Mikroskopsystem
Zusammenfassung
Automatisch erstellt aus den VergabeunterlagenDie Fraunhofer-Gesellschaft beschafft für das Fraunhofer IZM in Berlin ein motorisiertes aufrechtes Mikroskopsystem für die Inspektion und Vermessung von Halbleiterwafern bis 12 Zoll. Zusätzlich sollen zwei vorhandene Olympus-Mikroskope (MX50L und MX61L) mit Kameras und einer harmonisierten Software aufgerüstet werden.
Der Auftrag umfasst die Lieferung inklusive Installation, Inbetriebnahme, Einweisung und Dokumentation. Es handelt sich um eine öffentliche Ausschreibung mit einer Angebotsfrist am 09.10.2026 um 11:00 Uhr. Das Angebot muss elektronisch über die Fraunhofer-Vergabeplattform eingereicht werden.
Zeitplan & Fristen
Aus den Vergabeunterlagen extrahiertZuschlagskriterien
Gewichtung laut Vergabeunterlagen- Preis100%
Angebotspreis (metrisches Zuschlagskriterium). Lineare Interpolation: niedrigster Preis erhält 100 Punkte, ein fiktiver doppelt so hoher Preis erhält 0 Punkte. (Aspekte: Objektive – Arbeitsabstand, Kontrastverfahren (DIC), Kameraauflösung, Software für Bestandsmikroskope (Objektivansteuerung), Stitching-Funktion (Gesamtbildauflösung))
Preis: lineare Interpolation - niedrigster Preis = 100 Punkte, doppelt so hoher Preis = 0 Punkte. Technische Ausführung: Bewertung anhand Punkteskala 0-100 (Note 1=100%, Note 2=80%, Note 3=60%, Note 4=40%, Note 5=20%, 0=Ausschluss). Gesamtpunkzahl = gewichtete Summe beider Kriterien.
Leistungsumfang
Aus den VergabeunterlagenGesamtstruktur des Auftrags
Es handelt sich um eine einteilige Beschaffung (keine Losaufteilung) im Rahmen einer öffentlichen Ausschreibung. Der Auftraggeber ist die Fraunhofer-Gesellschaft e. V., die Leistung wird am Fraunhofer IZM in Berlin erbracht. Nebenangebote sind nicht zugelassen.
Mikroskopsystem für 12-Zoll-Waferinspektion
Hardware (Pflichtkomponenten):
Software (Pflicht):
Bewertungsrelevante Merkmale:
Aufrüstung der Bestandsmikroskope Olympus MX50L und MX61L
Für jedes der beiden Bestandsmikroskope ist je eine kompatible Mikroskopkamera sowie eine Bildaufnahme-, Mess- und Steuersoftware-Lizenz zu liefern. Adapter, Kabel und Treiber sind mitzuliefern. Ziel ist eine mit dem neuen Mikroskop harmonisierte Softwareumgebung, sodass Anwender an allen drei Systemen mit einheitlicher Bedienung arbeiten können. Bewertet wird u. a., ob die Software die vorhandenen Mikroskope auch automatisiert ansteuern kann.
Installation, Inbetriebnahme und Schulung
Dokumentation und Konformität
Lieferung, Bestimmungsort und Verfügbarkeit
Bestimmungsort: Fraunhofer IZM, Gustav-Meyer-Allee 25, Gebäude 17/3 (Reinraum Geb. 16), 13355 Berlin.
Lieferzeit: Die verbindliche Lieferzeit ist in ganzen Kalenderwochen anzugeben. Späteste zulässige Lieferung ohne zusätzliche Sicherheit ist der 17.12.2026.
Ersatzteilverfügbarkeit: Mindestens fünf Jahre ab Vertragsschluss.
Budget: 120.000,00 € netto; eine Überschreitung führt zum Ausschluss des Angebots.
Eignungskriterien
Geforderte Nachweise laut VergabeunterlagenFachliche Eignung des Unternehmens
Zuverlässigkeit und Ausschlussgründe
Der Bieter darf keine Ausschlussgründe nach § 123 oder § 124 GWB aufweisen. Dazu gehören u. a.:
Etwaige Selbstreinigungsmaßnahmen nach § 125 GWB sind auf gesonderter Anlage darzulegen und nachzuweisen.
EU-Sanktionsrecht (Russland-Bezug)
Der Bieter darf nicht unter die Sanktionsregelungen der EU-Verordnung 833/2014 fallen. Konkret darf er:
Diese Anforderung gilt während der gesamten Vertragslaufzeit auch für Unterauftragnehmer, Lieferanten und sonstige 'capacity-providing' Unternehmen, sofern ihr Anteil am Auftragswert mehr als 10 % beträgt.
Nachhaltigkeit und Lieferantenpflichten
Der Lieferant muss die Fraunhofer-Nachhaltigkeitsstandards anerkennen und einhalten. Dazu gehören:
Kaufmännische Voraussetzungen
Vergleichbare Projekte zu Mikroskopsystemen/Halbleiterinspektion
Kurzbeschreibung des Geräts sowie Kundennennung inkl. Kontaktdaten (Ansprechpartner); datenschutzrechtliche Gründe stehen dem nicht entgegen
Wettbewerb & Angebotsprognose
Erwartete Konkurrenz auf Basis vergleichbarer VergabenAuf einen Blick
Erfüllungsort
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