Zusammenfassung
Automatisch erstellt aus den VergabeunterlagenDas Ferdinand-Braun-Institut (FBH) in Berlin beschafft im Rahmen einer 4-jährigen Rahmenvereinbarung ein Rasterelektronenmikroskop (REM/SEM) mit energiedispersivem Röntgenspektroskopie-System (EDXS) für die Halbleiter-Forschung (Wafer bis 200 mm, Reinraum).
Verfahren: Nicht offenes Verfahren mit Teilnahmewettbewerb (zweistufig). In Stufe 1 wird die Eignung der Bewerber geprüft; bis zu 5 Bewerber werden zur Angebotsabgabe in Stufe 2 eingeladen.
Was zu tun ist:
1. Teilnahmeantrag (Stufe 1) bis zum 23.07.2026, 13:00 Uhr elektronisch über die Vergabeplattform (vergabekooperation.berlin) einreichen – inkl. Eignungsnachweisen (Mindestumsatz, Haftpflichtversicherung, Schlüsselpersonal, 3 Referenzprojekte).
2. Bei positiver Auswahl: Angebot (Stufe 2) mit ausgefülltem Preisblatt und technischen Angaben einreichen.
Geschätzter Auftragswert: ca. 1.000.000 € netto (ohne Mehrwertsteuer).
Wichtig: Keine Teilangebote, keine Nebenangebote, keine Aufteilung in Lose.
Zeitplan & Fristen
Aus den Vergabeunterlagen extrahiertAktive Ausschreibung
HEUTE
Termin / FristJUN2026 SEP DEZ MÄR JUN SEP DEZ MÄR JUN SEP DEZ
Veröffentlichung
Bieterfragen-Frist
Beantwortung Rückfragen
Teilnahmefrist
Einladungsfrist
Angebotsfrist
Bindefrist
Ausführungsbeginn
Lieferzeit max.
Rahmenvertrag Laufzeitbis 2030
Vertragsende
Gewährleistung
Support- und Ersatzteillieferungbis 2037
Kathoden-Garantiebis 2037
Verjährung Mängelansprüche
Optionaler Instandhaltungsvertragbis 2033
vor Angebotsabgabenach Angebotsabgabegeschätzt
Zuschlagskriterien
Gewichtung laut VergabeunterlagenPreis & Qualität14 Kriterien
Preis 30%Qualität 70%
- Preis30%
Zuschlagskriterium Preis, bestehend aus gewichteten Preiskomponenten (Lieferung Gerät, Ersatzkathode, User-Lizenzen, Instandhaltungsvertrag). Bewertung gemäß § 127 GWB.
- Qualität70%
Zuschlagskriterium Qualität: Bewertung technischer Gerätemerkmale des Rasterelektronenmikroskops. Die Erläuterungen sind den Verfahrensbedingungen (Punkt 4) zu entnehmen.
Die Bewertungsmethode und die Formeln sind den Verfahrensbedingungen (Punkt 4) zu entnehmen. Im Dokument selbst ist angegeben: Das beste Angebot erhält die maximale Punktzahl, weitere Angebote werden im Verhältnis dazu bewertet. Keine explizite Formel im vorliegenden Dokument.
KI-Hinweis: Die konkrete Bewertungsformel (Punkt 4 der Verfahrensbedingungen) ist nicht im vorliegenden Dokument enthalten, sondern wird in den Verfahrensbedingungen referenziert; ebenso fehlt die genaue Methode zur Punkteberechnung bei mehreren Angeboten.
Leistungsumfang
Aus den VergabeunterlagenHauptlieferung: Rasterelektronenmikroskop (REM)
Komplettsystem mit folgenden Kernanforderungen:
Kathode: Kalte Feldemissionskathode mit garantierter Lebensdauer von mindestens 10 Jahren bei StandardwartungBrillanz: ≥ 10⁸ A/cm² srStrahlstrom: 0,5 pA bis 2 nA, stufenlos regelbarBeschleunigungsspannung: ≤ 20 V (Minimum) bis ≥ 30 kV (Maximum)Auflösung SE-Modus: ≤ 1 nm bei 15 kV (WD=4 mm, 200.000x); ≤ 1 nm bei 1 kV (WD=2 mm, 160.000x)Auflösung mit allen Komponenten (BSE + EDXS): ≤ 1 nm bei 15 kV; ≤ 1,6 nm bei 1 kVVergrößerung: 50x bis ≥ 1.000.000xEvakuierungszeit Schleuse: ≤ 150 SekundenVakuumsystem: Ölfrei mit Turbopumpe, ≤ 50 dBChiller: LuftgekühltProbenkammer/Schleuse: Für Wafer bis 200 mmArbeitsabstand: ≤ 2 mm bis ≥ 35 mmProbentisch: Motorisiert (x, y, z, Theta), Rotation 360°, Kippung −5° bis ≥ +45°Probenhalter: 2″, 3″, 100 mm, 150 mm, 200 mm sowie Klemmhalter für SpaltflächenDetektoren: SE-Detektor (Everhart-Thornley), SE-In-Lens-Detektor, rückziehbarer BSE-HalbleiterdetektorRaster-Modi: Spot-Mode, Line-Scan, Scan-Rotation 0–360°, automatische Kippkorrektur, dynamischer FokusBildauflösung: ≥ 2560 × 1920 PixelBildverarbeitung: Rauschreduzierung, Helligkeit/Kontrast, Messsoftware (Genauigkeit ≤ 1 nm / ≤ 1°)Multi-User-Fähigkeit: Mindestens 3 administrierbare BerechtigungsprofileAufstellfläche: Maximal 2,40 m × 1,90 m plus 0,50 m × 1,00 m für Peripherie
Hauptlieferung: EDXS-Analysesystem
Energiedispersives Röntgenspektroskopie-System als integraler Bestandteil des REM:
Detektor: Peltiergekühlter Si-Drift-Detektor mit aktiver Fläche ≥ 40 mm²Energieauflösung: ≤ 129 eV Mn Kα bei 100.000 cpsElementbereich: Bor bis AmericiumAuswertung: Automatisch, interaktiv und manuell; standardlos und/oder mit selbst definierbaren StandardsMethoden: ZAF und PhiRhoZElementmapping: Mindestens 30 Elemente simultan, ≥ 500 × 400 PixelSpektrales Mapping: Einzug von REM-Bildern mit farbcodierter ElementinformationZusatzfunktion: Software für SchichtdickenanalytikEDX-Arbeitsabstand: ≤ 10 mm
Steuerung, IT-Anbindung und Konformität
Allgemeine technische und organisatorische Anforderungen:
Steuerung: PC-gestützt, Windows 11 oder modernerNetzwerk: Mindestens 2 externe Netzwerkanschlüsse (EDX + IT-Netzwerk)MES-Anbindung: Netzwerkfähigkeit zur Datenübertragung ins Manufacturing Execution SystemDatenspeicherung: Lokale Festplatte plus externer NetzwerkspeicherKonformität: CE-Konformität sowie Einhaltung der deutschen Arbeitssicherheits- und BrandschutzbestimmungenLieferung: Frei Verwendungsstelle (Ferdinand-Braun-Institut, Gustav-Kirchhoff-Straße 4, 12489 Berlin)Dokumentation: Bedienungsanleitungen in Deutsch oder EnglischKamera: CCD-Kamera zur Beobachtung und NavigationSchwingungsdämpfung: Schwingungsgedämpfte Säule
Installation, Schulung und Inbetriebnahme
Im Lieferumfang enthaltene Pflichtleistungen:
Lieferung frei VerwendungsstelleAufstellung, Installation und Inbetriebnahme am Standort BerlinBedienerschulung am FBH für mindestens 3 Mitarbeiterinnen und MitarbeiterNachweis der Multi-User-Fähigkeit (mind. 3 Berechtigungsprofile) z. B. per Auszug aus dem Bediener-HandbuchSicherstellung der Nutzbarkeit im Reinraum (Anbindung an bestehende Versorgung, ggf. Chiller etc.)
Wartung, Support und Garantie (zwingend im Gesamtpreis)
Pflicht-Nebenleistungen während der Gewährleistungsfrist:
Wartung und Support während der 24-monatigen Gewährleistungsfrist im Gesamtpreis enthaltenTechnischer Support: Reaktionszeit Vor-Ort-Service am FBH ≤ 48 StundenErsatzteillieferung: Für mindestens 10 Jahre ab Installation garantiertKathoden-Garantie: Hersteller-Garantie auf Lebensdauer ≥ 10 JahreVertragsstrafen bei Lieferverzug: Ab 2. Woche 0,4 % pro Tag, ab 4. Woche 0,8 % pro WocheMängelansprüche: Verjährung 1 Jahr ab Abnahme (abweichend vom gesetzlichen VOL/B-Standard)
Optionale Leistungen (im Preisblatt zu bepreisen)
Diese Optionen sind Teil der Angebotsbewertung:
Ersatzkathode inkl. Einbau (Option 2.1)User-Lizenzen für Bildbearbeitungssoftware (z. B. PCI), eine Lizenz pro User auf separatem PC (Option 2.2)Instandhaltungsvertrag nach Ablauf der 24-monatigen Gewährleistung (Option 2.3)
Zusätzlich informativ (nicht bewertet, aber erwünscht):
Kosten für Inspektion von 200-mm-Wafern bis zum RandKosten für Probenkippung bis ≥ 70°
Rahmenvereinbarung und Lieferzeit
Rahmenbedingungen für den Auftrag:
Rahmenvereinbarungslaufzeit: 4 Jahre ab VertragsbeginnLieferzeit (REM mit EDXS): Maximal 10 Monate nach AuftragserteilungInbetriebnahme: Innerhalb der Rahmenvereinbarungs-LaufzeitGewährleistung: Mindestens 24 Monate ab Abnahme (zwingender Bestandteil)Optionale Abrufe: Jährlich abrufbar während der Rahmenvereinbarungslaufzeit; je Abruf bis zu 4 Jahre LeistungserbringungBindefrist des Angebots: 4 Monate nach Ablauf der AngebotsfristKeine Abnahmeverpflichtung: FBH ist nicht verpflichtet, bestimmte Mengen oder Leistungen abzurufen
Eignungskriterien
Geforderte Nachweise laut VergabeunterlagenPersönliche und gewerbliche Voraussetzungen
Folgende Nachweise sind von jedem Bewerber zu erbringen:
Befugnis: Natürliche oder juristische Personen mit Sitz in EU, EWR oder Schweiz, die nach den Rechtsvorschriften ihres Herkunftsstaates zur Leistungserbringung berechtigt sindGewerbezentralregister: Eigenerklärung, dass keine Einträge vorliegen, die der Leistungserbringung entgegenstehen; etwaige Einträge sind zu erläuternAusschlussgründe: Eigenerklärung zu zwingenden und fakultativen Ausschlussgründen gemäß §§ 123, 124 GWB (z. B. strafrechtliche Verurteilungen, Nichtzahlung von Steuern/Sozialversicherung, Insolvenz, schwere Verfehlung, Wettbewerbsverzerrung, Täuschung); ggf. Nachunternehmer und Eignungsverleiher ebenfallsMindestlohn-/Tariftreue: Nachweis über die Auszahlung von mindestens 13,69 € brutto pro Stunde (Mindeststundenentgelt Berlin) bzw. Tariflohn oder übertariflichem Lohn an die eigenen Mitarbeiter – Weitergabe an die gesamte UnterauftragnehmerketteBerufs- und Betriebshaftpflichtversicherung: Deckungssumme ≥ 5.000.000 € pro Schadensfall für Vermögens-, Sach- und Personenschäden; aufrechter Versicherungsvertrag; FBH kann die Polizze jederzeit anfordernEignungsleihe: Zulässig gemäß § 47 VgV; Eigenerklärungen für jeden Eignungsverleiher erforderlich; gesamtschuldnerische Haftung aller BeteiligtenBewerber-/Bietergemeinschaft: Gesamtschuldnerische Haftung gegenüber dem FBH; ein bevollmächtigter Vertreter ist zu benennen; Änderung der Zusammensetzung nach Angebotsfrist unzulässigNachunternehmer: Zulässig für Teilleistungen (keine Vollübertragung); Nachweise sind ebenfalls einzureichenAltersgrenze der Nachweise: Nicht älter als 3 Monate zum Zeitpunkt der Vorlage; fremdsprachige Nachweise mit beglaubigter deutscher ÜbersetzungSprache: Sämtliche Erklärungen, Angebotsbestandteile und Formulare in deutscher Sprache; Produktdatenblätter/Prospekte dürfen in englischer Originalsprache eingereicht werden
Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit
Finanzielle Mindestanforderung:
Mindestumsatz: Nettojahresgesamtumsatz ≥ 2.000.000 € im Durchschnitt der letzten 3 abgeschlossenen Geschäftsjahre (je nach Formularvariante 2022–2024 oder 2023–2025)Bezugsgröße: Nur Lieferleistungen einschließlich Wartung und BetriebNicht berücksichtigt: Durchlaufkosten wie reiner Hardware-Ankauf ohne eigene WertschöpfungAndernfalls Ausschluss: NEIN bzw. Nichterfüllung führt im Excel-Formular zum sofortigen Angebotsausschluss
Technische und berufliche Leistungsfähigkeit – Schlüsselpersonal
Anforderungen an das Schlüsselpersonal:
Mindestens 2 qualifizierte Serviceingenieure mit nachgewiesener Erfahrung in Installation und Wartung von Rasterelektronenmikroskopen mit EDXS-SystemenNachweis: Kurzprofile oder Lebensläufe mit Angaben zu Ausbildung/Studienrichtung und einschlägiger BerufserfahrungBei Einsatz über Unterauftragnehmer: Person im Angebot benennen, verbindliche Zusicherung und eindeutige Darstellung der dienstlichen Zugehörigkeit erforderlichVerfügbarkeit: Einsatz für Installation, Inbetriebnahme und Garantie-/Wartungsarbeiten am Standort Berlin
Technische und berufliche Leistungsfähigkeit – Referenzprojekte
Mindest-Referenzprojekte:
Anzahl: Genau 3 ReferenzprojekteSystemidentität: Rasterelektronenmikroskope mit EDXS-AnalysesystemGeografischer Geltungsbereich: EU-weitZeitraum: Abwicklung innerhalb der letzten 5 JahreLieferzeit: Innerhalb von 12 Monaten nach VertragsabschlussBetriebsstatus: Die Anlage muss zum Zeitpunkt der Angebotsabgabe noch in Betrieb und funktionsfähig seinDokumentationsumfang: Jeweils eine halbe A4-Seite ProjektbeschreibungRollenklarheit: Je Projekt angeben, ob eigene Leistung oder Leistung als Mitglied einer Bietergemeinschaft bzw. als SubunternehmerErgänzende Zusatzreferenzen (optional, Auswahlkriterium A): Bis zu 3 weitere Projekte (gleiche Anforderungen wie Mindestreferenzen); pro Projekt 24 Punkte, max. 72 PunkteReferenzschreiben (optional, Auswahlkriterium B): Bis zu 2 positive Schreiben zu den Zusatzprojekten; pro Schreiben 14 Punkte, max. 28 PunkteWichtig: Bereits zur Eignung verwendete Projekte werden bei den Auswahlkriterien nicht erneut gewertetÜberprüfungsrecht: FBH darf zur Überprüfung der Referenzen Kontakt mit den benannten Referenzauftraggebern aufnehmen
Verfahren und Fristen
Rahmenbedingungen des Verfahrens:
Verfahrensart: Nicht offenes Verfahren mit Teilnahmewettbewerb (zweistufig)Mindestanzahl Bewerber für Stufe 2: 5Teilnahmefrist: 23.07.2026, 13:00 Uhr (elektronisch über die Vergabeplattform)Frist für Rückfragen/Auskunftsersuchen: 06.07.2026, 13:00 UhrBeantwortung der Rückfragen: 08.07.2026Versand der Aufforderung zur Angebotsabgabe (Stufe 2): voraussichtlich 05.08.2026Zuschlagskriterium (Stufe 2): QualitätKeine Nebenangebote und keine Teilangebote zugelassenKMU-Eignung: Nein (suitableforsmes: false) – Verfahren ist nicht speziell für KMU ausgestaltetKein Anspruch auf Aufwandsentschädigung/Kostenerstattung für die TeilnahmeNachprüfungsstelle: Vergabekammer des Landes Berlin, Martin-Luther-Straße 105, 10825 Berlin
Referenzprojekte
3 Pflichtreferenzen + bis zu 3 Zusatzreferenzen (optional) ReferenzenZeitraum: Abwicklung innerhalb der letzten 5 Jahre; Lieferzeit jeweils max. 12 Monate nach Vertragsabschluss; Anlage muss bei Angebotsabgabe noch in Betrieb seinVolumen: Nicht beziffert
Lieferung von Rasterelektronenmikroskopen mit EDXS-Analysesystem
EU-weite Lieferung; je Projekt eine halbe A4-Seite Projektbeschreibung; bereits für Eignung verwendete Projekte zählen nicht für Zusatzpunkte
KI-Hinweis: Alle Eignungskriterien wurden per KI aus den Vergabeunterlagen extrahiert. Mit TendiGo prüfen Sie in wenigen Minuten, ob Ihr Unternehmen die Anforderungen erfüllt.
Wettbewerb & Angebotsprognose
Erwartete Konkurrenz auf Basis vergleichbarer Vergaben1–3Angebote erwartet
Median vergleichbarer Vergaben: rund 2 Angebote
Wahrscheinliche Bieterzahl
1–3 · 68%4–10 · 19%11+ · 13%
Checkliste zur AngebotsabgabeKonkrete Schritte laut Vergabeunterlagen0 von 16 erledigt
Formulare und Eigenerklärungen (Teilnahmeantrag Stufe 1)
Technische Eignungsnachweise
Zusätzliche Unterlagen für die Wertung (optional, aber punktebringend)
Angebotsunterlagen (Stufe 2 – nach Aufforderung)
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Auf einen Blick
Auftraggeber
Ferdinand-Braun-Institut gGmbH, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik | Vergabekammer des Landes Berlin | Datenservice Öffentlicher Einkauf (in Verantwortung des Beschaffungsamts des BMI)
Anschrift
12489 Berlin
Ort
12489 Berlin
Kategorie
Berlin
Auftragsvolumen
1,0 Mio €
Veröffentlicht
Angebotsfrist
—
Auftraggeber-Website
www.fv-berlin.de ↗Weitere Ausschreibungen Berlin
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