Profilometer
Zusammenfassung
Automatisch erstellt aus den VergabeunterlagenKurze Beschreibung
Das Fraunhofer-Institut IZM in Berlin beschafft ein Profilometer 300mm – ein automatisiertes Messsystem zur Bestimmung von Schichtdicken, Rauheit und Durchbiegung (Bow) auf Substraten/Wafern mit 100–300 mm Durchmesser. Das Gerät muss 2D- und 3D-Oberflächenmessungen mit Sub-nm-Auflösung ermöglichen.
Was zu tun ist
Wichtigste Frist
Zeitplan & Fristen
Aus den Vergabeunterlagen extrahiertZuschlagskriterien
Gewichtung laut Vergabeunterlagen- Preis45%
Angebotspreis ohne MWSt. Metrisches Kriterium: niedrigster Preis erhält volle Punktzahl, doppelt so hoher Preis 0 Punkte, lineare Interpolation dazwischen.
- Technische Ausführung des Produktes / der DL55%
Bewertung der technischen Ausführung anhand von B-gekennzeichneten Leistungsverzeichnispositionen. Die Bewertung erfolgt auf einer Skala von 0 bis 100 Punkten, wobei das relativ beste Angebot die Höchstpunktzahl erhält. Die maximal erreichbare Punktzahl pro B-Kriterium ist im LV angegeben.
Metrische Kriterien (Preis): Lineare Interpolation - niedrigster Angebotspreis erhält 100 Punkte, ein fiktiver doppelt so teurer Preis erhält 0 Punkte, dazwischen wird linear interpoliert. Nichtmetrische Kriterien (Technische Ausführung): Bewertung auf einer Skala von 0 bis 100 Punkten, wobei die relativ beste Lösung 100 Punkte erhält; Abstufungen: 100%=Note1, 80%=Note2, 60%=Note3, 40%=Note4, 20%=Note5, 0%=Ausschluss. Die Gesamtpunktzahl ergibt sich aus der Summe der gewichteten Punkte je Zuschlagskriterium.
Eignungskriterien
Geforderte Nachweise laut VergabeunterlagenFormale Eignungsanforderungen
Technische und wirtschaftliche Pflichtanforderungen
Wettbewerb & Angebotsprognose
Erwartete Konkurrenz auf Basis vergleichbarer VergabenAuf einen Blick
Erfüllungsort
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