Zusammenfassung
Automatisch erstellt aus den VergabeunterlagenDie Universität Erlangen-Nürnberg beschafft eine Anlage für reaktives Ionenätzen (RIE) mit induktiv gekoppeltem Plasma (ICP) für den Lehrstuhl für Angewandte Quantentechnologien. Die Anlage muss u.a. Faraday-Cage-Ätzen, entkoppelte Plasma- und Ionenenergie-Regelung, aktive Helium-Rückseitenkühlung, ein Soft-Etch-Verfahren, eine Gasbox mit mindestens 5 Leitungen sowie ein Open-Load-Design für kleine Proben auf Carrier-Wafern bieten. Einsatzgebiete sind die Herstellung freistehender und nanophotonischer Wellenleiter, die Bearbeitung von Diamant (Sauerstoff-Plasma) und SiC (Fluor-Chemie SF6/CHF3) sowie die Nachbearbeitung von FIB-implantierten Defekten.
Angebote müssen elektronisch über die Vergabeplattform www.auftraege.bayern.de eingereicht werden. Angebotsfrist: 11.09.2026, 23:59 Uhr. Zuschlagskriterium: 60 % Preis, 40 % Leistung.
Zeitplan & Fristen
Aus den Vergabeunterlagen extrahiertZuschlagskriterien
Gewichtung laut Vergabeunterlagen- Preis60%
Angebotspreis mit Gewichtung 60% im Verhältnis Preis/Leistung
- Bewertbare Leistungskriterien40%
Gesamtkomplex der bewertbaren Leistungskriterien mit 100% Anteil am Leistungsbereich
Freie Verhältniswahl Preis/Leistung mit Gewichtung 60% Preis : 40% Leistung. Leistungskriterien werden anhand einer Wertungsmatrix mit 0-10 Punkten bewertet (0-3: niedrig, 4-7: durchschnittlich, 8-10: überdurchschnittlich).
Leistungsumfang
Aus den VergabeunterlagenHauptgerät: ICP-RIE-Anlage (Position 2.1)
Lieferung einer reaktiven Ionenätz-Anlage mit induktiv gekoppelter Plasmaquelle (ICP-RIE), 1 Stück.
Mindestanforderungen:
Funktionale Anforderungen:
Steuerung & Software (Position 2.2)
1 Computer zur Steuerung und Auswertung inkl. Software.
Support & Prozeß-Unterstützung (Position 2.3)
1st-Level-Support als Pauschale; Prozeß-Unterstützung für mindestens 10 Jahre nach Endabnahme.
Transport, Aufstellung, Inbetriebnahme & Schulung (Positionen 2.4–2.8)
Gewährleistung & Abgasentsorgung (Positionen 2.9–2.10)
Eignungskriterien
Geforderte Nachweise laut VergabeunterlagenAusschlusskriterien (rechtliche Eignung)
Pflichtangaben & Register
Qualitäts- & Umweltmanagement
Fachliche Eignung (Referenzen & Anwendungsbedingungen)
Referenzen zu vergleichbaren RIE-Geräten mit induktiv gekoppelter Plasmaquelle (ICP-RIE)
Vergleichbarkeit wird durch die Vergabestelle geprüft; je Referenz sind Name des Referenzkunden, Auftragszeitraum, Projektbeschreibung, Auftragsvolumen (netto, Euro), Ansprechpartner inkl. E-Mail und Telefonnummer sowie Verfügbarkeit der fachlichen Leitung anzugeben.