Hybride Oxid-Molekularstrahlepitaxie Anlage Technische Physik 2026

Julius-Maximilians-Universität Würzburg als staatliche Einrichtung in Vertretung des FS Bayern | Regierung von Mittelfranken - Vergabekammer Nordbayern | Uni Würzburg Referat 3.3Würzburg, BayernVeröffentlicht: 06. August 2026

Angebotsfrist: 11. September 2026

Zusammenfassung

Automatisch erstellt aus den Vergabeunterlagen

Beschaffung einer hochspezialisierten Forschungsgroßanlage – einer Hybriden Oxid-Molekularstrahlepitaxie (Hybrid Oxide MBE) Anlage – für den Lehrstuhl für Technische Physik an der Julius-Maximilians-Universität Würzburg.

Das System dient zur Herstellung dünner oxidischer Schichten (z.B. BaTiO₃, SrTiO₃ auf Silizium) im Ultrahochvakuum und umfasst Hauptdepositionskammer, Substratmanipulator, Vakuumpumpensystem, verschiedene Verdampferquellen, RF-Sauerstoffplasmaquelle, metallorganische Precursorzuführung sowie umfangreiche In-situ-Diagnostik (RHEED, QMS etc.).

Lieferung inklusive Aufbau, Inbetriebnahme und Schulung am Standort Würzburg. Maximales Budget: 1.400.000 € brutto. Lieferzeit: max. 14 Monate nach Zuschlag.

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Zeitplan & Fristen

Aus den Vergabeunterlagen extrahiert

Angebotsfrist: 11. September 2026

Termin / FristAUG2026SEPOKT

Veröffentlichung7. Aug. 2026

Bieterfragen-Frist1. Sep. 2026

Angebotsfrist11. Sep. 2026

Bindefrist11. Sep. – 11. Okt. 2026

Lieferfristca. 11. Sep. 2026 – 11. Nov. 2027bis 2027

Versand Vorabinformation1. Okt. 2026

vor Angebotsabgabenach Angebotsabgabegeschätzt

Leistungsumfang

Aus den Vergabeunterlagen

Lieferung der Hauptanlage

Lieferung einer vollständigen Hybriden Oxid-Molekularstrahlepitaxie-Anlage (Hybrid Oxide MBE) mit folgenden Komponenten (je 1 Stück, sofern nicht anders angegeben):

Hauptdepositionskammer: Basisdruck <5·10⁻¹⁰ mbar, UHV-kompatibel, bis 4"-Wafer, Schichtdickenuniformität ±5% auf 4", Flüssigstickstoff-Kühlschirm, ≥10 QuellenflanscheSubstratmanipulator: Bis 4"-Wafer, azimutale Rotation 0–50 RPM, Heizung bis ≥1000 °C (SiC-Heizer), Temperaturabweichung ±3 °C auf 4" bei 800 °CPumpensystem: 2× Turbomolekularpumpen (≥2000 L/s N₂), 2× Trockenpumpen (≥30 m³/h, O₂-zertifiziert), Foreline-RedundanzSeparationsventile: UHV-Gate-Valve, elektro-pneumatische Ventile (NC bei Stromausfall), Belüftungs-/SpülventileShutters: Linear Shutters für jede Quelle, Öffnungs-/Schließzeit <1 s

Verdampfer- und Plasmaquellen

Differentially Pumped Effusion Cells: 4 Stück (2× Ba, 2× Sr) – Heißlippe/Doppelfilament, ≥50 ccm Tiegel, Zellisolation ohne Belüftung der Hauptkammer, Temperaturstabilität ±0,5 °CHochtemperatur-Effusionszelle (Ti): 1 Stück, retraktbar – bis ≥1850 °C, ≥10 ccm, Retraktionskonzept für Isolation ohne Belüftung, KorrosionsschutzMulti-Pocket Elektronenstrahlverdampfer: 1 Stück – ≥4 Taschen (≥10 ccm), Cross-Beam-Flux-Kontrolle, WasseraktivierungMetallorganische Quelle (TTIP): 1 Stück – beheizter Precursor-Reservoir, Gasinjektor, MFC/Dosierventil, Stickstoff-Spülung, DifferentialpumpeSauerstoff-Plasmaquelle: 1 Stück – RF 0–250 W, automatische Anpassung, Quarzlampenröhre, Ionenablenkplatten

In-situ-Diagnostik und Vakuumtechnik

In-situ Kontrollausrüstung: Bayard-Alpert-Ionisationsmanometer, Full-Range-Gauge, QMA (1–200 amu), kSA BandiT o.ä. Pyrometer, RHEED-System (≥15 keV), Beam Flux Monitor, QCMLoad-Lock: 1 Stück – Basisdruck <3·10⁻⁸ mbar innerhalb 8 h, Halogen-Heizlampe bis 200 °C, TMP + TrockenpumpePräparationskammer: 1 Stück – für as-capped III-V-Proben, ≥5 Wafer-Halter-UHV-Lagerung, Basisdruck <1·10⁻⁹ mbar, Outgassing-Station bis 500 °CBakeout-System: Reinraumkompatibel, bis 200 °CUSV-System: ≥5 Minuten Überbrückung bei StromausfallMBE-Steuerungssystem: SPS-Steuerung, Sicherheitsinterlocks (Stromausfall, Kühlwasser, Druck), Windows-11-PC, Wachstums-Software, Elektronik-Rack

Inbetriebnahme, Abnahme und Schulung

Commissioning und On-site Training (Pauschale):

Abnahmetest der Anlage (Druck, Heizung, Pumpen, Quellen, Transfer, RHEED, Plasma, Software, Interlocks)Wachstum von BaTiO₃/SrTiO₃ auf Si als FunktionstestSchulung von mindestens 3 Operatoren vor Ort

Lieferbedingungen

Lieferung frei Verwendungsstelle Würzburg (97074), inklusive Aufbau und betriebsbereite ÜbergabeVertragen an Verwendungsstelle (auch über Treppen)Entsorgung aller VerpackungenMaximale Lieferzeit: 14 Monate nach Zuschlagserteilung (Ausschlusskriterium)Maximales Budget: 1.400.000 € brutto (inkl. Zölle, Abgaben, USt)

Eignungskriterien

Geforderte Nachweise laut Vergabeunterlagen

Firmenprofil (Pflichtangaben)

Vom Bieter bzw. jedem Bietergemeinschaftspartner sind anzugeben:

Feste Ansprechperson (Name, Telefon, E-Mail)Handelsregistereintrag, Handelsregisternummer, RegistergerichtErklärung zu bevorzugten Bietern (Werkstätten für behinderte Menschen, Blindenwerkstätten, Inklusionsbetriebe)Erklärung Wettbewerbsregister (§2 WRegG – keine Eintragungen)Berufsgenossenschaft (Bezeichnung + Mitgliedsnummer)KMU-Status gem. EU-Empfehlung 2003/361Grund- bzw. StammkapitalMitarbeiterzahlen (feste MA, Minijobber, freie MA)Gesamtumsatz und Umsatz Leistungsart für 2023, 2024, 2025Ausbildungsplätze (Berufsbezeichnung + Anzahl)NUTS-Code des Unternehmenssitzes

Referenzen (Ausschlusskriterium)

Mindestens 5 installierte Referenzsysteme innerhalb der letzten 10 Jahre (Ausschlusskriterium)Als gleichwertig gelten Hybrid-Oxid-MBE-Systeme oder Oxid-MBE-Systeme mit RF-Sauerstoffplasmaquelle und/oder metallorganischer Precursor-ZuführungFür jede Referenz sind Kontaktdaten des Auftraggebers bzw. einer Ansprechperson zur Referenzprüfung anzugeben

Ausschlusskriterien §123 GWB

Erklärung zu Steuern, Abgaben und Sozialbeiträgen (Ausschlusskriterium)Erklärung: keine anhängigen strafrechtlichen Ermittlungen gegen die Geschäftsleitung (Pflichtangabe)

Ausschlusskriterien §124 GWB

Erklärung: kein vorläufiger Insolvenzverwalter bestellt (Pflichtangabe)

Bedingungen für die Auftragsausführung

Alle nachfolgenden Punkte sind Ausschlusskriterien:

EU-Vorschriften und CE-KennzeichnungGebrauchstauglichkeit gemäß DIN EN/ISO-NormenKeine gesundheits- oder umweltschädlichen StoffeProdukte/Leistungen aus anderen EU-Mitgliedstaaten werden gleichwertig behandelt

Lieferkettensorgfaltspflichtengesetz (LkSG)

Beide Punkte sind Ausschlusskriterien:

Keine Verstöße gegen umwelt-, sozial- oder arbeitsrechtliche VerpflichtungenKein rechtskräftig festgestellter Verstoß nach §24 Abs. 1 LkSG mit Geldbuße nach §22 Abs. 2 LkSG in den letzten 3 Jahren; Selbstreinigung nach §125 GWB ist möglich

Subunternehmen

Angabe, ob Subunternehmer eingesetzt werden (Pflicht)Falls ja: Firmenbezeichnung und Einsatzbereich benennenErklärung, dass Subunternehmer die gleichen Eignungskriterien erfüllen (Ausschlusskriterium)

Weitere Pflichtangaben

Erklärung zur Nicht-Anwendung von Technologien L. Ron Hubbard (K.O.-Kriterium)Angabe zur Gewährleistungsabsicherung (Versicherung, Herstellergarantie oder Bankbürgschaft)Datenschutzbeauftragte/r mit KontaktdatenInformationssicherheitszertifizierungen oder DatenschutzkonzeptOrt der Datenverarbeitung (im EWR; abweichender Ort anzugeben)Eigenerklärung zu Russland-Sanktionen gemäß EU-Verordnung 833/2014 i.d.F. 2022/576 – gilt auch für Unterauftragnehmer/Lieferanten/Unternehmen, deren Kapazitäten >10% des Auftragswerts in Anspruch genommen werden

Referenzprojekte

5 ReferenzenZeitraum: innerhalb der letzten 10 Jahre

Mindestens 5 gleichwertige Referenzsysteme aus den letzten 10 Jahren – Hybrid-Oxid-MBE oder Oxid-MBE mit RF-Sauerstoffplasmaquelle und/oder metallorganischer Precursor-Zuführung

Gleichwertig hinsichtlich Umfang und Leistungsfähigkeit; je Referenz Kontaktdaten des Auftraggebers/Ansprechperson zur Referenzprüfung

KI-Hinweis: Alle Eignungskriterien wurden per KI aus den Vergabeunterlagen extrahiert. Mit TendiGo prüfen Sie in wenigen Minuten, ob Ihr Unternehmen die Anforderungen erfüllt.

Wettbewerb & Angebotsprognose

Erwartete Konkurrenz auf Basis vergleichbarer Vergaben

1–3Angebote erwartet

Median vergleichbarer Vergaben: rund 2 Angebote

Geringe Konkurrenz

Wahrscheinliche Bieterzahl

1–3 · 35%4–10 · 32%11+ · 33%

Checkliste zur AngebotsabgabeKonkrete Schritte laut Vergabeunterlagen0 von 33 erledigt

Angebotsabgabe & Formalitäten

Firmenprofil & Unternehmensangaben

Referenzen

Ausschlusskriterien & Erklärungen (K.O.-Kriterien)

Subunternehmen

Technisches Angebot

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Auf einen Blick

Auftraggeber

Julius-Maximilians-Universität Würzburg als staatliche Einrichtung in Vertretung des FS Bayern | Regierung von Mittelfranken - Vergabekammer Nordbayern | Uni Würzburg Referat 3.3

Anschrift

97070 Würzburg

Ort

97074 Würzburg

Kategorie

Bayern

Zuschlagskriterium

Preis

Veröffentlicht

06. August 2026

Angebotsfrist

11. September 2026