Zusammenfassung
Automatisch erstellt aus den VergabeunterlagenDas Ferdinand-Braun-Institut (FBH) beschafft im Rahmen des EU-Projekts APECS eine Ionenstrahlätzanlage (Ion Beam Etching) mit Fluor- und Chlor-Chemie für die Halbleiterfertigung im Reinraum.
Die Anlage muss bipolare InP-Chiplets und GaAs-Laser-Chipets auf Wafern bis 200 mm bearbeiten können und in den Betriebsarten CAIBE und RIBE laufen. Gefordert sind u.a. 7 Gaskanäle, automatische Wafer-Beladung, Reinraumklasse ISO 5 sowie eine Steuerung nach SEMI E95.
Lieferung, Installation, Inbetriebnahme, Prozesstraining und Wartung sind Teil des Auftrags. Die Lieferzeit beträgt maximal 12 Monate nach Beauftragung. Zuschlag: technische Realisierung 50 %, Preis 40 %, Service 10 %.
Bieter müssen u.a. 3 Referenzprojekte (EU-weit, letzte 5 Jahre, Anlagen mit F/Cl-Chemie) und einen Mindestjahresumsatz von 2 Mio. € nachweisen.
Zeitplan & Fristen
Aus den Vergabeunterlagen extrahiertZuschlagskriterien
Gewichtung laut Vergabeunterlagen- Preis100%
Angebotspreis als einziges Zuschlagskriterium
Leistungsumfang
Aus den VergabeunterlagenKernleistung
Beschaffung einer Ionenstrahlätzanlage (Ion Beam Etching, IBE) im Rahmen des EU-Projekts APECS.
Technische Anforderungen an die Anlage
Gas- und Vakuumsystem:
Wafer-Handling:
Substrathalter:
Quelle: Kompatibel zu reaktiven Gasen.
Platzbedarf: max. 2 × 3 × 2,8 m (B × T × H).
Steuerung, Software & Endpunkterkennung
Abnahmekriterien & Prozess-Performance
Prozess-Abnahmekriterien (müssen nachweislich erfüllt werden):
Lieferung, Installation & Service
Optionale Leistungen (gesondert zu bepreisen)
Dokumentation & Konformität
Eignungskriterien
Geforderte Nachweise laut VergabeunterlagenBefugnis (rechtlich)
Wirtschaftliche / finanzielle Leistungsfähigkeit
Versicherung
Technische Eignung des Herstellers
Referenzprojekte (Unternehmen)
Schlüsselpersonal
Sozialrechtliche Eignung
Zuschlagskriterien (Wertung)
| Kriterium | Gewichtung |
|---|---|
| Technische Realisierung | 50 % |
| Preis | 40 % |
| Service / Support | 10 % |
Referenzprojekte zu Ionenstrahlanlagen mit Fluor- und Chlor-Chemie (IBE/CAIBE/RIBE) – Produktion, Lieferung, Installation, Wartung
EU-weit; Lieferung innerhalb 12 Monaten nach Vertragsabschluss; Anlage muss zum Zeitpunkt der Angebotsabgabe noch in Betrieb sein; je ca. eine halbe A4-Seite auf Unternehmensreferenzbogen
Technische Referenzen für das gleiche System in Europa (IBE mit F/Cl-Chemie)
Gleiches System in Europa nachgewiesen