-ID-Erfassung (Text mit Standard- und Non-Standard-Fonts, Barcode, QR-Code)Fernsteuerung (Remote Control)GPIB-Schnittstelle (IEEE-488)

Optionen fließen in die preisliche Bewertung ein; wer sie nicht anbietet, wird nicht ausgeschlossen, erhält aber 0 Punkte. Die Preisgarantie für Optional-Positionen muss mindestens 1 Jahr ab Vertragsschluss betragen.

Konformität & Dokumentation

Nachweis der Einhaltung von Umgebungs-, EMC- und Sicherheitsanforderungen (Site Preparation Guide, Safety Manual, CE Assessment Report)Konformitätserklärung (CE) und Elektriksicherheits-Protokoll sind bei Lieferung vorzulegenDrittsoftware und Open-Source-Komponenten sind im Angebot kenntlich zu machen

Eignungskriterien

Geforderte Nachweise laut Vergabeunterlagen

Ausschlussgründe (zwingend zu erklären)

Der Bieter darf keine Ausschlussgründe nach § 123 oder § 124 GWB aufweisen. Dazu zählen insbesondere strafrechtliche Verurteilungen (z. B. §§ 129, 129a, 129b StGB – kriminelle/terroristische Organisationen, § 89c StGB – Terrorismusfinanzierung, § 261 StGB – Geldwäsche, §§ 263, 264 StGB – Betrug/Subventionsbetrug, § 299 StGB – Bestechung, §§ 333, 334, 335a StGB – Vorteilsgewährung/Bestechung, §§ 108e, 108f StGB – Abgeordnetenbestechung, IntBestG – Auslandsbestechung, §§ 232, 233, 233a StGB – Menschenhandel), offene Steuer- oder Sozialversicherungspflichten, Verstöße gegen Umwelt-/Sozial-/Arbeitsrecht, Insolvenz, Kartellrechtsverstöße, Interessenkonflikte, Wettbewerbsverzerrungen, Mängel bei früheren Aufträgen oder schwerwiegende Falschangaben.

Zusätzlich relevant: keine Verurteilungen nach §§ 21 SchwarzArbG, AEntG, AufenthG, MiLoG (>3 Monate Haft oder >2.500 € Geldstrafe), kein Verstoß gegen § 22 LkSG und § 14 BTTG.

'Self-cleaning'-Maßnahmen nach § 125 GWB sind in einem separaten Anhang darzulegen und zu begründen.

EU-Sanktionen (Russland)

Eigenerklärung gem. EU-VO 833/2014 Art. 5k ist verpflichtend von allen Mitgliedern einer Bietergemeinschaft, Subunternehmern und Lieferanten mit >10 % des Auftragswerts abzugeben. Der Bieter darf:

keine russische Staatsbürgerschaft haben und nicht in Russland niedergelassen sein,keine Gesellschafter mit >50 % Anteil haben, die russische Staatsbürger oder in Russland niedergelassen sind,nicht im Auftrag oder auf Anweisung sanktionierter Personen/Organisationen handeln.

Compliance & Integrität

Keine Beteiligung an unzulässigen WettbewerbsbeschränkungenKeine schweren Verfehlungen i. S. d. Korruptionsprävention (Straftaten wie Bestechung, Betrug, Subventionsbetrug, Untreue, Urkundenfälschung, wettbewerbsbeschränkende Absprachen)Einhaltung von Steuergesetzen, Sozialversicherung, Arbeitsschutz, Mindestentgelt, Anti-Korruption, Geldwäsche, Kartellrecht, Sanktionslisten und ExportkontrolleEinhaltung der Fraunhofer-Nachhaltigkeitsstandards für LieferantenKeine Täuschung über Eignungskriterien im Vergabeverfahren

Technische Eignung (aus dem Leistungsverzeichnis)

F-Positionen (Pflicht) im Leistungsverzeichnis müssen zwingend erfüllt werden – Nichterfüllung oder fehlende Angabe führt zum sofortigen Ausschluss. B-Positionen (Bewertung) und O-Positionen (Optional) sind Bewertungskriterien und müssen vom Bieter adressiert werden; nicht angebotene Optionen erhalten 0 Punkte. N-Positionen (Nachhaltigkeit) sind Pflicht und führen bei Nichterfüllung zum Ausschluss.

Erforderliche Nachweise und Formulare

Eigenerklärung Ausschlussgründe (§§ 123, 124 GWB) – unterschriebenEigenerklärung Russland-Sanktionen (EU-VO 833/2014) – unterschrieben, für Bietergemeinschaft und Subunternehmer >10 %Export Classification Request Form – unterschriebenGgf. Nachversand-Bieterinformation – unterschrieben (falls im Verfahren veröffentlicht)Konformitätserklärung (CE) bei LieferungElektriksicherheits-Protokoll bei LieferungAnzahlungsbürgschaft (falls Anzahlung vereinbart), Vorlage innerhalb von 4 Kalenderwochen nach Zuschlag
KI-Hinweis: Alle Eignungskriterien wurden per KI aus den Vergabeunterlagen extrahiert. Mit TendiGo prüfen Sie in wenigen Minuten, ob Ihr Unternehmen die Anforderungen erfüllt.

Wettbewerb & Angebotsprognose

Erwartete Konkurrenz auf Basis vergleichbarer Vergaben
1–3Angebote erwartet
Median vergleichbarer Vergaben: rund 2 Angebote
Geringe Konkurrenz
Wahrscheinliche Bieterzahl
1–3 · 61%4–10 · 22%11+ · 17%
Checkliste zur AngebotsabgabeKonkrete Schritte laut Vergabeunterlagen0 von 22 erledigt
Angebotsformular & Leistungsverzeichnis
Formale Eigenerklärungen & Nachweise
Technische Pflichtnachweise
Kaufmännische & logistische Pflichtangaben
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Auf einen Blick

Auftraggeber
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Anschrift
80686 München
Ort
91058 Erlangen
Kategorie
Bayern
Veröffentlicht
Angebotsfrist
Auftraggeber-Website
vergabe.fraunhofer.de/

Erfüllungsort

Ort der Leistung
91058 Erlangen
Bayern

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